JP2017183623A - 半導体装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体チップと、半導体チップの周囲に配置されたリードと、半導体チップとリードとを接続するワイヤと、ワイヤのリード側の端部を覆うようにリードに接合されたバンプ14とを含み、バンプ14は、リードのアイランドとの対向方向に交差する方向に沿って並ぶ、平坦部25および平坦部25の周縁に配置された突起状のワイヤ残部26または切り欠き状のワイヤ切断痕36を頂部24に有している、半導体装置を提供する。
【選択図】図4
Description
車載用の半導体装置に要求される耐久性は高く、たとえば−50℃〜100℃の範囲の過酷な温度条件での温度サイクルテスト(TCT)にも耐え得る強度が求められる。この点、CuワイヤはAuワイヤに比べてTCT耐性が低いので、たとえば、ワイヤのリード側の端部(セカンドボンド)でのワイヤ切れを防止するために、当該端部の強度を高めるセキュリティバンプを形成することがある。
そこで、本発明の一実施形態は、ワイヤのリード側の端部を補強するバンプを安定して形成することができる半導体装置およびその製造方法を提供する。
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体装置1の模式的な斜視図(上面側)である。図2は、本発明の一実施形態に係る半導体装置1の模式的な斜視図(下面側)である。図3は、図1のIII−III切断線における断面図である。
半導体装置1は、QFN(Quad Flat Non-leaded Package)が適用された半導体装置である。半導体装置1は、半導体チップ2をアイランド3、リード4およびワイヤ5とともに樹脂パッケージ6で封止した構造を有している。半導体装置1(樹脂パッケージ6)の外形は、扁平な直方体形状である。
アイランド3は、平面視四角形状に形成されており、各側面が半導体装置1の側面と平行をなすように半導体装置1の中央部に配置されている。
リード4は、アイランド3の各側面と対向する位置に、同数(この実施形態では4本)ずつ設けられている。各リード4は、アイランド3の側面に対して交差する方向(この実施形態では直交方向)に延びる長尺な平面視長方形状に形成されている。むろん、各リード4は、上記交差方向に長手な長方形状である必要はなく、上記交差方向が幅方向である長方形状であってもよいし、正方形状であってもよい。複数のリード4は、アイランド3の側面と平行な方向に等しい間隔を空けて配列されている。
なお、半導体チップ2とアイランド3との電気的な接続が不要な場合には、裏メタル8が省略されて、半導体チップ2がアイランド3に絶縁性ペーストからなる接合材を介して接合されてもよい。この場合、アイランド3の表面上のめっき層9が省略されてもよい。
前述の半導体装置1に適用されるバンプ14の一例として、図4Aおよび図4BのSEM画像で示すバンプ14を適用することができる。
バンプ14は、リード4の上面に接するベース部15と、ベース部15上の突出部16とを一体的に含む錘状に形成されている。
次に、図6および図7を参照して、バンプ14におけるワイヤ残部26の向きについて説明する。図6は、半導体装置1の模式的な平面図であり、樹脂パッケージ6を取り除いた状態を示している。図7は、複数のワイヤ残部26の配置パターンを示す図である。なお、図6では、ワイヤ5やパッド7を一部省略している。また、図6および図7では、バンプ14の頂部24の加工痕としてワイヤ残部26がある場合を一例として挙げるが、以下に説明する構成は、もちろんワイヤ切断痕36に適用することもできる。
次の工程は、バンプ14の形成である。バンプ14の形成には、図11Aに示すように、本発明のワイヤ保持具の一例としてのキャピラリ30を備えるボンディング装置(図示せず)が使用される。キャピラリ30は、挿通孔31と、挿通孔31を取り囲むように形成された先端部32と、先端部32に対して径方向外側の第1傾斜部33と、先端部32に対して径方向内側の第2傾斜部34とを有している。挿通孔31には、ワイヤ5と同じ材料からなる供給ワイヤ35が通されている。
次に、図11Bに示すように、キャピラリ30をリード4の上面4Aに平行にスライドさせる(ステップS6)。このとき、リード4の上面4Aの法線方向に直交する平面上のスライド方向として、図10Bおよび図10Cに示すように、ワイヤ5に直交する方向(図10B)や、リード4の長手方向に直交する方向(図10C)が選択される。このスライドによって供給ワイヤ35がバンプ14の頂部で切断され、バンプ14側には、キャピラリ30の第1傾斜部33の形状に基づく平坦部25、および第2傾斜部34の形状に基づくワイヤ残部26が形成される。図10Bおよび図10Cに示す方向で供給ワイヤ35が切断されることから、バンプ14の平坦部25およびワイヤ残部26は、図7に示すように、リード4のアイランド3との対向方向に交差する方向に並ぶこととなる。リードサポート部28を基準に考えれば、バンプ14の平坦部25およびワイヤ残部26は、リードサポート部28の長手方向に並ぶこととなる。また、供給ワイヤ35を切断するときのキャピラリ30のスライド量D1は、たとえば1.55mil〜1.65milであってもよい。
以上のように、この実施形態に示した製造方法によれば、ワイヤ5に直交する方向(図10B)やリード4の長手方向に直交する方向(図10C)にキャピラリ30をスライドさせることによって、供給ワイヤ35を切断してバンプ14が形成される。そのため、供給ワイヤ35を切断する際、図9に示すようにリードサポート部28が大きく曲がることを抑制することができる。言い換えれば、キャピラリ30のスライド方向が、ほぼリードサポート部28の長手方向に沿っている。リードサポート部28は、全体として平面視格子状に形成されており、長手方向には大きく曲がらない構造となっている。そのため、キャピラリ30をスライドさせたときに、供給ワイヤ35に効率よく剪断力を加えることができ、バンプ14を設計通りの位置(ワイヤ5のリード4側の端部の補強に適した位置)に残しておくことができる。したがって、ワイヤ5のリード4側の端部を補強するバンプ14を安定して形成することができる。
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明は、他の形態で実施することもできる。
本発明の半導体装置は、パワーモジュール等のパワーデバイスの製造全般に利用可能であり、特に、小型・軽量化が求められている分野、車載、太陽電池、産業機器向けの装置等、温度変化が激しい環境下で使用される装置に良好に適用できる。
(1)バンプ高低差H1およびスライド量D1の評価
次に、前述の半導体装置1の製造方法において、バンプ14の形状が、バンプ高低差H1およびスライド量D1によってどのように変化するかを調べた。結果を図14および図15に示す。図14が作製されたバンプのSEM画像の平面視であり、図15が当該バンプの側面視である。
(2)バンプずれの評価
次に、供給ワイヤ35の切断方向によって、最終的に得られるバンプ14の態様がどのようになるかを調べた。
2 半導体チップ
3 アイランド
4 リード
5 ワイヤ
6 樹脂パッケージ
14 バンプ
15 ベース部
16 突出部
17 環状溝
18 底部
19 第1傾斜面
20 第2傾斜面
21 (ベース部の)端面
22 (ベース部端面の)上端
23 (突出部の)周面
24 (突出部の)頂部
25 平坦部
26 ワイヤ残部
27 ウェッジボンド部
28 リードサポート部
29 リードフレーム
30 キャピラリ
31 挿通孔
32 先端部
33 第1傾斜部
34 第2傾斜部
35 供給ワイヤ
36 ワイヤ切断痕
Claims (15)
- 半導体チップと、
前記半導体チップの周囲に配置されたリードと、
前記半導体チップと前記リードとを接続するワイヤと、
前記ワイヤの前記リード側の端部を覆うように前記リードに接合されたバンプとを含み、
前記バンプは、前記リードの前記アイランドとの対向方向に交差する方向に沿って並ぶ、平坦部と、前記平坦部の周縁に配置された突起状のワイヤ残部または前記平坦部の周縁に形成された切り欠き状のワイヤ切断痕とを頂部に有している、半導体装置。 - 前記バンプの前記平坦部は、前記リードの上面に対して傾斜して形成されている、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記平坦部の傾斜の下端と上端との高低差が、3μm〜20μmである、請求項2に記載の半導体装置。
- 前記平坦部の幅が、21.6μm〜75μmである、請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記平坦部に対する前記ワイヤ残部および前記ワイヤ切断痕の高低差の幅が、±5μmである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ワイヤの前記リード側の端部は、前記リードに対する扁平な接合部を有するウェッジボンド部を含み、
前記バンプは、前記扁平な接合部を覆うように配置されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 互いに間隔を空けて配置された複数の前記リードを含み、
前記複数のリードにそれぞれ接合された複数の前記バンプは全て、前記対向方向に交差する方向の一方側に前記ワイヤ残部または前記ワイヤ切断痕を有している、請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 互いに間隔を空けて配置された複数の前記リードを含み、
前記複数のリードにそれぞれ接合された複数の前記バンプは、前記対向方向に交差する方向の一方側に前記ワイヤ残部または前記ワイヤ切断痕を有しているバンプと、前記対向方向に交差する方向の他方側に前記ワイヤ残部または前記ワイヤ切断痕を有しているバンプとを含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記ワイヤおよび前記バンプは、Cuを主成分とする金属材料からなる、請求項1〜8のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ワイヤは、φ18μm〜φ50μmの径を有している、請求項1〜9のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記半導体チップおよび前記リードを封止する樹脂パッケージを含み、
前記樹脂パッケージは、SON(Small Outline Non-leaded package)またはQFN(Quad Flat Non-leaded package)のパッケージタイプで形成されている、請求項1〜10のいずれか一項に記載の半導体装置。 - アイランドと、前記アイランドの周縁に沿って延びる直線状のリードサポート部と、前記リードサポート部から前記アイランドに向かって延びる複数のリードとを有するリードフレームを準備する工程と、
前記アイランドに半導体チップを設置する工程と、
前記半導体チップと前記リードとをワイヤで接続する工程と、
供給ワイヤを保持したワイヤ保持具によって、前記供給ワイヤを、前記ワイヤの前記リード側の端部を覆うバンプとして前記リードに接合する工程と、
前記バンプおよび前記バンプの頂部から延びる前記供給ワイヤの一体物に対して、前記リードの前記アイランドとの対向方向に交差する方向に沿って前記ワイヤ保持具をスライドさせることによって、前記バンプの頂部で前記供給ワイヤを切断する工程とを含む、半導体装置の製造方法。 - 前記供給ワイヤを切断する工程は、1.55mil〜1.65milのスライド量で前記ワイヤ保持具をスライドさせることによって前記供給ワイヤを切断する工程を含む、請求項12に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ワイヤ保持具は、前記供給ワイヤ用の挿通孔と、前記挿通孔を取り囲むように形成され、前記バンプを形成する際に前記バンプを押圧する先端部と、前記先端部から外方に傾斜して連なる傾斜部とを有し、
前記供給ワイヤを切断する工程は、前記バンプの接合後、前記ワイヤ保持具を所定量上昇させ、前記ワイヤ保持具をスライドさせることによって、前記傾斜部に沿って前記供給ワイヤと前記バンプとの間を切断し、前記傾斜部に基づく傾斜面を前記バンプの頂部に形成する工程を含む、請求項12または13に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記バンプの接合後の前記ワイヤ保持具の上昇量は、0.6mil〜0.8milである、請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
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- 2016-03-31 JP JP2016071807A patent/JP6700087B2/ja active Active
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