JP2017188652A - フレキシブルデバイス及び表示装置、並びにそれらの作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の基板上に第2の基板を第1の接着層により貼り合わせ、第2の基板上に第1の絶縁層、トランジスタ及び第2の絶縁層を形成し、第1の温度で加熱しながら第1の基板と第2の基板を分離する。第2の基板は可撓性基板である。第1の基板は耐熱温度が第2の温度である。第2の基板は耐熱温度が第3の温度である。第1の接着層は耐熱温度が第4の温度である熱可塑性材料を含む。第1の絶縁層、第2の絶縁層、トランジスタはそれぞれ、室温以上第4の温度未満の温度で形成する。ここで、第3の温度は第4の温度より高く、第2の温度よりも低い温度である。第1の温度は第4の温度より高く、第3の温度よりも低い温度である。
【選択図】図4
Description
本実施の形態では、本発明の一態様のフレキシブルデバイスの作製方法について説明する。ここでは、フレキシブルデバイスの一例として、表示素子を含む表示装置を例に挙げて説明する。
以下では、本発明の一態様のフレキシブルデバイスの作製方法の一例として、表示素子に発光素子を用いた表示装置の作製方法について説明する。
まず、支持基板11と基板21を接着層12により貼り合わせる(図1(A))。
続いて、図1(B)に示すように、基板21上に絶縁層31を形成する。絶縁層31は、少なくとも接着層12の耐熱温度以下の温度で形成する。
続いて、図1(C)に示すように、絶縁層31上にトランジスタ40を形成する。ここではトランジスタ40の一例として、ボトムゲート構造のトランジスタを作製する場合の例を示している。
続いて、図1(D)に示すように、トランジスタ40を覆う絶縁層33を形成する。絶縁層33は、絶縁層32と同様の方法により形成することができる。
続いて、図1(E)に示すように、絶縁層33上に絶縁層34を形成する。絶縁層34は、後に形成する表示素子の被形成面を有する層であるため、平坦化層として機能する層であることが好ましい。絶縁層34は、絶縁層31に用いることのできる有機絶縁膜または無機絶縁膜を援用できる。
続いて、図2(A)に示すように、絶縁層34及び絶縁層33に、導電層43b等に達する開口を形成する。
続いて、図2(C)に示すように、表示素子60上に、基板22を接着層13により貼り合わせる。これにより、表示素子60を接着層13及び基板22で封止することができる。
続いて、図2(D)に示すように、支持基板11を接着層12の耐熱温度よりも高い温度で加熱し、支持基板11と基板21を分離する。
支持基板11と基板21を分離することにより、表示装置10を作製することができる(図2(D))。表示装置10は、一対の基板(基板21及び基板22)が可撓性を有しているため、曲がった状態に保持することや、繰り返し曲げることなどが可能な表示装置である。
以下では、上記作製方法例1と一部が異なる作製方法の一例について説明する。
以下では、上記作製方法例とは一部が異なる作製方法の一例について説明する。
作製方法例3において、作製方法例2で示したように、導電層61及び絶縁層35を形成した後に、除去可能な保護層71を形成し、EL層62等を形成する前に支持基板11と基板21とを分離してもよい。その場合には、分離後の基板21を支持基板73に固定した状態で、EL層62、導電層63、絶縁層74、及び保護層75等を形成してもよい。
本実施の形態では、本発明の一態様のフレキシブルデバイスの作製方法について説明する。
まず、作製基板14上に、熱可塑性材料を用いて、樹脂層23を形成する(図8(A))。
次に、上記作製方法例1と一部が異なる作製方法について説明する。なお、実施の形態1の作製方法例2と同様の部分については詳細な説明を省略することがある。
次に、上記作製方法例と一部が異なる作製方法について説明する。なお、実施の形態1の作製方法例3と同様の部分については詳細な説明を省略することがある。
本実施の形態では、本発明の一態様のフレキシブルデバイスに適用できる金属酸化物膜(以降、酸化物半導体膜と呼ぶ)について説明する。
まず、酸化物半導体膜の組成について説明する。
続いて、酸化物半導体膜をトランジスタに用いる構成について説明する。
酸化物半導体膜のキャリア密度について、以下に説明を行う。
本実施の形態では、本発明の一態様のフレキシブルデバイスに用いることができる半導体装置について、図面を用いて説明する。ここでは、半導体装置の一例としてトランジスタについて、詳細に説明する。
