JP2017501581A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 中間工程（ＭＯＬ）層を含むデバイスであって、前記ＭＯＬ層が、
   第一のタイプの複数のアクティブ接点と第二のタイプの複数のアクティブ接点とを備える絶縁層；
   前記第一のタイプの複数のアクティブ接点を半導体基板の半導体デバイスの端子に選択的に露出させるために前記絶縁層上に配置されたパターン化されたハードマスク層であって、前記パターン化されたハードマスク層は前記第二のタイプの複数のアクティブ接点を選択的に絶縁する、パターン化されたハードマスク層；及び
   前記パターン化されたハードマスク層に直接接触し、露出された前記第一のタイプの複数のアクティブ接点に直接接触する導電性材料であって、前記導電性材料が、前記半導体デバイスのアクティブ領域を介して、露出された前記第一のタイプの複数のアクティブ接点を互いに結合するように配置される、導電性材料、を備える、デバイス。
2. 前記パターン化されたハードマスク層の厚さが、前記導電性材料が、露出された前記第一のタイプの複数のアクティブ接点上に共形堆積されることを可能にする、請求項１に記載のデバイス。
3. 前記導電性材料がタングステンまたは銅である、請求項１に記載のデバイス。
4. 露出された前記第一のタイプの複数のアクティブ接点が、ソース接点、ドレイン接点、またはゲート接点を備える、請求項１に記載のデバイス。
5. 露出された前記第一のタイプの複数のアクティブ接点が、金属接点またはポリシリコン接点を備える、請求項１に記載のデバイス。
6. 絶縁された前記第二のタイプのアクティブ接点と露出された前記第一のタイプのアクティブ接点とが互いに隣接する、請求項１に記載のデバイス。
7. 前記パターン化されたハードマスク層が、前記第一のタイプの複数のアクティブ接点を選択的に露出させる矩形開口を作成する、請求項１に記載のデバイス。
8. 露出された前記第一のタイプの複数のアクティブ接点に直接接触する前記導電性材料が、前記第二のタイプの複数のアクティブ接点の露出されていないものにわたって延在する、請求項１に記載のデバイス。
9. モバイルフォン、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、娯楽ユニット、ナビゲーションデバイス、コンピュータ、ハンドヘルドパーソナル通信システム（ＰＣＳ）ユニット、ポータブルデータユニット、および／または固定ロケーションデータユニット内に統合される、請求項１に記載のデバイス。
10. 中間工程（ＭＯＬ）層を含むデバイスであって、前記ＭＯＬ層が、
    第一のタイプの複数のアクティブ接点と第二のタイプの複数のアクティブ接点とを備える絶縁層；
    前記第一のタイプの複数のアクティブ接点を半導体基板の半導体デバイスの端子に選択的に露出させ、前記第二のタイプの複数のアクティブ接点を選択的に絶縁するための手段；及び
    露出された前記第一のタイプの複数のアクティブ接点を互いに結合するために、露出された前記第一のタイプの複数のアクティブ接点に直接接触するための手段、を備える、デバイス。
11. 直接接触手段が前記第二のタイプの複数のアクティブ接点の露出されていないものにわたって延在する、請求項１０に記載のデバイス。
12. 露出手段の厚さが、直接接触手段が、露出された前記第一のタイプの複数のアクティブ接点上に共形堆積されることを可能にする、請求項１０に記載のデバイス。
13. 露出された前記第一のタイプの複数のアクティブ接点が、ソース接点、ドレイン接点、またはゲート接点を備える、請求項１０に記載のデバイス。
14. 露出された前記第一のタイプの複数のアクティブ接点が、金属接点またはポリシリコン接点を備える、請求項１０に記載のデバイス。
15. 絶縁された前記第二のタイプのアクティブ接点と露出された前記第一のタイプのアクティブ接点とが互いに隣接している、請求項１０に記載のデバイス。
16. モバイルフォン、セットトップボックス、音楽プレーヤ、ビデオプレーヤ、娯楽ユニット、ナビゲーションデバイス、コンピュータ、ハンドヘルドパーソナル通信システム（ＰＣＳ）ユニット、ポータブルデータユニット、および／または固定ロケーションデータユニット内に統合される、請求項１０に記載のデバイス。