JPH03292748A - プローブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 光里立旦垣 （産業上の利用分野） 本発明はプローブ装置に関する。

（従来の技術） 半導体製造工程には、半導体ウェハ〔以下ウェハと略記
する〕に素子を製造するウェハプロセス工程と、ウェハ
に形成されたチップを測定する工程とがある。

上記ウェハプロセスが終了し、ウェハの良品チップの選
別を行う１０−ブ装置に於いて、低温又は高温の両温度
域で使用するホットアンドクール仕様のプローブ装置が
ある。

このホットアンドクール仕様のプローブ装置では、ウェ
ハが載置される載置台を冷却させて、ウェハが冷却され
ている。上記プローブ装置内部の冷却された載置台の周
囲をドライ雰囲気の状態としていなければ上記載置体及
び載置面、載置されているウェハ表面に結露が生じてし
まう。

そこでウェハ等に結露が生しさせないために、従来はプ
ローブ装置のステージ内の空間全部ドライな状態とする
ことが出来る装置を使用して、結露を防止していた。こ
の技術としては、特開昭６３１５１０３６号、同６３−
１０４４４２号、同６３−２２０６２３号等多数の公報
に記載のものがある。

（発明が解決しようとする課Ｂ） しかしながら、前記ウェハを冷却して検査するプローブ
装置に於いては、プローブ装置のステージ内の空間全部
ドライな状態とする為にドライエアを大量に供給しなけ
ればならず、ランニングコストが高くなる課題を有して
いた。

しかも大量のドライエアを発生させるため、大型のドラ
イエア発生装置が必要であった。

本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、従来よ
り少ないドライエア量を供給して、蔵置体上面及び載置
された被検査体の結露を防止した装置を提供することを
目的としている。

また、ブロービング中のプローブ針先の酸化を減少させ
、プローブ針の寿命を延長するように改善したプローブ
装置を供給することにある。

光肌■盪威 （課題を解決する為の手段） 本発明はプローブカードと対向した載置台に被検査体を
設け、この被検査体の電極列にプローブ針列を接触させ
て、電気的特性を検査するプローブ装置において、上記
載置面の周縁に沿ってドライエアが噴出される噴出孔を
複数個設け、この噴出孔から噴出されたドライエアがプ
ローブカード及び上記被検査体の間にドライエア雰囲気
領域を形成するようにしたことを特徴とするプローブ装
置である。

また上記載置面に被検査体が対接した以外の載置スペー
スに穿設する噴出孔をややプローブカードの中心方向に
傾けて穿設したことを特徴とするプローブ装置である。

更に上記ドライエアを窒素ガス等不活性ガスに代えて噴
出し、プローブ針の酸化を減少させるプローブ装置であ
る。

（作用） 本発明によって、温度差の異なる領域で検査を行い、被
検査体は蔵置体上面周囲から噴出されるドライエアによ
り上方への流れがでる為１．プローブ針と載置体の載置
面との間に充満する。

このドライエアは、雰囲気中でブロービングを行った場
合に、プローブ針、蔵置体、及び被検査物等に結露を生
しることを未然に防止するように作用する。

また噴出孔は載置体の載置面の周囲に穿設されている為
、ドライエアの噴出によっても被検査物が浮き上がった
り、或いは移動したりすることがない。

さらにドライエアが被検査体の対接面を有する内方上方
に向かって噴出するように噴出孔を設けた場合には、噴
出ガスが効率的に被検査物付近に充満し、少量の噴出で
より効果的にドライ状態を得るように作用する。

更に一般にプローブ針はタングステン等の材質で出来て
いる為、使用する噴出ガスを窒素ガス等の不活性ガスを
用いた場合には、プローブ針と載置体との間がこの不活
性ガスで充満し、この雰囲気下では、プローブ針の酸化
を減少させるように作用させる。

また上記噴出孔からのドライエアの流れにより、仮にプ
ローブ針先にゴミ等が介在した場合であっても、噴出孔
を平面平行に移動させ、噴出孔の近傍にプローブ針を配
置させ、これを吹き飛ばすように作用させることも出来
る。