図19(A)は、トランジスタ100の上面図であり、図19(B)は図19(A)に示す一点鎖線X1−X2間の断面図であり、図19(C)は図19(A)に示す一点鎖線Y1−Y2間の断面図である。なお、図19(A)では、明瞭化のため、絶縁膜110などの構成要素を省略して図示している。なお、トランジスタの上面図においては、以降の図面においても図19(A)と同様に、構成要素の一部を省略して図示する場合がある。また、一点鎖線X1−X2方向をチャネル長(L)方向、一点鎖線Y1−Y2方向をチャネル幅(W)方向と呼称する場合がある。
基板102としては、作製工程中の熱処理に耐えうる程度の耐熱性を有する材料を用いることができる。
絶縁膜104としては、スパッタリング法、CVD法、蒸着法、PLD法、印刷法、塗布法等を適宜用いて形成することができる。また、絶縁膜104としては、例えば、酸化物絶縁膜または窒化物絶縁膜を単層または積層して形成することができる。なお、酸化物半導体膜108との界面特性を向上させるため、絶縁膜104において少なくとも酸化物半導体膜108と接する領域は酸化物絶縁膜で形成することが好ましい。また、絶縁膜104として加熱により酸素を放出する酸化物絶縁膜を用いることで、加熱処理により絶縁膜104に含まれる酸素を、酸化物半導体膜108に移動させることが可能である。
酸化物半導体膜108としては、実施の形態1で説明した金属酸化物膜を用いることができる。
絶縁膜110は、トランジスタ100のゲート絶縁膜として機能する。また、絶縁膜110は、酸化物半導体膜108、特にチャネル領域108iに酸素を供給する機能を有する。例えば、絶縁膜110としては、酸化物絶縁膜または窒化物絶縁膜を単層または積層して形成することができる。なお、酸化物半導体膜108との界面特性を向上させるため、絶縁膜110において、酸化物半導体膜108と接する領域は、少なくとも酸化物絶縁膜を用いて形成することが好ましい。絶縁膜110として、例えば酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、窒化シリコン膜などを用いればよい。
絶縁膜116は、窒素または水素を有する。また、絶縁膜116は、フッ素を有していてもよい。絶縁膜116としては、例えば、窒化物絶縁膜が挙げられる。該窒化物絶縁膜は、窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化フッ化シリコン、フッ化窒化シリコン等を用いて形成することができる。絶縁膜116に含まれる水素濃度は、1×1022atoms/cm3以上であると好ましい。また、絶縁膜116は、酸化物半導体膜108のソース領域108s及びドレイン領域108dと接する。したがって、絶縁膜116と接するソース領域108s及びドレイン領域108d中の不純物(窒素または水素)濃度が高くなり、ソース領域108s及びドレイン領域108dのキャリア密度を高めることができる。
絶縁膜118としては、酸化物絶縁膜を用いることができる。また、絶縁膜118としては、酸化物絶縁膜と、窒化物絶縁膜との積層膜を用いることができる。絶縁膜118は、例えば酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化ガリウムまたはGa−Zn酸化物などを用いて形成すればよい。
導電膜112、120a、120bは、スパッタリング法、真空蒸着法、PLD法、熱CVD法等を用いて形成することができる。また、導電膜112、120a、120bとしては、導電性を有する金属膜、可視光を反射する機能を有する導電膜、または可視光を透過する機能を有する導電膜を用いればよい。
次に、図19(A)(B)(C)に示すトランジスタと異なる構成について、図20(A)(B)(C)を用いて説明する。
次に、図20(A)(B)(C)に示すトランジスタと異なる構成について、図22乃至図24を用いて説明する。
次に、図20(A)(B)(C)に示すトランジスタ100Aと異なる構成について、図25乃至図29を用いて説明する。
ここで、トランジスタが有するチャネル領域108iにおけるバンド構造の一例について、図30(A)(B)(C)を用いて説明する。
本実施の形態では、本発明の一態様のフレキシブルデバイスに用いることができる半導体装置について、図面を用いて説明する。ここでは、半導体装置の一例としてトランジスタについて、詳細に説明する。
