JP2017222014A - ティーチング装置 - Google Patents

ティーチング装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2017222014A
JP2017222014A JP2016120502A JP2016120502A JP2017222014A JP 2017222014 A JP2017222014 A JP 2017222014A JP 2016120502 A JP2016120502 A JP 2016120502A JP 2016120502 A JP2016120502 A JP 2016120502A JP 2017222014 A JP2017222014 A JP 2017222014A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
hand
teaching
guide pole
jig
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2016120502A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2017222014A5 (enExample
Inventor
直樹 阪口
Naoki Sakaguchi
直樹 阪口
周史 塚本
Shuji Tsukamoto
周史 塚本
渡邊　敏広
Toshihiro Watanabe
敏広 渡邊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samco Inc
Original Assignee
Samco Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samco Inc filed Critical Samco Inc
Priority to JP2016120502A priority Critical patent/JP2017222014A/ja
Publication of JP2017222014A publication Critical patent/JP2017222014A/ja
Publication of JP2017222014A5 publication Critical patent/JP2017222014A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Manipulator (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
JP2016120502A 2016-06-17 2016-06-17 ティーチング装置 Pending JP2017222014A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016120502A JP2017222014A (ja) 2016-06-17 2016-06-17 ティーチング装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016120502A JP2017222014A (ja) 2016-06-17 2016-06-17 ティーチング装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017222014A true JP2017222014A (ja) 2017-12-21
JP2017222014A5 JP2017222014A5 (enExample) 2019-04-11

Family

ID=60685884

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016120502A Pending JP2017222014A (ja) 2016-06-17 2016-06-17 ティーチング装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2017222014A (enExample)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022076060A (ja) * 2020-11-09 2022-05-19 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットの教示方法
CN114550513A (zh) * 2022-03-04 2022-05-27 河北科技师范学院 一种教育教学通用展示装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10156774A (ja) * 1996-12-02 1998-06-16 Kokusai Electric Co Ltd 基板移載機のティーチング方法
JPH11254359A (ja) * 1998-03-12 1999-09-21 Toyota Autom Loom Works Ltd 部材搬送システム
JP2002018753A (ja) * 2000-06-29 2002-01-22 Asm Japan Kk ウエハーハンドリングロボットのティーチング装置および方法
JP2005260176A (ja) * 2004-03-15 2005-09-22 Kawasaki Heavy Ind Ltd 搬送装置の搬送位置の位置情報取得方法
WO2011001675A1 (ja) * 2009-06-30 2011-01-06 株式会社アルバック ロボットのティーチング装置及びロボットのティーチング方法
JP2014148031A (ja) * 2013-02-04 2014-08-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 受渡位置教示方法、受渡位置教示装置および基板処理装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10156774A (ja) * 1996-12-02 1998-06-16 Kokusai Electric Co Ltd 基板移載機のティーチング方法
JPH11254359A (ja) * 1998-03-12 1999-09-21 Toyota Autom Loom Works Ltd 部材搬送システム
JP2002018753A (ja) * 2000-06-29 2002-01-22 Asm Japan Kk ウエハーハンドリングロボットのティーチング装置および方法
JP2005260176A (ja) * 2004-03-15 2005-09-22 Kawasaki Heavy Ind Ltd 搬送装置の搬送位置の位置情報取得方法
WO2011001675A1 (ja) * 2009-06-30 2011-01-06 株式会社アルバック ロボットのティーチング装置及びロボットのティーチング方法
JP2014148031A (ja) * 2013-02-04 2014-08-21 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 受渡位置教示方法、受渡位置教示装置および基板処理装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022076060A (ja) * 2020-11-09 2022-05-19 日本電産サンキョー株式会社 産業用ロボットの教示方法
JP7562377B2 (ja) 2020-11-09 2024-10-07 ニデックインスツルメンツ株式会社 産業用ロボットの教示方法
CN114550513A (zh) * 2022-03-04 2022-05-27 河北科技师范学院 一种教育教学通用展示装置
CN114550513B (zh) * 2022-03-04 2024-04-26 青皮科技(广州)有限公司 一种教育教学通用展示装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6058004B2 (ja) マルチリンケージロボットを有するシステム及びマルチリンケージロボットにおいて位置アライメント及び回転アライメントを補正するための方法
KR101745045B1 (ko) 반송 기구의 위치 결정 방법, 피처리체의 위치 어긋남량 산출 방법 및 반송 기구의 티칭 데이터의 수정 방법
CN102046338B (zh) 输送装置、位置示教方法以及传感器夹具
JP5721469B2 (ja) 部品実装方法および部品実装装置
US6678581B2 (en) Method of calibrating a wafer edge gripping end effector
JP6302275B2 (ja) 搬送ロボット、および、ティーチングシステム
TW201621499A (zh) 自動機系統，用於自動機系統之自動機教導方法及自動機教導裝置
US6742980B2 (en) Method for aligning conveying position of object processing system, and object processing system
US20120116586A1 (en) Teaching apparatus of robot and teaching method of robot
JP2014148031A (ja) 受渡位置教示方法、受渡位置教示装置および基板処理装置
KR101915878B1 (ko) 기판 주고받음 위치의 교시 방법 및 기판 처리 시스템
US20190148210A1 (en) Substrate transfer hand and robot
JP2011183492A (ja) 自動位置ずれ補正方法、及び自動位置教示方法。
JP2003282383A (ja) 位置合わせ用基板
JP4395873B2 (ja) 薄板状物の変位量検出方法及び変位量修正方法
JP2017222014A (ja) ティーチング装置
JP4849825B2 (ja) 処理装置、位置合わせ方法、制御プログラムおよびコンピュータ記憶媒体
JP6281554B2 (ja) 教示治具、ロボット、教示システムおよび教示方法
JP2017092309A (ja) 基板のアライメント装置
JP2017076679A (ja) テープフレーム搬送のためのエンドエフェクタ、及びこれを備える搬送ロボット
JP2004106078A (ja) ティーチング方法及び処理システム
JP2022076060A (ja) 産業用ロボットの教示方法
US10160118B2 (en) Conveying apparatus and conveying system with two support regions
CN110625392A (zh) 电池安装设备
JP2019141919A (ja) 産業用ロボットの補正値算出方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20190228

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190228

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200227

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200331

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200529

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20201006