JP2017201311A - 電気プローブ - Google Patents
電気プローブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017201311A JP2017201311A JP2017092486A JP2017092486A JP2017201311A JP 2017201311 A JP2017201311 A JP 2017201311A JP 2017092486 A JP2017092486 A JP 2017092486A JP 2017092486 A JP2017092486 A JP 2017092486A JP 2017201311 A JP2017201311 A JP 2017201311A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pins
- openings
- probe head
- electric probe
- probe according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07342—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card the body of the probe being at an angle other than perpendicular to test object, e.g. probe card
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06716—Elastic
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
Abstract
【解決手段】電気プローブが本体10と、プローブヘッド20と複数のピン30を含む。プローブヘッドは本体に配置され、プローブヘッドは、表面に複数の開口部を有する。各ピンは互いに接続された接触部320と挿入部310を含む。各ピンは、接触部と挿入部との間に鈍角を有し、ピンの挿入部はそれぞれ開口部に挿入される。
【選択図】図1F
Description
Claims (15)
- 本体と、
表面と表面に複数の開口部を有し、本体に配置されたプローブヘッドと、
複数のピンであって、各ピンが、互いに接続された接触部と挿入部を含み、前記接触部と前記挿入部との間に鈍角を有し、前記複数のピンの挿入部がそれぞれ前記複数の開口部に挿入された複数のピンと、を含む電気プローブ。 - 前記鈍角が105度以下であることを特徴とする請求項1に記載の電気プローブ。
- 前記複数の開口部の直径は前記挿入部の外径よりも大きく、
前記複数の開口部はそれぞれ第1の内側側壁を有し、
前記挿入部は屈曲部を含み、前記屈曲部は第1の内側側壁に押しつけられることを特徴とする請求項1に記載の電気プローブ。 - 前記挿入部は、前記接触部に接続された接続部をさらに備え、
前記開口部のそれぞれは、前記第1の内側側壁と反対側に第2の内側側壁をさらに備え、
前記接続部が前記第2の内側側壁に押しつけられることを特徴とする請求項3に記載の電気プローブ。 - 前記本体が組立部材と、組立部材を貫通して配置される導電部材とを含み、
前記プローブヘッドが前記組立部材上に配置され、前記プローブヘッドが貫通穴をさらに有し、
前記導電部材が貫通穴を貫くように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の電気プローブ。 - 前記プローブヘッドが基部と円形延長部を含み、
前記基部が前記表面と前記複数の開口部を有し、
前記円形延長部は前記基部の端部に接続され、
前記複数のピンの各ピンの前記円形延長部と前記接触部はともに前記基部から離れる方向に延び、
前記円形延長部の表面の法線方向の長さは、前記接触部の表面の法線方向の長さよりも短く、
前記円形延長部は複数の凹部を備え、
前記複数のピンが曲げられたとき、前記複数のピンの前記接触部は、それぞれ前記複数の凹部に位置することを特徴とする請求項1に記載の電気プローブ。 - 前記挿入部のそれぞれの長さは、前記複数の開口部のそれぞれの長さよりも長いことを特徴とする請求項1に記載の電気プローブ。
- 前記プローブヘッドが前記本体にねじ止めされることを特徴とする請求項1に記載の電気プローブ。
- 前記本体が、前記本体の半径方向に延びる2本のフィンガーを備えるグリッパを含み、
前記プローブヘッドが前記グリッパにより固定されることを特徴とする請求項1に記載の電気プローブ。 - 組立部材と、組立部材を貫通するように配置される導電部材とを含む本体と、
表面と、表面に貫通穴と複数の開口部とを有し、前記貫通穴を貫くように導電部材が配置されるように、本体に配置されるプローブヘッドと、
複数のピンであって、各ピンが、互いに接続された接触部と挿入部を含み、前記複数のピンの前記挿入部がそれぞれ前記複数の開口部に挿入され、前記接触部が表面から、前記プローブヘッドより離れる方向に延び、接触部の延長軸と貫通穴の中心軸が鋭角を有する複数のピンと、を含む電気プローブ。 - 前記鋭角が75度以上であることを特徴とする請求項10に記載の電気プローブ。
- 前記複数の開口部のそれぞれの直径が前記挿入部の外径より大きく、
前記複数の開口部がそれぞれ第1の内側側壁を有し、前記挿入部は屈曲部を含み、
前記屈曲部は第1の内側側壁に押しつけられることを特徴とする請求項10に記載の電気プローブ。 - 前記挿入部は、前記接触部に接続された接続部をさらに備え、
前記開口部のそれぞれは、前記第1の内側側壁と反対側に第2の内側側壁をさらに備え、
前記接続部が前記第2の内側側壁に押しつけられることを特徴とする請求項12に記載の電気プローブ。 - 前記プローブヘッドは基部と円形延長部を含み、
前記基部が前記表面と前記複数の開口部を有し、
前記円形延長部は前記基部の端部に接続され、
前記複数のピンの各ピンの前記円形延長部と前記接触部はともに前記基部から離れる方向に延び、
前記円形延長部の表面の法線方向の長さは、前記接触部の表面の法線方向の長さよりも短く、
前記円形延長部は複数の凹部を備え、
前記複数のピンが曲げられたとき、前記複数のピンの前記接触部は、それぞれ前記複数の凹部に位置することを特徴とする請求項10に記載の電気プローブ。 - 前記挿入部のそれぞれの長さは、前記複数の開口部のそれぞれの長さよりも長いことを特徴とする請求項10に記載の電気プローブ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW105114208A TWI567395B (zh) | 2016-05-06 | 2016-05-06 | 電流探針 |