図31(A)は、トランジスタ300Aの上面図であり、図31(B)は、図31(A)に示す一点鎖線X1−X2間の断面図であり、図31(C)は、図31(A)に示す一点鎖線Y1−Y2間の断面図である。なお、図31(A)において、煩雑になることを避けるため、トランジスタ300Aの構成要素の一部(ゲート絶縁膜として機能する絶縁膜等)を省略して図示している。また、一点鎖線X1−X2方向をチャネル長方向、一点鎖線Y1−Y2方向をチャネル幅方向と呼称する場合がある。なお、トランジスタの上面図においては、以降の図面においても図31(A)と同様に、構成要素の一部を省略して図示する場合がある。
図32(A)は、トランジスタ300Bの上面図であり、図32(B)は、図32(A)に示す一点鎖線X1−X2間の断面図であり、図32(C)は、図32(A)に示す一点鎖線Y1−Y2間の断面図である。
図33(A)は、トランジスタ300Cの上面図であり、図33(B)は、図33(A)に示す一点鎖線X1−X2間の断面図であり、図33(C)は、図33(A)に示す一点鎖線Y1−Y2間の断面図である。
図34(A)は、トランジスタ300Dの上面図であり、図34(B)は、図34(A)に示す一点鎖線X1−X2間の断面図であり、図34(C)は、図34(A)に示す一点鎖線Y1−Y2間の断面図である。
また、図31(A)(B)(C)に示すトランジスタ300Aが有する酸化物半導体膜308を複数の積層構造としてもよい。その場合の一例を図35(A)(B)及び図36(A)(B)に示す。
図37(A)は、トランジスタ300Gの上面図であり、図37(B)は、図37(A)に示す一点鎖線X1−X2間の断面図であり、図37(C)は、図37(A)に示す一点鎖線Y1−Y2間の断面図である。
本実施の形態では、本発明の一態様のフレキシブルデバイスについて図面を用いて説明する。本実施の形態では、表示装置の一例を説明する。
図38は、本発明の一態様の表示装置400Aの斜視概略図である。表示装置400Aは、基板471と基板472とが貼り合わされた構成を有する。図38では、基板472を破線で明示している。
図40(A)に、表示装置400Bの断面図を示す。表示装置400Bは、カラーフィルタ方式が適用されたトップエミッション構造の表示装置である。なお、表示装置400Bの斜視図は、図38に示す表示装置400Aと同様である。以降の構成例では、先の構成例と同様の構成については、詳細な説明を省略する。
図41(A)に、表示装置400Cの断面図を示す。表示装置400Cは、カラーフィルタ方式が適用されたボトムエミッション構造の表示装置である。なお、表示装置400Cの斜視図は、図38に示す表示装置400Aと同様である。
図41(B)に、表示装置400Dの断面図を示す。表示装置400Dは、塗り分け方式が適用されたトップエミッション構造の表示装置である。なお、表示装置400Dの斜視図は、図38に示す表示装置400Aと同様である。
図42に、表示装置400Eの断面図を示す。表示装置400Eは、縦電界方式が適用された液晶表示装置である。なお、表示装置400Eの斜視図は、図38に示す表示装置400Aと同様である。
図43に、表示装置400Fの断面図を示す。表示装置400Fは、横電界方式が適用された液晶表示装置である。なお、表示装置400Fの斜視図は、図38に示す表示装置400Aと同様である。
以下では、上記に示す各構成要素について説明する。なお、先の実施の形態等で既に説明した構成要素については説明を省略する場合がある。また、以降の実施の形態に示す表示装置(タッチパネルを含む)等にも、以下の材料を適宜用いることができる。
表示装置が有する基板には、可撓性を有する基板を用いることができる。表示素子からの光を取り出す側の基板には、該光を透過する材料を用いる。例えば、ガラス、石英、セラミック、サファイア、有機樹脂などの材料を用いることができる。
トランジスタは、ゲートとして機能する導電層と、半導体層と、ソースとして機能する導電層と、ドレインとして機能する導電層と、ゲート絶縁層として機能する絶縁層と、を有する。
