JP2017503314A - プラズマ密度を制御するシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 基板を処理するためのプラズマ処理チャンバであって、
当該プラズマ処理チャンバの内部に配置された電極と、
前記電極の少なくとも一部を取り囲む集束リングと、
少なくとも前記電極、前記集束リング、および少なくとも一つの電源に結合された電位制御回路であって、前記電極を前記集束リングよりも低い電位に維持するように構成された電位制御回路と、
直流(DC)電圧源に結合された前記電極の反対側の対極と、
を有する、プラズマ処理チャンバ。 - 前記電極は、前記基板と電気的に結合されるように構成される、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- 前記電極および前記集束リングは、相互に電気的に絶縁され、または物理的に相互に接触しない、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- 前記電位制御回路は、
前記電極および前記集束リングに結合された、少なくとも一つの電源と、
前記電極を前記集束リングよりも低い電位に維持する、1または2以上の制御素子を有する制御部材と、
を有する、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。 - 前記制御素子は、可変キャパシタを有し、該可変キャパシタは、前記電極と前記集束リングの間の電位を変化し得る、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- 前記制御部材はカップリング電源を有し、前記基板と前記電極の間に静電結合が生じる、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- 前記集束リングは、石英またはセラミックを有する、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- 前記電極は、静電結合部材を有する、請求項1に記載のプラズマ処理チャンバ。
- プラズマ処理システム内で基板を処理する方法であって、
プラズマ処理チャンバ内の基板ホルダに基板を受容するステップと、
前記基板ホルダとは反対側のパワー電極に、ソース電圧を印加するステップと、
前記基板の下にあるバイアス電極に、バイアス電圧を印加するステップと、
前記基板に隣接する集束リングに、集束リング電圧を印加するステップであって、前記集束リング電圧は、前記バイアス電圧よりも低い、ステップと、
少なくとも前記パワー電極を用いて、前記プラズマ処理チャンバ内の開始ガスにより、プラズマを発生させるステップと、
を有する、方法。 - 前記集束リング電圧は、前記バイアス電圧よりも少なくとも50V小さい、請求項9に記載の方法。
- 前記パワー電極への印加は、0Vから10,000Vの間の大きさを有する、請求項10に記載の方法。
- 前記集束リング電圧は、前記バイアス電極よりも100Vから800Vだけ低い、請求項9に記載の方法。
- 前記集束リング電圧は、前記バイアス電圧よりも少なくとも5%低い、請求項9に記載の方法。
- 前記ガスは、ハロゲン含有ガス、希ガス含有ガス、酸素含有ガス、またはこれらの組み合わせを有する、請求項9に記載の方法。
- 前記受容するステップは、静電部材を用いて、前記基板を前記バイアス電極に結合するステップを有する、請求項9に記載の方法。
- 1または2以上の有形の非一時的なコンピュータ可読媒体であって、
コンピュータプロセッサで実行可能な指令を保管し、
前記指令は、コンピュータプロセッサにより実行された際に、
プラズマ処理チャンバ内の基板ホルダに基板を受容するステップと、
前記基板ホルダとは反対側のパワー電極に、ソース電圧を印加するステップと、
前記基板の下にあるバイアス電極に、バイアス電圧を印加するステップと、
前記基板に隣接する集束リングに、集束リング電圧を印加するステップであって、前記集束リング電圧は、前記バイアス電圧よりも低い、ステップと、
少なくとも前記パワー電極を用いて、前記プラズマ処理チャンバ内の開始ガスにより、プラズマを発生させるステップと、
を有する方法を実施する、コンピュータ可読媒体。 - 前記集束リング電圧は、前記バイアス電圧よりも少なくとも50V小さい、請求項16に記載のコンピュータ可読媒体。
- 前記パワー電極への印加は、0Vから10,000Vの間の大きさを有する、請求項17に記載のコンピュータ可読媒体。
- 前記集束リング電圧は、前記バイアス電極よりも100Vから800Vだけ低い、請求項16に記載のコンピュータ可読媒体。
- 前記受容するステップは、静電部材を用いて、前記基板を前記バイアス電極に結合するステップを有する、請求項16に記載のコンピュータ可読媒体。
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