JP2017500608A - 保護要素を備えた半液浸系顕微鏡対物レンズ及び多光子結像方法におけるその使用 - Google Patents
保護要素を備えた半液浸系顕微鏡対物レンズ及び多光子結像方法におけるその使用 Download PDFInfo
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Abstract
Description
光入口及び光出口を備えた保護筒を有する顕微鏡対物レンズと、
顕微鏡対物レンズに固着されて、光出口をシールするが光入口はシールしない保護要素であって、保護要素の透明部分が光出口と位置合わせされ、保護要素が顕微鏡対物レンズを損傷することなく顕微鏡対物レンズから分離可能である、保護要素と、を備える。
半液浸系顕微鏡対物レンズを、多光子吸収剤及び重合性化合物を含む液状フォトレジストに浸漬することであって、半液浸系顕微鏡対物レンズが:
光入口及び光出口を備えた保護筒を有する顕微鏡対物レンズと、
顕微鏡対物レンズに固着されて、光出口をシールするが光入口はシールしない保護要素であって、保護要素の透明部分が光出口と位置合わせされ、保護要素が顕微鏡対物レンズを損傷することなく顕微鏡対物レンズから分離可能である、保護要素と、を備える、ことと、
多光子吸収剤による多光子吸収が生じ、重合性化合物の少なくとも部分的な重合化が生じて、露光されたフォトレジストがもたらされるような条件下で、画像毎の方式で半液浸系顕微鏡対物レンズを通して液状フォトレジスト内へとレーザー光を方向付けることと、
露光されたフォトレジストを現像することと、を含む。
「光」は、約300〜約1500nmの範囲の波長を有する電磁放射を意味し;
「液体」は、1気圧及び少なくとも20〜25℃の範囲の少なくとも1つの温度において液状である化合物を指し;
「多光子吸収」は、2つ以上の光子が同時に吸収されることによって、同じエネルギーの単一の光子を吸収することではエネルギー的にアクセス不能である、光反応性の電子的励起状態に達することを意味し;
「多光子吸収剤」は、光の多光子吸収を起こすことができる種を意味し;
「開口数」は、媒体の屈折率に、対象の軸線方向の一点から最も遠い光線の傾斜角の正弦を乗算した積を意味し;
「光入口」は、光ビームが平行光線を有する顕微鏡対物レンズの端部を指し;
「光出口」は、光ビームが収束する顕微鏡対物レンズの端部を指し;
「光化学的に有効な量」は、選択された露光条件下において(例えば、密度、粘度、色、pH、屈折率、又は他の物理的若しくは化学的特性から明らかなように)、光反応種が少なくとも部分的な反応を起こすことを可能にするのに十分な量を意味し;
「同時」は、10−14秒以下の時間内に起こる2つの事象を意味し;
「溶媒」は、組成物の少なくとも1つの固体成分を溶解するか、又は少なくとも1つの液体成分を希釈する組成物の非反応性液体成分を指し(水の場合、付随的な水の量(adventitious amounts of water)は用語「溶媒」に含まれない);
「溶媒現像」は、不溶性物質を実質的に除去することなく、溶媒中の可溶性物質を実質的に除去(例えば、溶解)することを意味する。
第1の実施形態では、本開示は、半液浸系顕微鏡対物レンズを提供し、該半液浸系顕微鏡対物レンズは、
顕微鏡対物レンズであって、
光入口及び光出口を有する保護筒と、光入口と光出口との間を延在する光路に沿って保護筒内に配設された少なくとも1つの光学素子と、
顕微鏡対物レンズに固着されて、光出口はシールするが光入口はシールしない保護要素であって、保護要素の透明部分が光路と位置合わせされ、保護要素が顕微鏡対物レンズを損傷することなく顕微鏡対物レンズから分離可能である、保護要素とを備える、顕微鏡対物レンズを備える。
半液浸系顕微鏡対物レンズを、多光子吸収剤及び重合性化合物を含む液状フォトレジストに浸漬することであって、半液浸系顕微鏡対物レンズが:
顕微鏡対物レンズであって:
光入口及び光出口を有する保護筒と、光入口と光出口との間を延在する光路に沿って保護筒内に配設された少なくとも1つの光学素子と、