トランジスタのゲート、ソース及びドレインのほか、表示装置を構成する各種配線及び電極などの導電層に用いることのできる材料としては、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、またはタングステンなどの金属、またはこれを主成分とする合金などが挙げられる。またこれらの材料を含む膜を単層で、または積層構造として用いることができる。例えば、シリコンを含むアルミニウム膜の単層構造、チタン膜上にアルミニウム膜を積層する二層構造、タングステン膜上にアルミニウム膜を積層する二層構造、銅−マグネシウム−アルミニウム合金膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜上に銅膜を積層する二層構造、タングステン膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜または窒化チタン膜と、その上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にチタン膜または窒化チタン膜を形成する三層構造、モリブデン膜または窒化モリブデン膜と、その上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にモリブデン膜または窒化モリブデン膜を形成する三層構造等がある。なお、酸化インジウム、酸化錫または酸化亜鉛等の酸化物を用いてもよい。また、マンガンを含む銅を用いると、エッチングによる形状の制御性が高まるため好ましい。
各絶縁層に用いることのできる絶縁材料としては、例えば、アクリル、エポキシなどの樹脂、シロキサン結合を有する樹脂の他、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機絶縁材料を用いることもできる。
液晶素子としては、例えば垂直配向(VA:Vertical Alignment)モードが適用された液晶素子を用いることができる。垂直配向モードとしては、MVA(Multi−Domain Vertical Alignment)モード、PVA(Patterned Vertical Alignment)モード、ASV(Advanced Super View)モードなどを用いることができる。
発光素子としては、自発光が可能な素子を用いることができ、電流または電圧によって輝度が制御される素子をその範疇に含んでいる。例えば、発光ダイオード(LED)、有機EL素子、無機EL素子等を用いることができる。
接着層としては、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤としてはエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂、PVC樹脂、PVB樹脂、EVA(エチレンビニルアセテート)樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低い材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用いてもよい。
接続層としては、異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)や、異方性導電ペースト(ACP:Anisotropic Conductive Paste)などを用いることができる。
着色層に用いることのできる材料としては、金属材料、樹脂材料、顔料または染料が含まれた樹脂材料などが挙げられる。
遮光層として用いることのできる材料としては、カーボンブラック、チタンブラック、金属、金属酸化物、複数の金属酸化物の固溶体を含む複合酸化物等が挙げられる。遮光層は、樹脂材料を含む膜であってもよいし、金属などの無機材料の薄膜であってもよい。また、遮光層に、着色層の材料を含む膜の積層膜を用いることもできる。例えば、ある色の光を透過する着色層に用いる材料を含む膜と、他の色の光を透過する着色層に用いる材料を含む膜との積層構造を用いることができる。着色層と遮光層の材料を共通化することで、装置を共通化できるほか工程を簡略化できるため好ましい。
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置に適用可能な入力装置(タッチセンサ)、及び本発明の一態様の表示装置の例である入出力装置(タッチパネル)等の構成例について説明する。
以下では、入力装置(タッチセンサ)の構成例について、図面を参照して説明する。
本発明の一態様のタッチパネルが有する検知素子(センサ素子ともいう)に限定は無い。指やスタイラスなどの被検知体の近接または接触を検知することのできる様々なセンサを、検知素子として適用することができる。
図47に示す表示装置470は、トランジスタ401、トランジスタ402、トランジスタ403、絶縁層414、絶縁層415、及び容量素子405の構成が、図39(A)に示す表示装置と異なる。
