JP2017193770A - Ru成膜方法、Ru成膜装置、金属成膜装置、Ruバリアメタル層、配線構造 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明のルテニウム(Ru)成膜方法は、ルテニウム(Ru)を主成分とするRu層をスパッタリング法によって基板上に成膜するRu成膜方法であって、圧力が5×10−4Torr〜2×10−3Torrの範囲とされたアルゴン(Ar)雰囲気下において、前記基板と、Ruを主成分とするスパッタリングターゲットとを上下方向において対向させて配置し、前記スパッタリングターゲット側と前記基板側の間において、前記基板側を負として直流電力を印加すると共に、前記スパッタリングターゲットに隣接して設けられ、前記スパッタリングターゲット側と前記基板側の間に前記直流電力が印加されない場合においても前記Arをプラズマ化可能なプラズマ補助手段に対して電力を供給し、前記基板の温度を400℃以下として前記Ru層を成膜することを特徴とする。
本発明のRu成膜方法は、前記スパッタリングターゲットの面積で規格化した前記直流電力を5.9W/cm2〜11.9W/cm2の範囲とすることを特徴とする。
本発明のRu成膜方法において、前記プラズマ補助手段は、上下方向の周りで前記スパッタリングターゲットを囲み高周波電力が供給されるコイルであることを特徴とする。
本発明のRu成膜方法は、前記高周波電力を30W〜60Wの範囲とすることを特徴とする。
本発明のRu成膜装置は、Ruを主成分とするRu層をスパッタリング法によって基板上に成膜するRu成膜装置であって、圧力が制御されたArの雰囲気下において、前記基板と、Ruを主成分とするスパッタリングターゲットとを上下方向において対向させて内部に保持するチャンバと、前記チャンバ内において前記基板の温度を制御しつつ前記基板を保持する基板ホルダと、前記チャンバ内において前記スパッタリングターゲットを保持するカソード電極と、前記カソード電極を負側として前記基板ホルダと前記カソード電極との間に直流電力を供給する直流電源と、前記チャンバ内において前記スパッタリングターゲットに隣接して設けられ、前記基板ホルダと前記カソード電極との間に前記直流電力が印加されない場合においても前記Arをプラズマ化可能なプラズマ補助手段と、を具備することを特徴とする。
本発明のRu成膜装置において、前記プラズマ補助手段は、上下方向の周りで前記スパッタリングターゲットを囲み、高周波電力が供給されるコイルであることを特徴とする。
本発明のRu成膜装置において、前記基板の温度は400℃以下、前記圧力は5×10−4Torr〜2×10−3Torrの範囲であることを特徴とする。
本発明のRuバリアメタル層は、40nm以下のデザインルールで製造された半導体装置が形成された半導体ウェハ上に形成され、(002)配向度が85%以上である柱状構造を具備するルテニウム(Ru)で構成されたことを特徴とする。
本発明の配線構造は、前記Ruバリアメタル層と、前記Ruバリアメタル層の上に形成され(111)配向度が80%以上である銅(Cu)層とを具備することを特徴とする。
本発明の金属成膜装置は、金属層をスパッタリング法によって基板上に成膜する金属成膜装置であって、圧力が制御されたスパッタリングガス雰囲気下において、前記基板と、前記金属層を構成する金属を主成分とするスパッタリングターゲットとを上下方向において対向させて内部に保持するチャンバと、前記チャンバ内において前記基板の温度を制御しつつ前記基板を保持する基板ホルダと、前記チャンバ内において前記スパッタリングターゲットを保持するカソード電極と、前記カソード電極を負側として前記基板ホルダと前記カソード電極との間に直流電力を供給する直流電源と、前記チャンバ内において前記スパッタリングターゲットに隣接して設けられ、前記基板ホルダと前記カソード電極との間に前記直流電力が印加されない場合においても前記スパッタリングガスをプラズマ化可能なプラズマ補助手段と、を具備することを特徴とする。
本発明の金属成膜装置において、前記プラズマ補助手段は、上下方向の周りで前記スパッタリングターゲットを囲み、高周波電力が供給されるコイルであることを特徴とする。
10 チャンバ
10A 排気ポート
10B ガス導入口
11 スパッタリングターゲット
12 カソード電極
13 基板ホルダ
14 ヘリカルコイル(コイル:プラズマ補助手段)
