JP2017208405A - 回転テーブル用ウェーハ回転保持機構及び方法並びにウェーハ回転保持装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウェーハ回転保持装置の回転テーブル用ウェーハ回転保持機構であって、回転軸と、前記回転軸の先端に載置され且つ上面にウェーハを保持する回転テーブルと、前記回転軸に動力を供給する駆動モータと、前記回転テーブルに設けられ且つウェーハの外周を保持するための回転可能な外周ガイドピンと、を有する、回転テーブル用ウェーハ回転保持機構とした。
【選択図】図1
Description
<エッチング条件>
エッチング処理時間1分、外周ガイドピンの回転速度:20mm/分、エッチング液:フッ酸及び硝酸をベースにした混酸、エッチング液温度:24℃、回転テーブルの回転数:900rpm、エッチング液流量:3L/分。
前記ウェーハ回転保持装置において、直径3mm程度の円柱形状の4本の外周ガイドピンを回転テーブルに設け、該4本の外周ガイドピンを回転テーブル内部にてギヤで連結させ、スピンテーブル内に組み込んだ回転制御用モータでギヤを回転させることにより外周ガイドピンを回転させ、それによりウェーハを回転させる。また、回転テーブルにウェーハの外周ピンとして、ウェーハのセット時に開閉する可動ピンを設ける。前記可動ピンは、フリーに回転可能とされており、駆動機構は備えられていない。前記ウェーハが回転することで、前記可動ピンも回転せしめられる。このようにすれば、スピンエッチング処理後、ウェーハに外周ピンによる痕跡や洗浄残り、バラツキが発生しなくなるという効果を奏する。
Claims (5)
- ウェーハ回転保持装置の回転テーブル用ウェーハ回転保持機構であって、
回転軸と、
前記回転軸の先端に載置され且つ上面にウェーハを保持する回転テーブルと、
前記回転軸に動力を供給する駆動モータと、
前記回転テーブルに設けられ且つウェーハの外周を保持するための回転可能な外周ガイドピンと、
を有する、回転テーブル用ウェーハ回転保持機構。 - 前記外周ガイドピンが、前記回転テーブル内に設けられた回転制御用モータにより制御される、請求項1記載の回転テーブル用ウェーハ回転保持機構。
- 請求項1又は2記載の回転テーブル用ウェーハ回転保持機構を用いて、前記ウェーハを回転保持してなる、回転テーブル用ウェーハ回転保持方法。
- 請求項1又は2記載の回転テーブル用ウェーハ回転保持機構を備えてなる、ウェーハ回転保持装置。
- 前記ウェーハ回転保持装置が、スピン処理機構を備える、請求項4記載のウェーハ回転保持装置。
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