基板430の基板472側には、絶縁層493を介して電極431及び電極432が設けられている。ここでは、電極431が、電極433及び電極434を有する場合の例を示している。図47中の交差部487に示すように、電極432と電極433は同一平面上に形成されている。絶縁層495は、電極432及び電極433を覆うように設けられている。電極434は、絶縁層495に設けられた開口を介して、電極432を挟むように設けられる2つの電極433と電気的に接続している。
図48(A)、(B)は、タッチパネル420Bの斜視概略図である。
図50は、タッチパネル420Cの断面である。タッチパネル420Cは、表示装置400E(図42)において、基板472の基板471側とは反対側にタッチセンサを形成した構成である。このような構成を、オンセル型のタッチパネルと呼ぶことができる。
以下では、本発明の一態様の表示装置に適用可能な入力装置(タッチセンサ)の駆動方法の例について説明する。
本実施の形態では、液滴吐出法を用いてEL層を形成する方法について、図52を用いて説明する。図52(A)乃至図52(D)は、EL層786の作製方法を説明する断面図である。
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器及び照明装置について、図面を用いて説明する。
11 支持基板
12 接着層
13 接着層
14 作製基板
21 基板
22 基板
28 接着層
31 絶縁層
32 絶縁層
33 絶縁層
34 絶縁層
35 絶縁層
40 トランジスタ
41 導電層
42 半導体層
43a 導電層
43b 導電層
44 酸化物半導体層
50 ステージ
51 部材
52 部材
53 部材
54 部材
55 搬送ステージ
60 表示素子
61 導電層
62 EL層
63 導電層
71 保護層
72 テープ
73 支持基板
74 絶縁層
75 保護層
100 トランジスタ
100A トランジスタ
100B トランジスタ
100C トランジスタ
100D トランジスタ
100E トランジスタ
100F トランジスタ
100G トランジスタ
100H トランジスタ
100J トランジスタ
100K トランジスタ
102 基板
104 絶縁膜
106 導電膜
108 酸化物半導体膜
108_1 酸化物半導体膜
108_2 酸化物半導体膜
108_3 酸化物半導体膜
108d ドレイン領域
108f 領域
108i チャネル領域
108s ソース領域
110 絶縁膜
112 導電膜
112_1 導電膜
112_2 導電膜
116 絶縁膜
118 絶縁膜
120a 導電膜
120b 導電膜
122 絶縁膜
141a 開口部
141b 開口部
143 開口部
300A トランジスタ
300B トランジスタ
300C トランジスタ
300D トランジスタ
300E トランジスタ
300F トランジスタ
300G トランジスタ
302 基板
304 導電膜
306 絶縁膜
307 絶縁膜
308 酸化物半導体膜
308_1 酸化物半導体膜
308_2 酸化物半導体膜
308_3 酸化物半導体膜
312a 導電膜
312b 導電膜
312c 導電膜
314 絶縁膜
316 絶縁膜
318 絶縁膜
320a 導電膜
320b 導電膜
341a 開口部
341b 開口部
342a 開口部
342b 開口部
342c 開口部
351 開口部
352a 開口部
352b 開口部
400A 表示装置
400B 表示装置
400C 表示装置
400D 表示装置
400E 表示装置
400F 表示装置
401 トランジスタ
402 トランジスタ
403 トランジスタ
404 発光素子
405 容量素子
406 接続部
407 配線
408 接続部
409 接続層
410 入力装置
411 絶縁層
412 絶縁層
413 絶縁層
414 絶縁層
415 絶縁層
416 スペーサ
417 接着層
418 入力装置
419 接続層
420A タッチパネル
420B タッチパネル
420C タッチパネル
421 電極
422 EL層
423 電極
424 光学調整層
425 着色層
426 遮光層
427 絶縁層
429 液晶素子
430 基板
431 電極
432 電極
433 電極
434 電極
436 オーバーコート
441 配線
442 配線
443 接続体
447 領域
448 領域
449 領域
450 FPC
451 IC
455 導電層
461 電極
