JP2005197579A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Pb系ペロブスカイト誘電体容量素子において、ペロブスカイト型導電性酸化物LaNiO3と貴金属であるRuを積層にした下部電極を用い、Ru系層とLaNiO3系膜の界面に密着性を向上させるためのRuがLaNiO3系膜中に拡散したミキシング層を有し、かつRuの(002)配向度が90%以上であり、LaNiO3が(100)に優先配向していることを特徴とすることで、PZT膜の配向とグレインサイズを制御し、平坦で配向性に優れたPZT膜を得る。
【選択図】図1
Description
特許文献5では、気相成長法における、ペロブスカイト型金属酸化物誘電体ABO3の成長温度低減の方法について述べられている。表面反応を活用することで、成長温度を低温化する該発明においては、金属酸化物誘電体の成長ステップを二段階とし、第一の成膜条件にて初期層形成を行い、第二の成長条件にて所望の膜成長を行っている。例えばPZTの場合、Bにあたる元素はZrとTiから構成されるが、第一のステップでは、複数あるB元素の一部を用い、単純な元素構成とすることで初期核生成を制御している。さらに、第二のステップでは、組成の自己整合条件を用いることで、良質な誘電体膜を得ることを特徴としている。
特許文献6では、ABO3で表されるペロブスカイト組成の電気伝導性酸化物を用いる構造が開示されている。ABO3の各構成元素の種類やその組成を選択することにより界面のバリアハイトや格子整合等を最適化することが可能である。本従来例ではPtを下部電極に用いる際には、誘電体膜を成長させる高温プロセスで、電極表面が荒れることが問題とされており、耐熱性電極として導電性酸化物を用いることが効果的であるとしている。本耐熱性電極は、高温が印加された際に、相互拡散を抑制する効果もある。
特許文献7及び8では、下部電極にPt、TiN、あるいは金属間化合物と導電性酸化物の積層構造を用いることが開示されている。Ptや金属間化合物の上に、(001)に配向したペロブスカイト型の導電性酸化物であるLSCOを挿入することで、その上に形成する(Pb、Nb)(Zr,Ti)O3のようなペロブスカイト型の強誘電体膜が良好な配向特性を示す。また、TiN上にはLaNiO3を用いることが可能であることも示されている。
特許文献9では、導電性を有するペロブスカイト型導電性酸化物を下部電極に用い、Pbを含むペロブスカイト型強誘電体膜を有するキャパシタの構造が開示されている。この構造では、下部電極とSi系材料との反応が抑制され、密着性を高めることが可能である。
非特許文献1には、LaNiO3という導電性ペロブスカイト酸化物が、RFスパッタ法にて、350℃で形成できるという報告がある。本報告では、Pt電極上に100nmの(100)に配向したLNO膜を設けることで、ゾルゲル法によるPZT成膜温度を50℃低減し、500℃で良好なペロブスカイト強誘電体膜の成膜に成功している。さらに、グレインサイズもPt電極上よりも小さくなっているという記載もある。
第1の従来例では、成長温度の低温化を実現できるが、成長温度を低温化することで核生成密度が低下し、個々のグレインサイズが大きくなってしまう場合があった。グレインサイズが大きくなると、膜の凹凸が大きくなり局所的な膜厚の分布が生じる。膜の薄い部分では印加電界が強くなるため、漏れ電流の増大や絶縁耐圧の低下をもたらす。また、膜の厚い部分では逆に、印加電界が弱くなるため十分な分極特性が得られなくなる。したがって、グレインサイズを小さくし、膜の凹凸を小さくする工夫が必要である。
本発明の半導体装置は更に、前記ミキシング層の膜厚が10nm未満であることが好ましい。
本発明の半導体装置は更に、前記LaNiO3系膜の膜厚が20nm未満であることが好ましい。
本発明の半導体装置は更に、前記LaNiO3系膜が(100)優先配向であることが好ましい。
本発明の半導体装置は更に、前記誘電体がPb(Zr,Ti)O3を主成分とする複合金属酸化物であり、かつ該誘電体膜が{100}優先配向であることが好ましい。
本発明の半導体装置は更に、前記複合金属酸化物の結晶グレインサイズが50nm以下であることが好ましい。
本発明の誘電体容量素子の構造によれば、強誘電性を有するペロブスカイト構造のPb系誘電体膜を、450℃以下の低温で得ることができ、かつ誘電体膜のグレインサイズを50nm以下に抑えることで表面平坦性を向上させ、誘電体容量素子の電気特性を向上させることができる。また、Ruは酸素との親和性が高いため、LaNiO3(以下、LNOと記載する。)との界面でRuOxとなり、このRuOxがLNO中にわずかに拡散することでミキシング層を形成し、金属膜とLNO膜の密着性が飛躍的に向上する。
