JP2017181541A - 感光性フィルム、感光性屈折率調整フィルム、屈折率調整パターンの形成方法、硬化膜及び電子部品 - Google Patents

Abstract

【課題】 保護膜として機能する硬化膜を、現像性よく簡便に形成可能な感光性フィルムを提供すること。
【解決手段】 支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられたジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジアクリレート化合物及びジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジメタクリレート化合物を含む感光性樹脂層と、を備える感光性フィルム。
【選択図】 図１

Description

本発明は、感光性フィルム、感光性屈折率調整フィルム、屈折率調整パターンの形成方法、硬化膜及び電子部品に関する。

パソコンやテレビ等の大型電子機器、カーナビゲーション、携帯電話、電子辞書等の小型電子機器、ＯＡ（Ｏｆｆｉｃｅ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ、オフィスオートメーション）機器・ＦＡ（Ｆａｃｔｏｒｙ Ａｕｔｏｍａｔｉｏｎ、ファクトリーオートメーション）機器等の表示機器などには液晶表示素子やタッチパネル（タッチセンサー）が用いられている。これら液晶表示素子やタッチパネルには透明電極材料からなる電極が設けられている。

タッチパネルはすでに各種の方式が実用化されている。近年、投影型静電容量方式のタッチパネルの利用が進んでいる。一般に、投影型静電容量方式のタッチパネルでは、Ｘ軸とＹ軸による２次元座標を表現するために、複数のＸ電極と、該Ｘ電極に直交する複数のＹ電極とが、２層構造を形成している。これらの電極の材料として、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ−Ｔｉｎ−Ｏｘｉｄｅ、酸化インジウムスズ）が主流である。

ところで、タッチパネルの額縁領域はタッチ位置を検出できない領域であるから、その額縁領域の面積を狭くすることが製品価値を向上させるための重要な要素である。一般的に額縁領域には、タッチ位置の検出信号を伝えるために銅等の金属配線が形成されている。

ところで、タッチパネルは指先に接触される際に水分や塩分等の腐食成分がセンシング領域から内部に侵入することがある。タッチパネルの内部に腐食成分が侵入すると、上記金属配線が腐食し、電極と駆動用回路間の電気抵抗の増加や、断線の恐れがある。

金属配線の腐食を防ぐために、透明基材上に特定の感光性樹脂組成物から形成される感光性樹脂層を設け、この感光性樹脂層を露光、現像することで透明基材上の金属配線を保護する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の手法によれば、タッチパネル用基材上に保護膜として機能する硬化膜を形成することができる。

ところで、投影型静電容量方式のタッチパネルでは、センシング領域において電極パターンが画面上に映りこむ、いわゆる「骨見え現象」の問題がある。

上記特許文献１に記載の方法は、金属配線を保護する上では有効であるが、近年、防食性への要求が厳しくなってきており、その防食性は十分ではない。また、骨見え現象の抑制や、画面の透過率低下を抑制する点では改善の余地があった。

骨見え現象を抑制する手法として、特定の屈折率の範囲に調整された低屈折率の第一の硬化性透明樹脂層及び高屈折率の第二の硬化性透明樹脂層とを隣接して有する転写フィルムが開示されている（特許文献２）。

国際公開第２０１３／０８４８７３号パンフレット 国際公開第２０１４／０８４１１２号パンフレット

しかしながら、特許文献２の手法では、骨見え現象の抑制と金属配線の保護を両立させる硬化膜を形成する観点では改善の余地がある。また、特許文献２では、具体的な転写フィルムの構成として、仮支持体／熱可塑性樹脂層／中間層／第一の硬化性透明樹脂層／第二の硬化性透明樹脂層／保護フィルムからなる六層フィルムを開示しているが、多層フィルムの生産性の観点から改善の余地がある。

さらに、特許文献２の手法では、低屈折率の第一の硬化性透明樹脂層及び高屈折率の第二の硬化性透明樹脂層を有する積層体を現像する場合、高屈折率の第二の硬化性透明樹脂層上に低屈折率の第一の硬化性透明樹脂層の残渣が残ると、高屈折率の第二の硬化性透明樹脂層の現像が困難となる。金属配線部上に低屈折率の第一の硬化性透明樹脂層及び高屈折率の第二の硬化性透明樹脂層が残渣として残り、この残渣が回路間の接続不良の原因となると、本発明者らは見出した。したがって、低屈折率の第一の硬化性透明樹脂層と高屈折率の第二の硬化性透明樹脂層を有する積層体における低屈折率の第一の硬化性透明樹脂層は、現像性の観点から改善の余地がある。

本発明は、上記課題の解決のためになされたものであり、現像性に優れる感光性フィルムを提供することを目的とする。
さらに本発明は、金属配線の保護と、透明電極パターンの骨見え現象抑制という機能を両立させ、かつ現像性に優れる感光性樹脂層を簡便に形成可能な感光性屈折率調整フィルムを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明者らは鋭意検討した結果、特定の光重合性化合物の組合せを含む感光性樹脂層から構成される感光性フィルムにより、保護膜として機能する硬化膜を、十分な現像性で形成できることを見出し、本発明を完成させるに至った。
さらに特定の光重合性化合物の組合せを含む感光性樹脂層と、金属酸化物粒子を含有する第二の樹脂層と、を備える感光性屈折率調整フィルムにより、骨見え現象の抑制と、金属配線の腐食抑制とを両立する硬化膜を、十分な現像性で形成できることを見出し、本発明を完成させるに至った。

本発明の具体的態様を以下に示す。
［１］ 支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられたジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジアクリレート化合物及びジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジメタクリレート化合物を含む感光性樹脂層と、を備える感光性フィルム。
［２］ 前記ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジアクリレート化合物が、下記一般式（Ｉ）で表せる化合物である［１］に記載の感光性フィルム。