（実施例） 以下本発明をプローブ装置に通用した一実施例を図面に
基づいて詳述する。

本発明に用いるプローブ装置の１＆五体、例えばアルミ
製の直径（８０ｔｍ）のチャ、クトフブｌの上面に被検
査体、例えばウェハの載置面が水平に設けられている。

上記載置面の中央には被検査体、例えばウェハ２が載置
される領域があり、この領域外のスペースには第１図に
示す如（、環状にドライエアを噴出させる噴出孔３が複
数穿設されている。

これら複数個の噴出孔３は、噴出孔３をやや内方に傾け
て〔チャックトップｌの被検査体２の上方向〕穿設され
、ドライエアを噴出させる他、例えばチャ、クトンブ１
の上面に対し垂直に穿設しドライエアを真上に噴出させ
ることも出来る。

噴出するドライエアは、フィルタ３ｆ、除湿気３ｅ、供
給弁３ａを介して清浄化され、乾燥したエアを供給出来
る公知の装置等を経由し載置体ｌに設けられた噴出孔３
に供給する構成としている。

上記蔵置体１に穿設された、噴出孔３からのドライエア
の噴出は、この噴出孔３と連通された供給弁３ａを供給
駆動部３ｂの駆動で調整するように設けられている。

この供給駆動部３ｂに制御手段、例えばＣＰＵ３ｃの指
示に基づいて駆動するように構成されている。上記供給
弁３ａを開にすると噴出孔３から噴出されるドライエア
３４は、連通した除湿機３ｅでドライエア３ｄに変換さ
れた気体である。

この気体は大気からフィルタ３ｆを介しておくられる。

またドライエア３ｄに代えて例えば窒素ガス等の不活性
ガスを噴出するには、上記ＣＰＵ３　ｃの指令に基づい
て三方弁３ｇを切り換えて、噴出する如く設けられてい
る。

第２図は本発明の使用時を示す概略図であり、チャ、ク
トツブ１に載置しているウェハ２の上方に対向してプロ
ーブカード４が平行に位置されている。

このプローブカード４の中心には、中空部が穿設され、
この中空部には複数の針５が中心に集合する方向に向け
て設けられており、ウェハ２に形成されたチップを検査
し良品チップを選別するように構成されている。

なお実施例ではガス噴出孔３は前記被検査物２の周囲に
環状に穿設しているが、被検査物２が浮き上がるなどし
ない位置であれば、穿設する位置は特に限定するもので
はない。

次ぎに、本実施例の作用を説明する。

まずウェハ２を所定冷却温度に冷却した状態でブロービ
ングを行う時、チャックトップ１の蔵置面に載置された
ウェハ２の周囲のスペースに穿設されている複数の噴出
孔３より、第２図矢印の如くドライなエア例えば窒素ガ
スを対向面に位置されているプローブガードに向けて噴
出させる。

この噴出孔３から噴出された窒素ガスは、プローブカー
ド４の底面に衝突して、このプローブカード４の底面に
沿ってプローブカード４の中心側と外周側に広がりなが
らドライエアの領域を形成する。

即ち、チャックトップ１に穿設されているガス噴出孔３
は環状に多数形成されていることより、前記プローブカ
ード４で中心側に拡散されたドライエアは、プローブカ
ード４の中心方向に流れ、次第にウェハ２の上方を十分
包み込むように充満する。

またウェハ２の外周には、ドライエアを隔離する部材が
ないので、矢印に示す方向に拡散する。

上記実施例では、噴出孔を蔵置面と直行する方向に穿設
して説明したが、これに限定されることはなく噴出孔３
をやや内方に向けて穿設しても良い。この場合には、プ
ローブカード４の底面に衝突したドライエアはウェハの
外周方向に逃げて拡散する量を減らす効果があるので、
チャックトップ１の外側方向に拡散する噴出ガスの量を
より少なくすることが出来るように作用する。