下部電極のうち酸化物である誘電体膜と直接接触する部分には、誘電体膜を構成する材料の還元および下部電極材料自体の酸化を抑えるために酸化されにくい材料、酸化物が導電性を呈する材料、既に酸化されている材料を用いる必要がある。また、下部電極は誘電体膜が成長する際の基板表面となるため、誘電体膜の膜質や結晶性等に多大な影響を与える。特に、誘電体膜と同様のペロブスカイト構造を有する導電性酸化物を用いることで、誘電体膜のグレインサイズや配向性を制御しやすくなる。このような観点から、本発明では下部電極Ru系膜と誘電体膜の界面にLNOを挿入している。
ペロブスカイト型誘電体膜に望まれるのは、言うまでも無く、強誘電性と絶縁耐性である。これらの特性は配向性やグレインサイズ等を制御することで制御可能である。この誘電体の配向性やグレインサイズはその下に積層されているLNO/Ruの構造の影響を大きく受ける。そこで、誘電体膜の配向性やグレインサイズの点から最適なLNO/Ruの構造を説明する。
また、図7からは、柱状のグレイン構造は、LNOからPZTへ引き継がれていることも確認できており、LNOの結晶がPZTの結晶核として機能していることがわかる。
前記LNO系膜/Ru系膜を積層した下部電極上に、PZT膜を成膜した後に、上部電極を形成する。上部電極に関しては、PZT膜の結晶性等に影響を及ぼすわけではないので、電極膜自身の構造に関する制限は緩和される。ただし、PZT膜との界面制御については極めて重要である。通常良く用いられるのは、下部電極と同様の貴金属材料であり、微量酸素含有Ruであることが好ましく、下部電極中のRu含量は95原子%以上が好ましい。上部電極形成時には少なくともPZTとの界面を形成する部分には酸素を供給しながら成膜する手法が望ましい。例えば、スパッタリング法によって上部電極を形成する際には、Arのみでスパッタリングを行うことで、プラズマの影響でPZT表面に酸素欠損起因の損傷が導入される。スパッタリング雰囲気に酸素を導入することで、この損傷を回避することができる。この際、結果として誘電体と上部電極との間に形成される膜が導電性酸化物であっても、酸素添加の金属相であってもかまわない。好ましくは下部電極としてRu/RuO2膜、微量酸素含有Ir、IrO2、Ir/IrO2膜、Ru/LNO膜、Ir/LNO膜を用いることができる。また、上部電極の膜厚は40nm以上50nm以下が好ましい。
本発明の半導体装置の製造方法の一例では下部電極(Ru系膜、LNO系膜)、誘電体膜、上部電極の順に成膜する。Ru系膜の成膜にはスパッタリング、CVD法、真空蒸着法などの成膜法を用いる。ここでは、スパッタリングを用いた成膜法について説明する。スパッタリングは高純度のRuターゲットを用い、Arなどの不活性ガスをチャンバに導入して行う。
まず、図12(a)に示すように、Siウエハ101上に拡散層102、ゲート酸化膜104、ゲート電極105(メモリセル部のゲート105bはワード線となる配線を形成する)、からなるMOSトランジスタを形成する。トランジスタは素子分離103により互いに分離されて配置されている。トランジスタを形成した後に、絶縁膜110を成膜し、拡散層及びゲートの所定の位置に配線によって接続するためのコンタクトホール111を形成する。コンタクトホール形成後、バリアメタルおよび密着層として機能するTiN/Ti積層の薄膜をスパッタ法によって成膜し、コンタクトホールを導電体で完全に埋めるためにCVD法によりタングステンを埋め込む。その後、プラズマエッチングもしくは研磨を行うことにより、コンタクト部以外に成膜された余分なタングステンを除去し、コンタクトプラグ112を形成する。
また、本発明における誘電体容量素子の構造は、プロセス温度を450℃以下に低減しても良好な強誘電性を確保することが可能であるので、多層配線形成後に容量素子を形成することが可能である。図13に本実施例を説明する図面を示す。まず、第12図(a)に示すように、図12(a)と同様にしてトランジスタおよびコンタクトプラグを形成した後に第1層目のアルミ系配線層121をスパッタ法とドライエッチングによって形成する。尚、図中における121aはロジックの第1層目の配線層であり、121eは容量素子とトランジスタを接続するためのパッドであり、121fはメモリセルにおけるビット線となっている。
PZT容量は誘電率が高いため、高周波デバイス用のオンチップキャパシタとしての利用も考えることが出来る。図14では、第3の実施例を説明する、高周波デバイスを目的とした大容量キャパシタの例を示す。まず、図12(a)と同様にしてトランジスタとタングステンによるコンタクトプラグを形成した後、誘電率が2.4〜3.0の低誘電率層間絶縁膜211を成膜する。その後、配線を形成する部分に、タングステンコンタクトの上面位置に相当する深さまでの溝を形成する。続いて、スパッタ法により、バリア膜としてTa/TaNを15/15nm形成し、その上に80nmのCu膜をスパッタ法で形成する。その後、電解メッキ法にてCu膜を析出させ、CMPにより余剰なCu膜およびバリア膜を除去することで、予め形成しておいた溝部分にのみCuを残して、配線パターンを形成する。以上のようにして、図14(a)に示す様に、第1層目の配線を形成した。