15 ヒーター
16 熱電対
21 温度制御用電源
22 直流電源
23 高周波電源
51 Si基板
52 SiO2層
53 Ruバリアメタル層
54 Cu層
55 SiN層
100 基板
Claims (11)
- ルテニウム(Ru)を主成分とするRu層をスパッタリング法によって基板上に成膜するRu成膜方法であって、
圧力が5×10−4Torr〜2×10−3Torrの範囲とされたアルゴン(Ar)雰囲気下において、前記基板と、Ruを主成分とするスパッタリングターゲットとを上下方向において対向させて配置し、
前記スパッタリングターゲット側と前記基板側の間において、前記基板側を負として直流電力を印加すると共に、
前記スパッタリングターゲットに隣接して設けられ、前記スパッタリングターゲット側と前記基板側の間に前記直流電力が印加されない場合においても前記Arをプラズマ化可能なプラズマ補助手段に対して電力を供給し、
前記基板の温度を400℃以下として前記Ru層を成膜することを特徴とするRu成膜方法。 - 前記スパッタリングターゲットの面積で規格化した前記直流電力を5.9W/cm2〜11.9W/cm2の範囲とすることを特徴とする請求項1に記載のRu成膜方法。
- 前記プラズマ補助手段は、上下方向の周りで前記スパッタリングターゲットを囲み高周波電力が供給されるコイルであることを特徴とする請求項1又は2に記載のRu成膜方法。
- 前記高周波電力を30W〜60Wの範囲とすることを特徴とする請求項3に記載のRu成膜方法。
- ルテニウム(Ru)を主成分とするRu層をスパッタリング法によって基板上に成膜するRu成膜装置であって、
圧力が制御されたアルゴン(Ar)の雰囲気下において、前記基板と、Ruを主成分とするスパッタリングターゲットとを上下方向において対向させて内部に保持するチャンバと、
前記チャンバ内において前記基板の温度を制御しつつ前記基板を保持する基板ホルダと、
前記チャンバ内において前記スパッタリングターゲットを保持するカソード電極と、
前記カソード電極を負側として前記基板ホルダと前記カソード電極との間に直流電力を供給する直流電源と、
前記チャンバ内において前記スパッタリングターゲットに隣接して設けられ、前記基板ホルダと前記カソード電極との間に前記直流電力が印加されない場合においても前記Arをプラズマ化可能なプラズマ補助手段と、
を具備することを特徴とするRu成膜装置。 - 前記プラズマ補助手段は、上下方向の周りで前記スパッタリングターゲットを囲み、高周波電力が供給されるコイルであることを特徴とする請求項5に記載のRu成膜装置。
- 前記基板の温度は400℃以下、前記圧力は5×10−4Torr〜2×10−3Torrの範囲であることを特徴とする請求項5又は6に記載のRu成膜装置。
- 40nm以下のデザインルールで製造された半導体装置が形成された半導体ウェハ上に形成され、(002)配向度が85%以上である柱状構造を具備するルテニウム(Ru)で構成されたことを特徴とするRuバリアメタル層。
- 請求項8に記載のRuバリアメタル層と、前記Ruバリアメタル層の上に形成され(111)配向度が80%以上である銅(Cu)層とを具備することを特徴とする配線構造。
- 金属層をスパッタリング法によって基板上に成膜する金属成膜装置であって、
圧力が制御されたスパッタリングガス雰囲気下において、前記基板と、前記金属層を構成する金属を主成分とするスパッタリングターゲットとを上下方向において対向させて内部に保持するチャンバと、
前記チャンバ内において前記基板の温度を制御しつつ前記基板を保持する基板ホルダと、
前記チャンバ内において前記スパッタリングターゲットを保持するカソード電極と、
前記カソード電極を負側として前記基板ホルダと前記カソード電極との間に直流電力を供給する直流電源と、
前記チャンバ内において前記スパッタリングターゲットに隣接して設けられ、前記基板ホルダと前記カソード電極との間に前記直流電力が印加されない場合においても前記スパッタリングガスをプラズマ化可能なプラズマ補助手段と、
を具備することを特徴とする金属成膜装置。 - 前記プラズマ補助手段は、上下方向の周りで前記スパッタリングターゲットを囲み、高周波電力が供給されるコイルであることを特徴とする請求項10に記載の金属成膜装置。
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