TW105114208 | 2016-05-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017201311A true JP2017201311A (ja) | 2017-11-09 |
JP6385520B2 JP6385520B2 (ja) | 2018-09-05 |
Family
ID=58408076
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017092486A Active JP6385520B2 (ja) | 2016-05-06 | 2017-05-08 | 電気プローブ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10254310B2 (ja) |
JP (1) | JP6385520B2 (ja) |
KR (1) | KR101895353B1 (ja) |
TW (1) | TWI567395B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021189084A (ja) * | 2020-06-02 | 2021-12-13 | 東理システム株式会社 | 電流テストプローブホルダーおよび電流テストプローブ装置 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI621854B (zh) * | 2017-07-13 | 2018-04-21 | 致茂電子股份有限公司 | 電流探針以及適用於此電流探針的治具 |
CN109254180A (zh) * | 2017-07-13 | 2019-01-22 | 致茂电子(苏州)有限公司 | 电流探针以及适用于此电流探针的治具 |
CN108931674B (zh) * | 2018-10-15 | 2024-01-26 | 东莞市盈之宝电子科技有限公司 | 一种散热型探针 |
EP3888195A4 (en) | 2018-11-30 | 2022-08-03 | Corning Optical Communications RF LLC | COMPRESSABLE ELECTRICAL CONTACTS WITH DIVERSE CROSS-SECTIONS |
USD936611S1 (en) * | 2019-11-30 | 2021-11-23 | Corning Optical Communications Rf Llc | Compressible electrical contact |
USD936610S1 (en) * | 2019-11-30 | 2021-11-23 | Corning Optical Communications Rf Llc | Compressible electrical contact |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4177425A (en) * | 1977-09-06 | 1979-12-04 | Seymour Lenz | Multiple contact electrical test probe assembly |
JPS5817338Y2 (ja) * | 1979-03-26 | 1983-04-08 | 株式会社中島製作所 | プリント基板の検査測定用チェッカ−ピン |
EP2060922A1 (en) * | 2007-11-16 | 2009-05-20 | Technoprobe S.p.A | Microstructure testing head |
JP2013511039A (ja) * | 2009-11-11 | 2013-03-28 | ハイコン カンパニー リミテッド | バネコンタクト及びバネコンタクト内蔵ソケット |
JP2015152547A (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-24 | オルガン針株式会社 | 電流プローブ |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0529407A (ja) * | 1991-07-19 | 1993-02-05 | Fujitsu Ltd | 回路基板試験装置 |
JPH0687875U (ja) * | 1993-06-04 | 1994-12-22 | 住友金属工業株式会社 | プローブ |
JP2632136B2 (ja) * | 1994-10-17 | 1997-07-23 | 日本電子材料株式会社 | 高温測定用プローブカード |
JPH09321101A (ja) * | 1996-05-28 | 1997-12-12 | Tokyo Electron Ltd | ケーブルクランプ機構 |
KR20000035134A (ko) * | 1998-11-02 | 2000-06-26 | 워드 에이미 | 테스트 소켓 |
US6917525B2 (en) * | 2001-11-27 | 2005-07-12 | Nanonexus, Inc. | Construction structures and manufacturing processes for probe card assemblies and packages having wafer level springs |
US7256591B2 (en) * | 2001-11-29 | 2007-08-14 | Fujitsu Limited | Probe card, having cantilever-type probe and method |
TW594899B (en) * | 2002-12-18 | 2004-06-21 | Star Techn Inc | Detection card for semiconductor measurement |
TWI254797B (en) * | 2004-12-14 | 2006-05-11 | Advanced Semiconductor Eng | Probe base for electrical testing |
US20070075717A1 (en) * | 2005-09-14 | 2007-04-05 | Touchdown Technologies, Inc. | Lateral interposer contact design and probe card assembly |