462 電極
463 液晶
464a 配向膜
464b 配向膜
470 表示装置
471 基板
472 基板
473 FPC
474 IC
475 絶縁層
476 絶縁層
478 絶縁層
479 表示装置
481 表示部
482 駆動回路部
485 接続部
486 接続体
487 交差部
493 絶縁層
494 半導体層
495 絶縁層
496 接着層
497 導電層
498 導電層
499 偏光板
546 導電膜
547 導電膜
548 導電膜
549 ナノワイヤ
550 入力装置
551 導電層
552 導電層
553 導電層
555 配線
556 配線
557 FPC
558 IC
560 基板
601 パルス電圧出力回路
602 電流検知回路
603 容量
621 電極
622 電極
730 絶縁膜
770 平坦化絶縁膜
772 導電膜
782 発光素子
783 液滴吐出装置
784 液滴
785 組成物を含む層
786 EL層
788 導電膜
1400 液滴吐出装置
1402 基板
1403 液滴吐出手段
1404 撮像手段
1405 ヘッド
1406 点線
1407 制御手段
1408 記憶媒体
1409 画像処理手段
1410 コンピュータ
1411 マーカー
1412 ヘッド
1413 材料供給源
1414 材料供給源
7000 表示部
7001 表示部
7100 携帯電話機
7101 筐体
7103 操作ボタン
7104 外部接続ポート
7105 スピーカ
7106 マイク
7107 カメラ
7110 携帯電話機
7200 携帯情報端末
7201 筐体
7202 操作ボタン
7203 情報
7210 携帯情報端末
7300 テレビジョン装置
7301 筐体
7303 スタンド
7311 リモコン操作機
7400 照明装置
7401 台部
7403 操作スイッチ
7411 発光部
7500 携帯情報端末
7501 筐体
7502 部材
7503 操作ボタン
7600 携帯情報端末
7601 筐体
7602 ヒンジ
7650 携帯情報端末
7651 非表示部
7700 携帯情報端末
7701 筐体
7703a ボタン
7703b ボタン
7704a スピーカ
7704b スピーカ
7705 外部接続ポート
7706 マイク
7709 バッテリ
7800 携帯情報端末
7801 バンド
7802 入出力端子
7803 操作ボタン
7804 アイコン
7805 バッテリ
7900 自動車
7901 車体
7902 車輪
7903 フロントガラス
7904 ライト
7905 フォグランプ
7910 表示部
7911 表示部
7912 表示部
7913 表示部
7914 表示部
7915 表示部
7916 表示部
7917 表示部
8000 筐体
8001 表示部
8003 スピーカ
8111 筐体
8112 表示部
8113 キーボード
8114 ポインティングデバイス
Claims (16)
- フレキシブルデバイスの作製方法であって、
第1の基板上に、第2の基板を、第1の接着層により貼り合わせる工程と、
前記第2の基板上に、第1の絶縁層を形成する工程と、
前記第1の絶縁層上に、ゲート電極、ゲート絶縁層、半導体層、並びにソース電極及びドレイン電極を含むトランジスタを形成する工程と、
前記トランジスタを覆う第2の絶縁層を形成する工程と、
第1の温度で加熱しながら、前記第1の基板と前記第2の基板を分離する工程と、を有し、
前記第2の基板は、前記第1の基板よりも可撓性の高い基板であり、
前記第1の基板は、耐熱温度が第2の温度である材料を含み、
前記第2の基板は、耐熱温度が第3の温度である材料を含み、
前記第1の接着層は、耐熱温度が第4の温度である熱可塑性材料を含み、
前記第1の絶縁層、前記第2の絶縁層、前記半導体層、及び前記ゲート絶縁層はそれぞれ、室温以上第4の温度未満の温度で形成し、
前記第3の温度は、前記第4の温度より高く、前記第2の温度よりも低い温度であり、
前記第1の温度は、前記第4の温度より高く、前記第3の温度よりも低い温度である、
フレキシブルデバイスの作製方法。 - 請求項1において、
前記第1の絶縁層、前記第2の絶縁層、前記半導体層、及び前記ゲート絶縁層はそれぞれ、室温以上250℃未満の温度で形成することを特徴とする、
フレキシブルデバイスの作製方法。 - 請求項1または請求項2において、
前記第1の絶縁層、前記第2の絶縁層、前記半導体層、及び前記ゲート絶縁層はそれぞれ、室温以上220℃未満の温度で形成することを特徴とする、
フレキシブルデバイスの作製方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
前記半導体層は、80℃以上150℃以下の温度で成膜した半導体膜を加工して形成することを特徴とする、
フレキシブルデバイスの作製方法。 - 請求項4において、
前記半導体膜は、In、Ga及びZnを含む酸化物を含み、且つ結晶性を有する膜であることを特徴とする、
フレキシブルデバイスの作製方法。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一において、
前記第4の温度は、220℃よりも高く400℃よりも低い温度である、
フレキシブルデバイスの作製方法。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一において、
前記第4の温度は、250℃よりも高く300℃よりも低い温度であり、
前記第3の温度は、300℃以上500℃以下の温度であり、
前記第2の温度は、500℃よりも高い温度である、
フレキシブルデバイスの作製方法。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一に記載のフレキシブルデバイスの作製方法を用いる表示装置の作製方法であり、
前記第2の絶縁層上に、表示素子を形成する工程と、
前記表示素子を覆って、保護層を形成する工程と、を有する、
表示装置の作製方法。 - 請求項8において、
前記表示素子及び前記保護層は、前記第1の基板と前記第2の基板を分離した後に形成する、
表示装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一に記載のフレキシブルデバイスの作製方法を用いる表示装置の作製方法であり、
前記第1の基板と前記第2の基板を分離するより前に、
前記第2の絶縁層上に、表示素子を形成する工程と、
前記表示素子を覆って、第3の基板を第2の接着層により貼り合わせる工程と、を有し、
前記第3の基板は、前記第1の基板よりも可撓性の高い基板であり、
前記第3の基板は、耐熱温度が前記第4の温度よりも高く、前記第2の温度よりも低い材料を含み、
前記第2の接着層は、耐熱温度が、前記第4の温度よりも高く、前記第2の温度よりも低い材料を含む、
表示装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項7のいずれか一に記載のフレキシブルデバイスの作製方法を用いる表示装置の作製方法であり、
前記第1の基板と前記第2の基板を分離した後に、
前記第2の絶縁層上に、表示素子を形成する工程と、
前記表示素子を覆って、第3の基板を第2の接着層により貼り合わせる工程と、を有し、
前記第3の基板は、前記第1の基板よりも可撓性の高い基板であることを特徴とする、
表示装置の作製方法。 - 第1の基板、トランジスタ、第1の絶縁層、及び第2の絶縁層を有するフレキシブルデバイスであって、
前記第1の絶縁層は、前記第1の基板上に接して設けられ、
前記トランジスタは、前記第1の絶縁層上に設けられ、
前記第2の絶縁層は、前記トランジスタを覆って設けられ、
前記第1の基板は、可撓性を有し、且つ耐熱温度が300℃以上500℃以下の温度である材料を含む、
フレキシブルデバイス。 - 請求項12において、
前記第1の基板の前記第1の絶縁層が設けられる面とは反対側の面に接して、第1の層が設けられ、
前記第1の層は、耐熱温度が250℃よりも高く300℃よりも低い温度である熱可塑性材料を含むことを特徴とする、
フレキシブルデバイス。 - 請求項12または請求項13に記載のフレキシブルデバイスと、表示素子と、保護層と、を有する表示装置であって、
前記表示素子は、前記第2の絶縁層上に設けられ、
前記保護層は、前記表示素子を覆って設けられる、
表示装置。 - 請求項12または請求項13に記載のフレキシブルデバイスと、表示素子と、接着層と、第2の基板と、を有する表示装置であって、
前記表示素子は、前記第2の絶縁層上に設けられ、
前記接着層は、前記第1の基板と前記第2の基板の間に位置する、
表示装置。 - 請求項15において、
前記接着層は、耐熱温度が300℃以上500℃以下の温度である材料を含み、
前記第2の基板は、可撓性を有し、且つ耐熱温度が300℃以上500℃以下の温度である材料を含む、
表示装置。
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