顕微鏡対物レンズに固着されて、光出口はシールするが光入口はシールしない保護要素であって、保護要素の透明部分が光路と位置合わせされ、保護要素が顕微鏡対物レンズを損傷することなく顕微鏡対物レンズから分離可能である、保護要素とを備える、顕微鏡対物レンズを備える、ことと、
多光子吸収剤による多光子吸収が生じ、重合性化合物の少なくとも部分的な重合化が生じて、露光されたフォトレジストがもたらされるような条件下で、画像毎の方式で半液浸系顕微鏡対物レンズを通して液状フォトレジスト内へとレーザー光を方向付けることと、
露光されたフォトレジストを現像することとを含む。
この実施例では、ガラスの顕微鏡カバースリップ(約170〜190μm)を、多光子結像に使用したときに光出口に対応するレンズが中心に配設された先細端部を有する、Zeiss 40x/1.0、油浸、開口絞り付き顕微鏡対物レンズ(ニューヨーク州ソーンウッド(Thornwood, New York)所在のカールツァイスマイクロスコピー社(Carl Zeiss Microscopy, LLC)から入手可能)の保護筒に直接圧締めした、全体が図1に示される、デルリンポリオキシメチレン製の保護要素に接着した。保護要素は図2A〜2Cに示される。次に、保護要素を、カバースリップが光出口でレンズと接触するようにして位置決めし、Zeiss IMMERSOL 518F液浸油を一滴、レンズ表面とカバースリップとの間に追加して空気を排除した。
油浸顕微鏡対物レンズ(拡大率40X、NA=1.0、カールツァイスマイクロスコピー社(Carl Zeiss Microscopy, LLC)から入手可能)を、ポリビニルアルコール(PVA)の薄層でコーティングした。PVAの10重量%水溶液(6,000g/モル、80%加水分解、ペンシルベニア州ワーリントン(Warrington, Pennsylvania)所在のポリサイエンス社(Polysciences, Inc.)によるカタログ番号22225)を数滴、顕微鏡対物レンズの液浸端部における露出したレンズ及び周囲の金属に添加した。顕微鏡対物レンズを操作して、余分な溶液が最終レンズ表面から流れ落ちて、適切に薄い透明保護コーティングをもたらすようにした。コーティングされた顕微鏡対物レンズを、乾燥を容易にするため、50℃のオーブンに2分間入れた。
ミネソタ州メープルウッド(Maplewood, Minnesota)所在の3M社(3M Company)による、SCOTCHGARD RESILIENT FLOOR PROTECTOR(22重量%の固体含量を有し、pH7.4〜8.4、粘度8cP未満の、水系のコーティング可能な保護製品)を、ポリビニルアルコール溶液の代わりに使用した点を除いて、実施例2を繰り返した。レーザー走査後、対物レンズ上のレジストを、イソプロピルアルコールで濡らしたレンズペーパーで拭き取り、レンズペーパー上にエチルアルコールを用いて更にきれいにした。最後に、透明保護コーティングを、適切な体積希釈比1:16で使用するために水で希釈したSpeed Stripper Concentrate 6H(3M社(3M Company)による)に2分間浸漬し、脱イオン水ですすぎ、続いてエチルアルコールで仕上げすすぎをすることによって、除去した。顕微鏡対物レンズに対する明らかな損傷はなかった。
ミネソタ州セントポール(Saint Paul)所在の3M社(3M Company)による、SCOTCHGARD LOW MAINTENANCE FLOOR FINISH(25重量%の固体含量を有し、pH8.1〜8.9、粘度10cP未満の、水系製品)を、ポリビニルアルコール溶液の代わりに使用した点を除いて、実施例2を繰り返した。レーザー走査後、対物レンズ上のレジストを、イソプロピルアルコールで濡らしたレンズペーパーで拭き取り、レンズペーパー上にエチルアルコールを用いて更にきれいにした。最後に、透明保護コーティングを、適切な体積希釈比1:16で使用するために水で希釈したSpeed Stripper Concentrate 6H(3M社(3M Company)による)に2分間浸漬し、脱イオン水ですすぎ、続いてエチルアルコールで仕上げすすぎをすることによって、除去した。顕微鏡対物レンズに対する明らかな損傷はなかった。