図15に第4の実施例を説明する図を示す。本実施例では、第2層目の配線を形成した後に、容量素子を形成する例を示す。第2層目の配線までは、第3の実施例に従って形成する。その後、図15(a)に示すように、層間絶縁膜137を成膜し、容量素子を形成する部分に溝を形成する。続いて、PZT膜132と下部電極131を形成する(Ru系膜の(002)配向度93%、LNO系膜の(100)配向度85%、PZT膜の{100}配向度99%)。下部電極は、Ta/TaNバリア膜10/10nmをDCスパッタ法によって形成した後に、Ru系膜30nmをDCスパッタ法によって成膜し、最後にLNO系膜10nmをRFスパッタ法によって成膜することで形成した。PZT膜は、MOCVD法により、基板温度を380℃として、30nm成膜した。
第4の実施例の変形例を示す。容量素子形成用の溝部分に、PZT/下部電極膜を形成する際、PZT形成後に上部電極膜としてRu系膜を30nm成膜した後に、CMPを行って、容量素子部分を形成してもよい。第4の実施例では、ビアホール用のバリア膜を上部電極で代用したが、上部電極を貴金属とした場合の方が、容量素子の特性は安定する。容量素子にCMPを行った後のプロセスは、第4の実施例と全く同様にして差し支えない。
102 拡散層
103 素子分離
104 ゲート酸化膜
105a ゲート電極
105b ワード線(ゲート)
110 層間絶縁膜
111 コンタクトホール
112 コンタクトプラグ
121a 第1層配線(ロジック部)
121b 第1層配線(メモリセル部、プレート線)
121e 第1層配線(メモリセル部、接続パッド)
121f 第1層配線(メモリセル部、ビット線)
130 導電性プラグ
131 容量素子の下部電極
131a LaNiO3からなる層
131b ミキシング層
131c Ru系膜
132 誘電体膜
133 容量素子の上部電極
134 容量素子保護層間膜
135 容量素子の上部電極コンタクト
136 第1のスルーホール
137 絶縁膜
151 層間絶縁膜
152 スルーホール
153a 第2層配線(ロジック部)
153b 第2層配線(メモリセル部、ビット線)
153e 第2層配線(メモリセル部、接続パッド)
161 層間絶縁膜
163e スルーホール
162 層間絶縁膜
163a スルーホール
163f 上部電極コンタクト
164a 最上層配線
164e プレート線
211 低誘電率絶縁膜
221 低誘電率絶縁膜
222 ビアプラグ
223 金属配線
231 低誘電率絶縁膜
232a ビアプラグ
232b ビアプラグ
233 PZT容量
241 低誘電率絶縁膜
242a 上部電極コンタクト
242b ビアプラグ
243 金属配線
Claims (8)
- Ru系膜と該Ru系膜上に形成されたペロブスカイト型構造のLaNiO3系膜とで構成される下部電極と、該LaNiO3系膜上に形成されたペロブスカイト型構造の誘電体膜と、該誘電体膜上に形成された上部電極と、を有する容量素子を搭載する半導体装置。
- 前記LaNiO3系膜が、厚さ方向において前記Ru系膜側に形成されRu元素を含むミキシング層と、厚さ方向において前記誘電体膜側に形成され実質的にLaNiO3からなる層とを有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記ミキシング層の膜厚が10nm未満であることを特徴とする請求項2記載の半導体装置。
- 前記LaNiO3系膜の膜厚が20nm未満であることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の半導体装置。
- 前記Ru系膜の(002)配向度が90%以上であることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の半導体装置。
- 前記LaNiO3系膜が(100)優先配向であることを特徴とする請求項1乃至5の何れか1項に記載の半導体装置。
- 前記誘電体がPb(Zr,Ti)O3を主成分とする複合金属酸化物であり、かつ該誘電体が{100}優先配向であることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の半導体装置。
- 前記複合金属酸化物の結晶グレインサイズが50nm以下であることを特徴とする請求項7記載の半導体装置。
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