JP2017198640A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施の形態によるプローブカード2を含むプローブ装置1の一構成例を示した図である。このプローブ装置1は、受光素子の低温検査に好適な装置であり、乾燥気体からなる雰囲気中に検査対象物3を配置することにより、低温検査中に検査対象物3の表面又はその周辺に露又は霜が発生するのを抑制することができる。
図2〜図6は、図1のプローブカード2の詳細構成例を示した図である。図2は、プローブカード2の全体を示した概略図であり、図中の(a)がプローブカード2を上方向から見た平面図、(b)が水平方向から見た側面図である。図3は、プローブカード2の上面中央部を拡大して示した拡大平面図であり、図4は、下面中央部を拡大して示した拡大底面図である。図5は、図2のA−A切断線によりプローブカード2を切断したときの断面図であり、図6は、図2のB−B切断線によりプローブカード2を切断したときの断面図である。
図7は、排気孔23Hによる排気作用についての説明図である。図7の(a)〜(c)には、種々のプローブカードについて、その近傍を乾燥気体が循環する様子を示した図である。なお、図中の矢印は、雰囲気が移動する方向を示している。
排気孔23Hは、検査対象物3の画素領域に写り込み、受光量に影響を与えるおそれがある。このため、上方から見て、排気孔23Hは、検査対象物3の画素領域と重複しないように配置されていることが望ましい。また、画素領域から離れた位置に排気孔23Hを配置するほど、受光量に与える影響も小さくすることができるから、できるだけ画素領域から離れた位置に排気孔23Hを配置することがより望ましい。検査時の画素領域は透光窓20Wの略中央に対応づけられるため、排気孔23Hは、透光窓20Wの周縁部、つまり、透明板23の周縁部に配置することがより望ましい。さらに、透光窓20Wが細長い形状である場合、長手方向の両端に相当する周縁部に排気孔23Hを配置することが望ましい。
透光窓20Wに1つの排気孔23Hのみを形成してもよいが、2以上の排気孔23Hを形成することがより望ましい。排気孔23Hの総面積が同一であれば、排気孔23Hの数を増大することにより、各排気孔23Hの大きさを小さくすることができる。小さな排気孔23Hを形成することにより、検査対象物3の画素領域に写り込み、検査結果に影響を与えるのを抑制することができる。また、複数の排気孔23Hを透過窓20Wの周縁部に配置することにより、凹部空間204の周縁部における滞留気体をより効率的に排出することができる。
排気孔23Hは、凹部空間204の滞留気体を排出することができればよく、過大な断面積を確保する必要はない。しかも、排気孔23Hの断面積が大きすぎると、下部空間10Dの気圧を顕著に低下させるおそれがあるとともに、排気孔23Hから排出される流量が増え、検査対象物3の近傍を流れる乾燥気体の流量も増えることにより、検査対象物3の温度上昇を招く。このため、排気孔23Hは、透光窓20Wの面積の30%以下であることが望ましく、10%以下であることがより望ましい。
次の表は、プローブカードの透光窓20Wに形成される排気孔23Hの総面積を異ならせた実験例1〜7について、低温検査を行った実験結果を示した表である。これらの実験例は、平面視したときの面積が8228mm2、高さが15mmの凹部空間204を有するプローブカードを用いて行われた。また、上部空間10U及び下部空間10D間の気圧差が2.8Pa、検査対象物3の温度が−40°Cの条件下で行われた。また、いずれの実験例でも、1つの排気孔23Hの内径は2mmであり、排気孔23Hの数を異ならせることにより、透明板23に形成された排気孔23Hの総面積を異ならせている。評価は、検査対象物3の表面に生じる霜を目視確認することによって行われた。
2 プローブカード
3 検査対象物
4 テスター装置
10D 下部空間
10U 上部空間
11D 下部筐体
11U 上部筐体
110 天板
111 側壁
112 開口部
113 給気口
12 乾燥気体供給装置
13 温度制御装置
15 テスト光源
16 テスターヘッド
17 ステージ
18 駆動装置
20 配線基板
201 外部端子
202 貫通孔
203 凹部
204 凹部空間
20W 透光窓
21 コンタクトプローブ
210 針元部
211 針先部
212 固定部
21R 樹脂
22 補強板
221 フレーム部
222 フランジ部
223 段差部
23 透明板
23H 排気孔
24 透明板フレーム
241 フレーム本体
242 ホルダー
243 取付ビス
244 段差部
Claims (7)
- 受光素子の低温検査用のプローブカードにおいて、
乾燥気体が供給される第1空間、及び、前記第1空間よりも低圧の第2空間を仕切る配線基板と、
前記第1空間内の前記受光素子に接触するコンタクトプローブと、
前記第2空間から前記受光素子に照射される検査光を透過する透光窓とを備え、
前記透光窓は、前記配線基板よりも前記第2空間側に配置され、前記受光素子に対向する前記配線基板上の凹部を形成し、
前記凹部は、前記凹部内の滞留気体を前記第2空間に排出する排気孔を有することを特徴とするプローブカード。 - 前記排気孔は、前記透光窓上に形成されることを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。
- 前記排気孔は、上記透光窓の周縁部に形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブカード。
- 前記凹部は、2以上の前記排気孔を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記排気孔は、前記透光窓の面積の30%以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のプローブカード。
- 前記配線基板が2.8Pa以上の気圧差を有する前記第1空間及び前記第2空間を仕切り、
前記排気孔の断面積が7mm2以上であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のプローブカード。 - 前記透光窓は、前記配線基板に対し着脱可能であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のプローブカード。
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