JP2020187334A - 露光装置、および物品製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態における露光装置10の構成を示す図である。露光装置10は、例えば、原版1(マスク、レチクル)を保持する原版ステージ2と、投影光学系3と、基板4と、基板保持部5(基板チャック)と、基板ステージ6と、照明光学系7と、制御部9とを含みうる。基板ステージ6は、基板保持部を支持し、基板保持部5と共に移動可能に構成されている。制御部9は、露光装置10の各部を制御する。制御部9は、例えばCPUやメモリなどを含み、原版1のパターンを基板4のショット領域に転写する処理を制御する。
一枚の基板に対してショット領域ごとに露光が繰り返される間、入熱により基板変形量が大きくなっていき、露光が中断されると、その時点から冷却により基板変形量は小さくなっていき、露光が再開されると再び基板変形量が大きくなっていく。図4(a)のグラフは、この関係を、基板を交換しながら複数の基板を露光する場合に適用したものである。図4(a)のグラフにおいて、基板変形量が増大する各期間は、各基板の露光時に対応し、基板変形量が減少する各期間は、基板交換時に対応する、と考えることができる。
第2実施形態においては、基板温度を予測し、計測された基板温度から、基板変形量を予測する。ジョブ処理の経過時間と基板温度との関係(第1関係)が、基板(の各ショット領域)の露光時に適用される加熱モデル(heating model)と、基板交換時に適用される冷却モデル(cooling model)とによって表される。
本発明の実施形態に係る物品製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記の露光装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (12)
- 基板を交換しながら複数の基板のそれぞれを露光するジョブ処理を行う露光装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記ジョブ処理の制御を行う制御部と、を有し、
前記制御部は、前記ジョブ処理の経過時間と基板変形量との関係に基づいて、基板の変形によって生じる重ね合わせ誤差を補正して前記基板を露光し、
前記関係においては、基板交換時において前記基板保持部に搬入される基板に対して、該基板交換時における前記基板保持部の残熱に応じた初期変形量が与えられている、ことを特徴とする露光装置。 - 前記関係は、基板露光時に適用される加熱モデルと、基板交換時に適用される冷却モデルとによって表され、
φhを基板変形量、thを露光時間、Ioを飽和変形量、φini-heatを加熱初期変形量、Khを加熱時定数とするとき、前記加熱モデルは、
φh(th) = Io − (Io − φini-heat) ÷ exp(th/Kh)
で表され、
φcを基板変形量、tcを露光停止時間、φini-coolを冷却初期変形量、Kcを冷却時定数とするとき、前記冷却モデルは、
φc(tc) = φini-cool ÷ exp(tc/Kc)
で表されることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記加熱初期変形量は、直前に適用された冷却モデルによる基板変形量の最終予測値に基づいて決定され、前記冷却初期変形量は、直前に適用された加熱モデルによる基板変形量の最終予測値に基づいて決定されることを特徴とする請求項2に記載の露光装置。
- 前記加熱モデルおよび前記冷却モデルはそれぞれ、互いに係数が異なる複数のモデル式を線形重ね合わせして得られたモデル式で表現されることを特徴とする請求項2または3に記載の露光装置。
- 基板を交換しながら複数の基板のそれぞれを露光するジョブ処理を行う露光装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
前記ジョブ処理の制御を行う制御部と、を有し、
前記制御部は、前記ジョブ処理の経過時間と基板温度との関係である第1関係と、基板温度と基板変形量との関係である第2関係とに基づいて、基板の変形によって生じる重ね合わせ誤差を補正して前記基板を露光し、
前記第1関係においては、基板交換時において前記基板保持部に搬入される基板に対して、該基板交換時における前記基板保持部の残熱に応じた初期温度が与えられている、ことを特徴とする露光装置。 - 前記第1関係は、基板露光時に適用される加熱モデルと、基板交換時に適用される冷却モデルとによって表され、
ψhを基板温度、thを露光時間、Toを飽和温度、ψini-heatを加熱初期温度、Khを加熱時定数とするとき、前記加熱モデルは、
ψh(th) = To − (To − ψini-heat) ÷ exp(th/Kh)
で表され、
ψcを基板温度、tcを露光停止時間、ψini-coolを冷却初期温度、Kcを冷却時定数とするとき、前記冷却モデルは、
ψc(tc) = ψini-cool ÷ exp(tc/Kc)
で表されることを特徴とする請求項5に記載の露光装置。 - 前記加熱初期温度は、直前に適用された冷却モデルによる基板温度の最終予測値に基づいて決定され、前記冷却初期温度は、直前に適用された加熱モデルによる基板温度の最終予測値に基づいて決定されることを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
- 前記基板の温度を計測する計測部を有し、
前記制御部は、基板交換開始のタイミングで前記計測部により計測された温度に基づいて前記加熱初期温度を校正する、ことを特徴とする請求項7に記載の露光装置。 - 前記加熱モデルおよび前記冷却モデルはそれぞれ、互いに係数が異なる複数のモデル式を線形重ね合わせして得られたモデル式で表現されることを特徴とする請求項6乃至8のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記基板変形量の成分は、基板シフト、基板倍率、ショット倍率、基板駆動方向シフト差、台形変形、湾曲変形のうちの少なくともいずれか1つを含むことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の露光装置。
- 原版を保持する原版ステージと、
前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部を支持する基板ステージと、
前記原版ステージに保持された前記原版を照明する照明光学系と、
前記照明光学系によって照明された前記原版のパターンを前記基板保持部に保持された前記基板に投影する投影光学系と、を有し、
前記制御部は、前記投影光学系の光学素子の駆動、前記基板ステージの駆動、前記原版ステージの駆動、前記照明光学系の光学素子の駆動、前記照明光学系の光源の発振周波数の調整の少なくともいずれか1つを行うことにより、前記重ね合わせ誤差を補正する、ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の露光装置。 - 請求項1乃至11のいずれか1項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程と、
を有し、前記現像された基板から物品を製造することを特徴とする物品製造方法。
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