JP2011095218A (ja) * | 2009-11-02 | 2011-05-12 | Yokogawa Electric Corp | プローブヘッド |
WO2012099572A1 (en) * | 2011-01-18 | 2012-07-26 | Touchdown Technologies, Inc. | Stiffener plate for a probecard and method |
JP5821432B2 (ja) * | 2011-09-05 | 2015-11-24 | 日本電産リード株式会社 | 接続端子及び接続治具 |
TWM502980U (zh) * | 2015-01-13 | 2015-06-11 | 正崴精密工業股份有限公司 | 探針連接器 |
-
2016
- 2016-05-06 TW TW105114208A patent/TWI567395B/zh active
-
2017
- 2017-04-26 US US15/497,840 patent/US10254310B2/en active Active
- 2017-04-27 KR KR1020170054364A patent/KR101895353B1/ko active IP Right Grant
- 2017-05-08 JP JP2017092486A patent/JP6385520B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4177425A (en) * | 1977-09-06 | 1979-12-04 | Seymour Lenz | Multiple contact electrical test probe assembly |
JPS5817338Y2 (ja) * | 1979-03-26 | 1983-04-08 | 株式会社中島製作所 | プリント基板の検査測定用チェッカ−ピン |
EP2060922A1 (en) * | 2007-11-16 | 2009-05-20 | Technoprobe S.p.A | Microstructure testing head |
JP2013511039A (ja) * | 2009-11-11 | 2013-03-28 | ハイコン カンパニー リミテッド | バネコンタクト及びバネコンタクト内蔵ソケット |
JP2015152547A (ja) * | 2014-02-19 | 2015-08-24 | オルガン針株式会社 | 電流プローブ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021189084A (ja) * | 2020-06-02 | 2021-12-13 | 東理システム株式会社 | 電流テストプローブホルダーおよび電流テストプローブ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI567395B (zh) | 2017-01-21 |
KR20170125719A (ko) | 2017-11-15 |
TW201740115A (zh) | 2017-11-16 |
KR101895353B1 (ko) | 2018-09-05 |
JP6385520B2 (ja) | 2018-09-05 |
US10254310B2 (en) | 2019-04-09 |
US20170322235A1 (en) | 2017-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6385520B2 (ja) | 電気プローブ | |
JP6850583B2 (ja) | ソケット | |
US2578288A (en) | Test adapter | |
JP5782261B2 (ja) | ソケット | |
JP2006208329A (ja) | 垂直型コイルスプリングプローブ | |
KR20150126352A (ko) | 컨택트 핀 | |
TWI479156B (zh) | 探針單元 | |
US20210278480A1 (en) | Probe fitting structure and probe | |
WO2018193832A1 (ja) | 電気的接続装置 | |
JP6283929B2 (ja) | 検査用治具及び検査用治具の製造方法 | |
KR102127728B1 (ko) | 개선된 그립핑 구조를 가지는 프로브 핀 | |
KR101577396B1 (ko) | 전기 단자 테스트용 컨택 핀 | |
CN107436372B (zh) | 电流探针 | |
JP2008298792A (ja) | プローブユニット | |
KR102257278B1 (ko) | 전기적 접속 장치 | |
KR101843474B1 (ko) | 스프링 프로브핀 | |
JPWO2020026409A1 (ja) | コンタクトプローブおよびそれを備えた検査ソケット | |
JP2009014480A (ja) | 検査冶具 | |
JP6527042B2 (ja) | ワイヤープローブの保持構造 | |
JP3183676U (ja) | 半導体検査用プローブピン | |
KR101426031B1 (ko) | 켈빈 테스트를 위한 프로브 장치 | |
JP6686825B2 (ja) | 評価装置、半導体装置の評価方法 | |
KR100849207B1 (ko) | 통형 프로브 핀 및 이를 포함하는 테스트 소켓 | |
JP2005337994A (ja) | 電子部品検査用プローブ及び該プローブを備えた電子部品検査用接続具 | |
JP2024081218A (ja) | プローブ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180416 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180508 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180629 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180717 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180807 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6385520 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |