JP2015037124A5 - - Google Patents

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投影レンズ制御装置１１４は、主制御装置１０３の制御の下、駆動部１１２、及びフィールドレンズ駆動装置１１３（レンズ駆動部）を制御する。
そこでレンズ加熱によって生ずる結像特性の変動を、モデル式を用いて表現し、幾つかの、極力少ない露光条件での最大変動量Ｆ１を検査時に取得することで、露光条件毎の結像特性変動を効率的に予測する。ここで、結像特性変動の予測は、主制御装置１０３により実行される。主制御装置１０３は、結像特性変動の予測結果に基づき、照明系制御装置１０８、レチクルステージ制御装置１３０、投影レンズ制御装置１１４（投影レンズ制御部）、ステージ制御装置１２０を制御する。照明系制御装置１０８、レチクルステージ制御装置１３０、投影レンズ制御装置１１４、ステージ制御装置１２０のうち、少なくとも一つは、予測手段の予測結果を用いた制御を行うことで、結像特性を補正する。
主制御装置１０３（予測部）は、上記のモデル式により結像特性変動の予測を行行い、主制御装置１０３は、予測結果に基づき、照明系制御装置１０８、レチクルステージ制御装置１３０、投影レンズ制御装置１１４、ステージ制御装置１２０を制御する。
照明系制御装置１０８、レチクルステージ制御装置１３０、投影レンズ制御装置１１４、ステージ制御装置１２０は、予測部の予測結果により結像特性の変動を補正する補正部として機能する。照明系制御装置１０８、レチクルステージ制御装置１３０、投影レンズ制御装置１１４、ステージ制御装置１２０は、予測結果を用いた制御を行うことで、結像特性を補正することができる。
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