Claims (16)
- 光入口及び光出口を備えた保護筒を有する顕微鏡対物レンズと、
前記顕微鏡対物レンズに固着されて、前記光出口はシールするが前記光入口はシールしない保護要素であって、前記保護要素の透明部分が前記光出口と位置合わせされ、前記保護要素が前記顕微鏡対物レンズを損傷することなく前記顕微鏡対物レンズから分離可能である、保護要素と、
を備える半液浸系顕微鏡対物レンズ。 - 前記保護要素が、中央開口部を有するキャップと、前記キャップの1つの主要表面から延在するスリーブとを備え、前記スリーブが前記顕微鏡対物レンズを機械的に係合するように適合され、前記透明部分が、前記キャップに固定されて前記中央開口部を覆う透明窓を備える、請求項1に記載の半液浸系顕微鏡対物レンズ。
- 前記光出口と前記保護要素の前記透明部分との間に配設された屈折率整合流体を更に備える、請求項2に記載の半液浸系顕微鏡対物レンズ。
- 前記保護要素が透明保護コーティングを含む、請求項1に記載の半液浸系顕微鏡対物レンズ。
- 前記透明保護コーティングが水系溶媒中で溶解可能である、請求項4に記載の半液浸系顕微鏡対物レンズ。
- 前記透明保護コーティングが化学的に架橋されている、請求項4に記載の半液浸系顕微鏡対物レンズ。
- 前記透明保護コーティングが、ポリビニルアルコール、又はペンダントカルボキシル基若しくはカルボキシレート基を有するポリマーのうちの少なくとも1つを含む、請求項4に記載の半液浸系顕微鏡対物レンズ。
- 前記顕微鏡対物レンズが少なくとも1.0の開口数を有する、請求項4に記載の半液浸系顕微鏡対物レンズ。
- 半液浸系顕微鏡対物レンズを、多光子吸収剤及び重合性化合物を含む液状フォトレジストに浸漬することであって、半液浸系顕微鏡対物レンズが:
光入口及び光出口を備えた保護筒を有する顕微鏡対物レンズと、
前記顕微鏡対物レンズに固着されて、前記光出口はシールするが前記光入口はシールしない保護要素であって、前記保護要素の透明部分が前記光出口と位置合わせされ、前記保護要素が前記顕微鏡対物レンズを損傷することなく前記顕微鏡対物レンズから分離可能である、保護要素と、を備える、ことと、
前記多光子吸収剤による多光子吸収が生じ、前記重合性化合物の少なくとも部分的な重合化が生じて、露光されたフォトレジストがもたらされるような条件下で、画像毎の方式で前記半液浸系顕微鏡対物レンズを通して液状フォトレジスト内へとレーザー光を方向付けることと、
前記露光されたフォトレジストを現像することと、
を含む、多光子結像方法。 - 前記保護要素が、中央開口部を有するキャップと、前記キャップの1つの主要表面から延在するスリーブとを備え、前記スリーブが前記顕微鏡対物レンズを機械的に係合するように適合されており、前記透明部分が、前記キャップに固定されて前記中央開口部を覆う透明窓を備える、請求項9に記載の多光子結像方法。
- 前記光出口と前記保護要素の前記透明部分との間に配設された屈折率整合流体を更に備える、請求項10に記載の多光子結像方法。
- 前記保護要素が透明保護コーティングを含む、請求項9に記載の多光子結像方法。
- 前記透明保護コーティングが水系溶媒中で溶解可能である、請求項12に記載の多光子結像方法。
- 前記透明保護コーティングが化学的に架橋されている、請求項12に記載の多光子結像方法。
- 前記透明保護コーティングが、ポリビニルアルコール、又はペンダントカルボキシル基若しくはカルボキシレート基を有するポリマーのうちの少なくとも1つを含む、請求項12に記載の多光子結像方法。
- 前記顕微鏡対物レンズが少なくとも1.0の開口数を有する、請求項12に記載の多光子結像方法。
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