このことより、ウェハ２をさらに完全に噴出ガスで包み
込むことが出来るので信頬性が高くなる。

また前記この充満した噴出ガスはドライエアであること
より、このガス雰囲気中でブロービングを行った場合に
、プローブガード４、チャックトップ１、被検査物２等
に結露を生しることを未然に防止するように作用し、こ
の結露でウェハ２をさびさせたり等の不具合を解消させ
ることができ正確なブロービングを行うことが出来る。

また噴出ガスとして用いた窒素ガス等は不活性ガスであ
り、プローブカード４、被検査物２間が窒素ガスで充満
することより、タングステン等の材質で使用しているプ
ローブガード４のプローブ針５の針先は、酸化を減少さ
せるように作用する。

更に噴出孔３は、チャンクトップ１のウェハ２の周面ス
ペースに穿設する構成である為、ドライエア等の噴出に
よってもウェハ２が浮き上がったり或いは移動したする
ことがなく、ブロービングに支障がないのは当然である
他、チャツクトップ１上面の従来使用してないスペース
を利用する為、従来より使用しているチャックトップ１
を改造して使用することも出来る。

また噴出孔３より噴出ガスの流れにより、仮にプローブ
カードのプローブ針先にゴミ等が介在した場合であって
も、これを吹き飛ばすように作用させることも出来る。

この場合噴出ガスの量、圧力を変化させることよりゴミ
等の除去が効果的に行える。

次ぎにホット雰囲気でブロービングを行う時は、結露の
問題が生じない為、ガス噴出孔３よりガスの噴出の必要
はない。ただこの場合であっても、針５の周りを窒素ガ
ス等の雰囲気とすることが出来る為、プローブカード４
の針５の酸化減少を目的として使用することも出来る。

なお上述実施例では、ガス噴出孔３の数は噴出させるガ
スの圧力、量により選択するものとし、また穿設する孔
の方向、角度を個々変えて設けても良いものとする他、
孔の大きさを変更し隣あったガス噴出孔３より噴出させ
るガスの圧力、量を変更させるものであっても良い。

さらに被検査体とプローブカード間の間隙に形成される
ドライエアの乾燥状態を測定し、所望の乾燥値になるよ
うに制御しても良い。

発里夏羞果 本発明は、上述のように構成作用することより、ホット
アンドクール仕様のプローブ装置において、少量のドラ
イエアで確実に結露を防止することが出来る為、ランニ
ングコストの低減を図ることが出来る他、噴出ガスに窒
素ガス等の不活性ガスを仕様することが出来ることより
、ブロービング中の針先の酸化を減少させ針の研磨、交
換の回数を減らすことが出来、低コスト化が図れる。

またブロービング中に針先にゴミが介在した場合に、ガ
ス噴出流によりこれを除去することが可能であり、効率
的な作業を行うことが出来る。

更に本発明は構成が簡易であり安価に製作出来、従来の
装置を改良して製作することも出来る等優れた効果を有
する。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明に於けるプローブ装置の実施例を示したも
ので、第１図は本発明のチャ、クトップの平面図、第２
図は同上の使用状態を示す一部切欠き側面図である。 第１図 第２図 ■　チャックトップ　２−被検査物〔ウェハ〕３−噴出
孔　　　　　４−プローブカード５　プローブ針

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）プローブカードと対向した載置面に被検査体を設
   け、この被検査体の電極列にプローブ針列を接触させて
   、電気的特性を検査するプローブ装置において、上記載
   置面の周縁に沿ってドライエアが噴出される噴出孔を複
   数個設け、この噴出孔から噴出されたドライエアがプロ
   ーブカード及び上記被検査体の間にドライエア雰囲気領
   域を形成するようにしたことを特徴とするプローブ装置
   。
2. （２）上記載置面に被検査体が対接した以外の載置スペ
   ースに穿設する噴出孔をややプローブカードの中心方向
   に傾けて穿設したことを特徴とする請求項１記載のプロ
   ーブ装置。
3. （３）上記ドライエアを窒素ガス等不活性ガスに代えて
   噴出し、プローブ針の酸化を減少させる構成としたこと
   を特徴とする請求項１、２記載のプローブ装置。