［一般式（Ｉ）中、Ｘは、ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有する２価の基を示す。Ｒは、それぞれ独立に炭素数１〜４のアルキレン基を示す。ｎ及びｍは、それぞれ独立に０〜２の整数を示す。ｐ及びｑはそれぞれ独立に０以上の整数を示し、ｐ＋ｑ＝０〜１０となるように選択される。］
［３］ 前記ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジメタクリレート化合物が、下記一般式（ＩＩ）で表せる化合物である［１］に記載の感光性フィルム。

［一般式（ＩＩ）中、Ｘは、ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有する２価の基を示す。Ｒは、それぞれ独立に炭素数１〜４のアルキレン基を示す。ｎ及びｍは、それぞれ独立に０〜２の整数を示す。ｐ及びｑはそれぞれ独立に０以上の整数を示し、ｐ＋ｑ＝０〜１０となるように選択される。］
［４］ 前記ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジアクリレート化合物及びジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジメタクリレート化合物が、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート及びトリシクロデカンジメタノールジメタクリレートである、［１］〜［３］のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
［５］ 前記感光性樹脂層がバインダーポリマーと、光重合開始剤とを含有する［１］〜［４］のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
［６］ 前記光重合開始剤がオキシムエステル化合物を含有する［５］に記載の感光性フィルム。
［７］ 前記バインダーポリマーがカルボキシル基を有する［５］又は［６］に記載の感光性フィルム。
［８］ 前記バインダーポリマーが、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、（メタ）アクリル酸ベンジルエステル、スチレン、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、及び（メタ）アクリル酸−２−エチルヘキシルエステルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物に由来する構造単位を含む［５］〜［７］のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
［９］ 前記感光性樹脂層が、エチレン性不飽和基を含むリン酸エステルを含有する［１］〜［８］のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
［１０］ 支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた［１］〜［９］のいずれか一項に記載の感光性フィルムにおける、感光性樹脂層の支持フィルムとは反対側に金属酸化物粒子を含有する第二の樹脂層と、を備える感光性屈折率調整フィルム。
［１１］ 前記第二の樹脂層の波長６３３ｎｍにおける屈折率が１．５〜１．９である［１０］に記載の感光性屈折率調整フィルム。
［１２］ 前記第二の樹脂層の厚みが４０ｎｍ〜５００ｎｍである［１０］又は［１１］に記載の感光性屈折率調整フィルム。
［１３］ 前記金属酸化物粒子が酸化ジルコニウム又は酸化チタンである、［１０］〜［１２］のいずれか一項に記載の感光性屈折率調整フィルム。
［１４］ 前記感光性樹脂層及び前記第二の樹脂層を有する積層体の、波長４００〜７００ｎｍにおける透過率の最小値が９０％以上である［１０］〜［１３］のいずれか一項に記載の感光性屈折率調整フィルム。
［１５］ 前記感光性樹脂層と前記第二の樹脂層の合計の厚みが３０μｍ以下である［１０］〜［１４］のいずれか一項に記載の感光性屈折率調整フィルム。
［１６］ ［１０］〜［１５］のいずれか一項に記載の感光性屈折率調整フィルムを用いて、基材上に前記第二の樹脂層が密着するように前記第二の樹脂層及び前記感光性樹脂層をラミネートする工程と、
前記基材上の前記第二の樹脂層及び前記感光性樹脂層の所定部分を露光後、前記所定部分以外を除去して、屈折率調整パターンを形成する工程と、
を備える屈折率調整パターンの形成方法。
［１７］［１０］〜［１５］のいずれか一項に記載の感光性屈折率調整フィルムの、前記第二の樹脂層及び前記感光性樹脂層を硬化してなる硬化膜。
［１８］ ［１０］〜［１５］に記載の感光性屈折率調整フィルムの、前記第二の樹脂層及び前記感光性樹脂層の硬化膜から構成される屈折率調整パターンを有する電子部品。

本発明によれば、保護膜として機能する硬化膜を、現像性よく簡便に形成可能な感光性フィルムを提供することができる。
さらに屈折率調整膜及び保護膜として機能する硬化膜を、現像性よく簡便に形成可能な感光性屈折率調整フィルムを提供することができる。

本発明の感光性屈折率調整フィルムを示す模式断面図である。 本発明の感光性屈折率調整フィルムを透明導電パターン付き基材へ用いた一実施形態を示す模式断面図である。 本発明の一実施形態に係る電子部品を示す模式平面図である。

以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。なお、本明細書において、「（メタ）アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味し、「（メタ）アクリレート」とは、アクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味する。「Ａ又はＢ」とは、ＡとＢのどちらか一方を含んでいればよく、両方とも含んでいてもよい。

また、本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。また、「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。

さらに、本明細書において組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。また、例示材料は特に断らない限り単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

（感光性フィルム）
本発明は、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた感光性樹脂層、を備える感光性フィルムである。
本発明の感光性フィルムに用いられる支持フィルム、感光性樹脂層及び保護フィルムとしては、後述する感光性屈折率調整フィルムに用いることができる支持フィルム、感光性樹脂層及び保護フィルムを、用いることができる。

（感光性屈折率調整フィルム）
本発明は、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた感光性樹脂層と、該感光性樹脂層の支持フィルムとは反対側に設けられた金属酸化物粒子を含有する第二の樹脂層と、を備える感光性屈折率調整フィルムである。

図１は、本発明の感光性屈折率調整フィルムの一実施形態を示す模式断面図である。図１に示される感光性屈折率調整フィルム１は、支持フィルム１０と、上記支持フィルム上に設けられた感光性樹脂層２０と、上記感光性樹脂層の支持フィルムとは反対側に設けられた第二の樹脂層３０とを備える。なお、感光性屈折率調整フィルムは、図１に示すように第二の樹脂層３０の感光性樹脂層２０とは反対側の面上に設けられた保護フィルム４０を含んでもよい。

図２は、本発明の感光性屈折率調整フィルムを透明導電パターン付き基材へ用いた一実施形態を示す模式断面図である。図２において、ＩＴＯ等の透明電極パターン５０ａ付き基材５０上に、パターン５０ａを覆うように第二の樹脂層３０が設けられ、その上に感光性樹脂層２０が設けられて、積層体１００が構成されている。

上記感光性屈折率調整フィルムを用いることで、例えばタッチパネルの額縁にある金属配線や透明電極の保護機能と、透明電極パターンの骨見え現象の抑制又はタッチ画面の視認性向上の両機能を満たす硬化膜を一括で形成することができる。

（支持フィルム）
支持フィルム１０としては、例えば重合体フィルムを用いることができる。重合体フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン、シクロオレフィンポリマー等が挙げられる。

支持フィルム１０の厚みは、被覆性の確保と、支持フィルム１０を介して活性光線を照射する際の解像度の低下を抑制する観点から、５〜１００μｍであることが好ましく、１０〜７０μｍであることがより好ましく、１５〜４０μｍであることがさらに好ましく、１５〜３５μｍであることが特に好ましい。

（感光性樹脂層）
感光性樹脂層２０は、バインダーポリマー（以下、（Ａ）成分ともいう）と、光重合性化合物（以下、（Ｂ）成分ともいう）と、光重合開始剤（以下、（Ｃ）成分ともいう）とを含有する感光性樹脂組成物から形成されることが好ましい。

（バインダーポリマー）
（Ａ）成分としては、アルカリ現像によりパターニングを可能とする観点から、カルボキシル基を有するバインダーポリマーを用いることが好ましい。

（Ａ）成分は、（メタ）アクリル酸、又は（メタ）アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位を含有する共重合体が好適である。上記共重合体は、上記（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸アルキルエステルと共重合し得るその他のモノマーを構成単位に含有していてもよい。具体的には、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、（メタ）アクリル酸ベンジルエステル、スチレン、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。
また、（Ａ）成分は、エチレン性不飽和基を有してもよい。なお、本明細書においてエチレン性不飽和基を有する（Ａ）成分は、（Ｂ）成分に含ませないものとする。

上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、（メタ）アクリル酸−２−エチルヘキシルエステル、（メタ）アクリル酸ヒドロキシルエチルエステル等が挙げられる。

これらの中でも、アルカリ現像性、特に無機アルカリ水溶液に対するアルカリ現像性や、パターニング性、透明性の観点から、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、（メタ）アクリル酸ベンジルエステル、スチレン、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、及び（メタ）アクリル酸−２−エチルヘキシルエステルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物由来の構造単位を有するバインダーポリマーが好ましい。

（Ａ）成分の重量平均分子量は、解像度の観点から、１０，０００〜２００，０００であることが好ましく、１５，０００〜１５０，０００であることがより好ましく、３０，０００〜１５０，０００であることがさらに好ましく、３０，０００〜１００，０００であることが特に好ましく、４０，０００〜１００，０００であることが極めて好ましい。なお、重量平均分子量は、本願明細書の実施例を参考にゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により測定することができる。

（Ａ）成分の酸価は、所望の形状を有する保護膜をアルカリ現像で容易に形成する観点から、７５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上とすることが好ましい。また、保護膜形状の制御容易性と保護膜の防錆性との両立を図る観点から、７５〜２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましく、７５〜１５０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがより好ましく、７５〜１２０ｍｇＫＯＨ／ｇであることがさらに好ましい。なお、酸価は、本願明細書の実施例を参考に測定することができる。

（Ａ）成分の水酸基価は、防錆性をより向上させる観点から、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、４５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることがより好ましい。なお、水酸基価は、本願明細書の実施例を参考に測定することができる。

（光重合性化合物）
（Ｂ）成分である光重合性化合物としては、ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジアクリレート化合物、及びジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジメタクリレート化合物を含む。感光性樹脂層及び第二の樹脂層を備える積層体を形成した際の、現像性向上及び金属配線や透明電極の腐食抑制のために、ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジアクリレート化合物として下記一般式（Ｉ）である化合物、及びジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジメタクリレート化合物として一般式（ＩＩ）で表される化合物を含むことが好ましい。

［一般式（Ｉ）中、Ｘは、ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有する２価の基を示す。Ｒは、それぞれ独立に炭素数１〜４のアルキレン基を示す。ｎ及びｍは、それぞれ独立に０〜２の整数を示す。ｐ及びｑはそれぞれ独立に０以上の整数を示し、ｐ＋ｑ＝０〜１０となるように選択される。］

［一般式（ＩＩ）中、Ｘは、ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有する２価の基を示す。Ｒは、それぞれ独立に炭素数１〜４のアルキレン基を示す。ｎ及びｍは、それぞれ独立に０〜２の整数を示す。ｐ及びｑはそれぞれ独立に０以上の整数を示し、ｐ＋ｑ＝０〜１０となるように選択される。］

上記一般式（Ｉ）及び（ＩＩ）において、Ｒは炭素数１〜４のアルキレン基を示す。Ｒはエチレン基又はプロピレン基であることが好ましく、エチレン基であることがより好ましい。また、プロピレン基はｎ−イソプロピレン基及びイソプロピレン基のいずれであってもよい。

上記一般式（Ｉ）及び（ＩＩ）において、ｎ及びｍは、それぞれ独立に０〜２の整数を示す。ｎ及びｍはメチレン基が、分子中にどの程度付加されているかを示すものである。ｐ及びｑは０以上の整数を示し、ｐ＋ｑ＝０〜１０となるように選択される。ｐ及びｑは炭素数１〜４のアルコキシ基が、分子中にどの程度付加されているかを示すものである。ｐ＋ｑが２以上の場合、２つ以上のＲは同一であっても、異なっていてもよい。

上記一般式（Ｉ）及び（ＩＩ）で表される化合物は、Ｘに含まれるジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造が、嵩高い構造を有することで、フィルムの低透湿性を実現し、金属配線及び透明電極の腐食抑制性が向上すると考えられる。

ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジアクリレートの含有量は、基材との密着性向上の観点から、（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対して、１２．５質量部以上であることが好ましく、２５質量部以上であることがより好ましく、５０質量部以上であることがさらに好ましい。
ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジメタアクリレートの含有量は、現像性向上の観点から、（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対して、１２．５質量部以上であることが好ましく、２５質量部以上であることがより好ましく、５０質量部以上であることがさらに好ましい。

上記一般式（Ｉ）で表される化合物としては、トリシクロデカンジメタノールジアクリレートが好ましい。上記一般式（ＩＩ）で表される化合物としては、トリシクロデカンジメタノールジメタクリレートが好ましい。これらは、ＤＣＰ及びＡ−ＤＣＰ（いずれも新中村化学工業株式会社製）として入手可能である。

（Ｂ）成分である光重合性化合物としては、上記一般式（Ｉ）又は（ＩＩ）で表される化合物とは別の、エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を用いることができる。エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物としては、例えば分子内に一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する一官能ビニルモノマー、分子内に二つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する二官能ビニルモノマー、又は分子内に少なくとも三つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する多官能ビニルモノマーが挙げられる。

上記分子内に一つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する一官能ビニルモノマーとしては、例えば、上記（Ａ）成分の好適な例である共重合体の合成に用いられる（メタ）アクリル酸、又は（メタ）アクリル酸アルキルエステルとして例示したもの等が挙げられる。

上記分子内に二つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する二官能ビニルモノマーとしては、例えばポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、２，２−ビス（４−（メタ）アクリロキシポリエトキシポリプロポキシフェニル）プロパン、ビスフェノールＡジグリシジルエーテルジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。

上記分子内に少なくとも三つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する多官能ビニルモノマーとしては、従来公知のものを特に制限無く用いることができる。金属配線や透明電極の腐食抑制及び現像性の観点から、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート等のトリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物；テトラメチロールメタントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート等のテトラメチロールメタン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物；ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート等のペンタエリスリトール由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物；ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等のジペンタエリスリトール由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物；ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート等のジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物；又はジグリセリン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物を用いることが好ましい。

より具体的には、ペンタエリスリトール由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物、ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物、トリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物又はジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物を含むことが好ましく、ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物、トリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物又はジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物を含むことがより好ましく、ジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物を含むことがさらに好ましい。

ここで、「〜由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物」について、ジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレート化合物を例にとり説明する。ジトリメチロールプロパン由来の骨格を有する（メタ）アクリレートとは、ジトリメチロールプロパンと、（メタ）アクリル酸とのエステル化物を意味し、当該エステル化物には、アルキレンオキシ基で変性された化合物も包含される。

（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対し、（Ａ）成分が３５〜８５質量部であることが好ましく、４０〜８０質量部であることがより好ましく、５０〜７０質量部であることがさらに好ましく、５５〜６５質量部であることが特に好ましい。特に、パターン形成性や硬化膜の透明性を維持する点では、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対し、（Ａ）成分が、３５質量部以上であることが好ましく、４０質量部以上であることがより好ましく、５０質量部以上であることがさらに好ましく、５５質量部以上であることが特に好ましい

（光重合開始剤）
（Ｃ）成分としては、光重合開始剤であれば、従来公知のものを特に制限無く用いることができるが、オキシムエステル化合物を含むことが好ましい。このような光重合開始剤を用いることにより、基材上に厚みが１０μｍ以下の薄膜であっても充分な解像度で硬化膜パターンを形成することができる。当該硬化膜パターンは、透明性にも十分に優れる。

オキシムエステル化合物としては、下記式（１）で表される化合物、下記式（２）で表される化合物、又は下記式（３）で表される化合物であることが好ましい。

式（１）中、Ｒ₁₁及びＲ₁₂は、それぞれ独立に炭素数１〜１２のアルキル基、炭素数４〜１０のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基を示す。炭素数１〜８のアルキル基、炭素数４〜６のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましく、炭素数１〜４のアルキル基、炭素数４〜６のシクロアルキル基、フェニル基又はトリル基であることがより好ましく、メチル基、シクロペンチル基、フェニル基又はトリル基であることがさらに好ましい。Ｒ₁₃は、−Ｈ、−ＯＨ、−ＣＯＯＨ、−Ｏ（ＣＨ₂）ＯＨ、−Ｏ（ＣＨ₂）₂ＯＨ、−ＣＯＯ（ＣＨ₂）ＯＨ又は−ＣＯＯ（ＣＨ₂）₂ＯＨを示す。−Ｈ、−Ｏ（ＣＨ₂）ＯＨ、−Ｏ（ＣＨ₂）₂ＯＨ、−ＣＯＯ（ＣＨ₂）ＯＨ、又は−ＣＯＯ（ＣＨ₂）₂ＯＨであることが好ましく、−Ｈ、−Ｏ（ＣＨ₂）₂ＯＨ、又は−ＣＯＯ（ＣＨ₂）₂ＯＨであることがより好ましい。

式（２）中、Ｒ₁₄は、それぞれ独立に炭素数１〜６のアルキル基を示し、プロピル基であることが好ましい。
Ｒ₁₅は、ＮＯ₂又はＡｒＣＯ（ここで、Ａｒは置換もしくは無置換のアリール基を示す。）を示し、Ａｒとしては、トリル基が好ましい。置換基を有する場合の置換基としては、炭素数１〜６のアルキル基が挙げられる。
Ｒ₁₆及びＲ₁₇は、それぞれ独立に炭素数１〜１２のアルキル基、フェニル基、又はトリル基を示し、メチル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましい。

式（３）中、Ｒ₁₈は、炭素数１〜６のアルキル基を示し、エチル基であることが好ましい。
Ｒ₁₉はアセタール結合を有する有機基であり、後述する式（３−１）に示す化合物が有するＲ₁₉に対応する置換基であることが好ましい。
Ｒ₂₀及びＲ₂₁は、それぞれ独立に炭素数１〜１２のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示し、メチル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。
Ｒ₂₂は、炭素数１〜６のアルキル基を示す。ｎは０〜４の整数を示す。

上記式（１）で表される化合物としては、例えば、下記式（１−１）で表される化合物及び下記式（１−２）で表される化合物が挙げられる。下記式（１−１）で表される化合物はＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ−０１（ＢＡＳＦ株式会社製、製品名）として入手可能である。

上記式（２）で表される化合物としては、例えば、下記式（２−１）で表される化合物が挙げられる。下記式（２−１）で表される化合物は、ＤＦＩ−０９１（ダイトーケミックス株式会社製、製品名）として入手可能である。

上記式（３）で表される化合物としては、例えば、下記式（３−１）で表される化合物が挙げられる。下記式（３−１）で表される化合物は、アデカオプトマーＮ−１９１９（株式会社ＡＤＥＫＡ製、製品名）として入手可能である。

その他のオキシムエステル化合物としては、下記式（４）で表される化合物、下記式（５）で表される化合物を用いることが好ましい。

（Ｃ）成分の含有量は、光感度及び解像度に優れる点では、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対し、０．１〜１０質量部であることが好ましく、１〜５質量部であることがより好ましく、１〜３質量部であることがさらに好ましく、１〜２質量部であることが特に好ましい。

本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、保護膜の防錆性をより向上させる観点から、メルカプト基を有するトリアゾール化合物、メルカプト基を有するテトラゾール化合物、メルカプト基を有するチアジアゾール化合物、アミノ基を有するトリアゾール化合物又はアミノ基を有するテトラゾール化合物（以下、（Ｄ）成分ともいう）をさらに含有することが好ましい。

上記メルカプト基を有するトリアゾール化合物としては、例えば、３−メルカプト−トリアゾール（和光純薬株式会社製、製品名：３ＭＴ）が挙げられる。また、上記メルカプト基を有するチアジアゾール化合物としては、例えば、２−アミノ−５−メルカプト−１，３，４−チアジアゾール（和光純薬株式会社製、製品名：ＡＴＴ）が挙げられる。

上記アミノ基を有するトリアゾール化合物としては、ベンゾトリアゾール、１Ｈ−ベンゾトリアゾール−１−アセトニトリル、ベンゾトリアゾール−５−カルボン酸、１Ｈ−ベンゾトリアゾール−１−メタノール、カルボキシベンゾトリアゾール等にアミノ基が置換した化合物、３−メルカプトトリアゾール、５−メルカプトトリアゾール等のメルカプト基を含むトリアゾール化合物にアミノ基が置換した化合物などが挙げられる。

上記アミノ基を有するテトラゾール化合物としては、５−アミノ−１Ｈ−テトラゾール、１−メチル−５−アミノ−テトラゾール、１−メチル−５−メルカプト−１Ｈ−テトラゾール、１−カルボキシメチル−５−アミノ−テトラゾール等が挙げられる。これらのテトラゾール化合物は、その水溶性塩であってもよい。具体例としては、１−メチル−５−アミノ−テトラゾールのナトリウム、カリウム、リチウム等のアルカリ金属塩などが挙げられる。

（Ｄ）成分を含有する場合、その含有量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対し、０．０５〜５．０質量部が好ましく、０．１〜２．０質量部がより好ましく、０．２〜１．０質量部がさらに好ましく、０．３〜０．８質量部が特に好ましい。

本実施形態に係る感光性樹脂組成物は、ＩＴＯ電極に対する密着性と、現像残渣の発生を抑制する観点から、エチレン性不飽和基を含むリン酸エステル（以下、（Ｅ）成分ともいう）を含有することが好ましい。本明細書においてエチレン性不飽和基を含むリン酸エステルは、上記（Ｂ）成分と重複する場合があるが、（Ｂ）成分に含ませないものとする。

（Ｅ）成分であるエチレン性不飽和基を有するリン酸エステルとしては、形成する保護膜の防錆性を充分確保しつつ、ＩＴＯ電極に対する密着性と現像性とを高水準で両立する観点から、ユニケミカル株式会社製のＰｈｏｓｍｅｒシリーズ（Ｐｈｏｓｍｅｒ−Ｍ、Ｐｈｏｓｍｅｒ−ＣＬ、Ｐｈｏｓｍｅｒ−ＰＥ、Ｐｈｏｓｍｅｒ−ＭＨ、Ｐｈｏｓｍｅｒ−ＰＰ等）、又は日本化薬株式会社製のＫＡＹＡＭＥＲシリーズ（ＰＭ２１、ＰＭ−２等）が好ましい。

（その他の添加剤）
本実施形態に係る感光性樹脂組成物には、その他の添加剤として、必要に応じて、シランカップリング剤等の密着性付与剤、防錆剤、レベリング剤、可塑剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、酸化防止剤、香料、熱架橋剤、重合禁止剤などを（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の合計量１００質量部に対し、各々０．０１〜２０質量部程度含有させることができる。これらは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用できる。

感光層樹脂層の厚みは、現像性と金属配線や透明電極の腐食抑制の観点から５〜１０μｍが好ましく、６〜１０μｍがさらに好ましく、８〜１０μｍが特に好ましい。

感光性樹脂層の透湿度は、金属配線や透明電極の腐食抑制の観点から、３５０ｇ／ｍ²・２４ｈ以下であることが好ましく、３００ｇ／ｍ²・２４ｈ以下であることがより好ましく、２５０ｇ／ｍ²・２４ｈ以下であることがさらに好ましく、２００ｇ／ｍ²・２４ｈであることが特に好ましい。なお、透湿度は、本願明細書の実施例を参考に測定することができる。

（第二の樹脂層）
感光性樹脂層の波長６３３ｎｍにおける屈折率は、通常、１．４０〜１．４９である。
上記第二の樹脂層は、波長６３３ｎｍにおける屈折率が１．５〜１．９であることが好ましい。より詳細には１．５０〜１．９０であることが好ましく、１．５３〜１．８５であることがより好ましく、１．５５〜１．７５であることがさらに好ましい。第二の樹脂層の波長６３３ｎｍにおける屈折率が１．５〜１．９であることにより、図２に示す積層体とした場合、ＩＴＯ等の透明電極パターン５０ａと、感光性樹脂層２０の上に使用される各種部材（例えば、モジュール化する際に使用するカバーガラスと透明電極パターンとを接着するＯＣＡ）との屈折率の中間値となり、ＩＴＯ等の透明電極パターンが形成されている部分と形成されていない部分での光学的な反射による色差を小さくすることが可能となり、骨見え現象を抑制できる。また、画面全体の反射光強度を低減することが可能となり、画面上の透過率低下を抑制することが可能となる。なお、屈折率は、本願明細書の実施例を参考に測定することができる。

ＩＴＯ等の透明電極の屈折率は、１．８０〜２．１０であることが好ましく、１．８５〜２．０５であることがより好ましく、１．９０〜２．００であることがさらに好ましい。また、ＯＣＡ等の部材の屈折率は１．４５〜１．５５であることが好ましく、１．４７〜１．５３であることがより好ましく、１．４８〜１．５１であることがさらに好ましい。

上記第二の樹脂層の厚みは、４０〜５００ｎｍであることが好ましく、４０〜１００ｎｍであることがより好ましく、４０〜８０ｎｍであることがさらに好ましく、４０〜６０ｎｍであることが特に好ましい。厚みが４０〜５００ｎｍであることにより、上述の画面全体の反射光強度をより低減することが可能となる。

（金属酸化物粒子）
第二の樹脂層３０を形成する組成物は金属酸化物粒子（以下、（Ｆ）成分とも呼ぶ）を含む。これにより、感光性屈折率調整フィルムを調整した際、第二の樹脂層の透明性及び波長６３３ｎｍにおける屈折率を向上させることが可能となる。また、基材への吸着を抑制しつつ、現像性を向上させることができる。

金属酸化物粒子としては、骨見え現象抑制の観点から、例えば酸化ジルコニウム又は酸化チタンの粒子を含有することが好ましい。

酸化ジルコニウム粒子としては、透明電極の材料がＩＴＯの場合、屈折率向上と、ＩＴＯ及び透明基材との密着性の観点から、酸化ジルコニウムナノ粒子（コロイド粒子等）を用いることが好ましい。また、酸化ジルコニウムナノ粒子の中でも、粒度分布Ｄｍａｘが４０ｎｍ以下であることが好ましい。

酸化ジルコニウムナノ粒子は、ＯＺ−Ｓ３０Ｋ（日産化学工業株式会社製、製品名）、ＯＺ−Ｓ３０Ｍ（日産化学工業株式会社製、製品名）、ＯＺ−Ｓ４０Ｋ−ＡＣ（日産化学工業株式会社製、製品名）、ＳＺＲ−Ｋ（酸化ジルコニウムメチルエチルケトン分散液、堺化学工業株式会社製、製品名）、ＳＺＲ−Ｍ（酸化ジルコニウムメタノール分散液、堺化学工業株式会社製、製品名）として入手可能である。

第二の樹脂層３０を形成する組成物には、（Ｆ）成分として酸化チタンナノ粒子を用いることも可能である。また、酸化チタンナノ粒子の中でも、粒度分布Ｄｍａｘが５０ｎｍ以下であることが好ましく、１０〜５０ｎｍがより好ましい。

上記金属酸化物粒子のほかに、例えばＭｇ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｃａ、Ｃｒ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｂａ等の原子を含む酸化物粒子または硫化物粒子を用いることもできる。これらは、単独で又は二種類以上を組み合わせて使用できる。

また上記金属酸化物粒子の他に、トリアジン環を有する化合物、イソシアヌル酸骨格を有する化合物、フルオレン骨格を有する化合物等の有機化合物を用いることも可能である。これにより波長６３３ｎｍにおける屈折率を向上させることができる。

本実施形態に係る第二の樹脂層を形成する組成物には、（Ｆ）成分に加えて、必要に応じて上記（Ａ）〜（Ｅ）成分及びその他の添加剤を含有してもよい。

第二の樹脂層を形成する組成物は、光重合性化合物、光重合開始剤等の光重合成分を必ずしも含有する必要はなく、層形成により隣接する樹脂層から移行する光重合成分を利用して第二の樹脂層を光硬化させることもできる。

第二の樹脂層を形成する組成物は、第二の樹脂層を形成する組成物１００質量部に対し、上記（Ｆ）成分を２０〜９５質量部含むことが好ましく、５０〜９５質量部含むことがより好ましく、７０〜９５質量部含むことがさらに好ましい。

尚、上記の第二の樹脂層３０を形成する組成物とは溶媒を含まない状態の組成物をいい、各成分の含有量は、溶媒以外の成分全量に対する含有量である。

感光性屈折率調整フィルムにおいて、感光性樹脂層及び第二の樹脂層を有する積層体の、波長４００〜７００ｎｍにおける透過率の最小値は９０％以上であることが好ましい。より詳細には、９０．５０％以上であることがより好ましく、９０．７０％以上であることがさらに好ましい。一般的な可視光波長域である波長４００〜７００ｎｍにおける透過率が９０％以上であれば、タッチパネル（タッチセンサー）のセンシング領域の透明電極を保護する場合において、センシング領域での画像表示品質、色合い、輝度が低下することを充分抑制することができる。透過率の最大値は、通常１００％以下である。なお、可視光線透過率は、本願明細書の実施例を参考に測定することができる。

感光性屈折率調整フィルムの感光性樹脂層２０、第二の樹脂層３０は、例えば、感光性樹脂組成物、第二の樹脂層３０を形成する組成物を含有する塗布液をそれぞれ調製し、これを各々支持フィルム１０、保護フィルム４０上に塗布、乾燥し、貼り合わせることにより形成できる。または、支持フィルム１０上に感光性樹脂組成物を含有する塗布液を塗布、乾燥し、その後、感光性樹脂層２０上に、第二の樹脂層３０を形成する組成物を含有する塗布液を塗布、乾燥し、保護フィルム４０を貼り付けることにより形成することもできる。

塗布液は、上述した本実施形態に係る感光性樹脂組成物、第二の樹脂層を形成する組成物を構成する各成分を溶剤に均一に溶解又は分散することにより得ることができる。

塗布液として用いる溶剤は、特に制限は無く、公知のものが使用できる。例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、メチレングリコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、クロロホルム、塩化メチレン等が挙げられる。

塗布方法としては、ドクターブレードコーティング法、マイヤーバーコーティング法、ロールコーティング法、スクリーンコーティング法、スピナーコーティング法、インクジェットコーティング法、スプレーコーティング法、ディップコーティング法、グラビアコーティング法、カーテンコーティング法、ダイコーティング法等が挙げられる。

乾燥条件に特に制限は無いが、乾燥温度は、６０〜１３０℃とすることが好ましく、乾燥時間は、０．５〜３０分とすることが好ましい。

感光性樹脂層と第二の樹脂層の合計（以下、感光性屈折率調整層ともいう）の厚みは、ラミネート時の追従性向上の観点から、３０μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以下であることがより好ましく、１０μｍ以下であることがさらに好ましい。さらに、防錆性の観点から、基材の突起物によるピンホールが発生する可能性を加味すると、１μｍ以上であることが好ましく、２μｍ以上であることが好ましく、２μｍ以上であることがさらに好ましい。３μｍ以上であれば、基材の突起物による影響を極力抑え、防錆性を保つことが可能となる。

（保護フィルム）
保護フィルム４０としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体とポリエチレンの積層フィルム等が挙げられる。

保護フィルム４０の厚みは、５〜１００μｍが好ましいが、ロール状に巻いて保管する観点から、７０μｍ以下であることが好ましく、６０μｍ以下であることがより好ましく、５０μｍ以下であることがさらに好ましく、４０μｍ以下であることが特に好ましい。

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（その他の層）
また、本発明の感光性フィルム及び感光性屈折率調整フィルムは、本発明の効果が得られる範囲で、適宜選択したその他の層を設けてもよい。前記その他の層としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、クッション層、バリア層、剥離層、接着層等の層が挙げられる。前記感光性フィルム及び感光性屈折率調整フィルムは、これらの層を１種単独で有していてもよく、２種以上を有してもよい。また、同種の層を２以上有していてもよい。

次に、感光性屈折率調整フィルムを用いた透明電極の保護機能と、電極パターンの骨見え現象の抑制又はタッチ画面の視認性向上の両機能を満たす硬化膜を形成する方法について説明する。

（基材）
基材５０（透明電極パターン付き基材）としては、例えばタッチパネルに用いられる、ガラス、プラスチック、セラミック、樹脂製の基材などが挙げられる。樹脂製の基材として、例えばポリエステル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、オレフィン系樹脂、ポリブチレンテレフタレート系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、アクリル系樹脂製の基材等が挙げられる。これらの基材は透明であることが好ましい。

（透明電極及び金属配線）
前記基材上には、硬化膜を形成する対象となる、透明電極及び金属配線が設けられる。
透明電極は、例えばＩＴＯやＩＺＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｚｉｎｃ Ｏｘｉｄｅ、酸化インジウム−酸化亜鉛）等の導電性金属酸化膜を用いて、形成することができる。また透明電極は、銀繊維やカーボンナノチューブなどの導電性繊維を用いた光硬化性樹脂層を有する感光性フィルムを用いて、形成することもできる。
金属配線は、例えば、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ａｌ、Ｍｏ、Ｃなどの導電性材料を用いて、スクリーン印刷、蒸着などの方法により形成することができる。
また、基材と、透明電極及び金属配線との間には、例えば屈折率調整層、絶縁層等が設けられていてもよい。

−ラミネート工程−
まず、感光性屈折率調整フィルム１の保護フィルム４０を除去した後、感光性屈折率調整フィルムを基材５０（透明導電パターン付き基材）の表面に第二の樹脂層３０が密着するように圧着することによりラミネートする。圧着手段としては、圧着ロールが挙げられる。圧着ロールは、加熱圧着できるように加熱手段を備えたものであってもよい。

加熱圧着する場合の加熱温度は、第二の樹脂層３０と基材５０との密着性と、感光性樹脂層や第二の樹脂層の構成成分が熱硬化又は熱分解されにくいようにする観点から、２５〜１６０℃とすることが好ましく、２５〜１５０℃とすることがより好ましく、３０〜１５０℃とすることがさらに好ましい。

また、加熱圧着時の圧着圧力は、第二の樹脂層３０と基材５０との密着性を充分確保しながら、基材５０の変形を抑制する観点から、線圧で５０〜１×１０⁵Ｎ／ｍとすることが好ましく、２．５×１０²〜５×１０⁴Ｎ／ｍとすることがより好ましく、５×１０²〜４×１０⁴Ｎ／ｍとすることがさらに好ましい。

感光性屈折率調整フィルムを上記のように加熱圧着すれば、基材の予熱処理は必ずしも必要ではないが、第二の樹脂層３０と基材５０との密着性をさらに向上させる点から、基材５０を予熱処理してもよい。このときの処理温度は、３０〜１５０℃とすることが好ましい。

−露光工程−
次に、転写後の感光性屈折率調整層の所定部分に、フォトマスクを介して、活性光線をパターン状に照射する。活性光線を照射する際、感光性屈折率調整層上の支持フィルム１０が透明の場合には、そのまま活性光線を照射することができ、不透明の場合には除去してから活性光線を照射する。活性光線の光源としては、公知の活性光源を用いることができる。
なお本明細書においてパターンとは、回路を形成する微細配線の形状にとどまらず、他基材との接続部のみを矩形に除去した形状や基材の額縁部のみを除去した形状等も含まれる。

活性光線の照射量は、１×１０²〜１×１０⁴Ｊ／ｍ²であり、照射の際に、加熱を伴うこともできる。この活性光線の照射量が、１×１０²Ｊ／ｍ²以上であれば、光硬化を充分に進行させることが可能となり、１×１０⁴Ｊ／ｍ²以下であれば感光性屈折率調整層の変色を抑制することができる傾向がある。

−現像工程−
続いて、活性光線照射後の感光性樹脂層及び第二の樹脂層の未露光部を現像液で除去して、透明電極の一部又は全部を被覆する屈折率調整パターンを形成する。なお、活性光線の照射後、感光性屈折率調整層に支持フィルム１０が積層されている場合にはそれを除去した後、現像工程が行われる。ここで、感光性樹脂層及び第二の樹脂層を有する積層体を現像する場合には、第二の樹脂層上に感光性樹脂層の残渣が残ると、その下の第二の樹脂層の現像が困難となる。したがって、感光性屈折率調整層における感光性樹脂層の現像性は、第二の樹脂層を有さない感光性樹脂層の現像性と比べ、高レベルの現像性が要求される。

現像工程は、アルカリ水溶液、水系現像液、有機溶剤等の公知の現像液を用いて、スプレー、シャワー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により行うことができる。中でも、環境、安全性の観点からアルカリ水溶液を用いて、スプレー現像することが好ましい。なお、現像温度や時間は従来公知の範囲で調整することができる。

＜硬化膜＞
本発明の硬化膜は、本発明の感光性屈折率調整フィルムの第二の樹脂層及び感光性樹脂層を硬化してなる。
本発明の硬化膜は、例えばタッチパネル用電極保護膜、液晶や有機ＥＬ等の表示素子用の平坦化膜及び層間絶縁膜、カラーフィルター用保護膜、プリント配線板用ソルダーレジスト膜等として用いることが可能である。

なお、第二の樹脂層の大部分が感光性樹脂層に被覆され、露出されない場合、第二の樹脂層は必ずしも硬化される必要はない。本発明の硬化膜は、このような感光性樹脂層が硬化し、第二の樹脂層が硬化していない場合も含む。

＜電子部品＞
本実施形態に係る電子部品は、感光性屈折率調整フィルムの、第二の樹脂層及び感光性樹脂層の硬化膜を備えている。この硬化膜はパターン状に形成されていることが好ましい。電子部品としては、タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッサンス、太陽電池モジュール、プリント配線板、電子ペーパ等が挙げられる。

図３は、静電容量式のタッチパネルの一例を示す模式上面図である。図３に示されるタッチパネルは、透明基材１０１の片面にタッチ位置座標を検出するためのタッチ画面１０２があり、この領域の静電容量変化を検出するための透明電極１０３及び透明電極１０４が基材１０１上に設けられている。

透明電極１０３及び透明電極１０４はそれぞれタッチ位置のＸ位置座標及びＹ位置座標を検出する。

透明基材１０１上には、透明電極１０３及び透明電極１０４からタッチ位置の検出信号を外部回路に伝えるための金属配線１０５が設けられている。また、金属配線１０５と、透明電極１０３及び透明電極１０４とは、透明電極１０３及び透明電極１０４上に設けられた接続電極１０６により接続されている。また、金属配線１０５の透明電極１０３及び透明電極１０４との接続部と反対側の端部には、外部回路との接続端子１０７が設けられている。

図３に示すように、屈折率調整パターン１２３を形成することによって、透明電極１０３、透明電極１０４、金属配線１０５、接続電極１０６及び接続端子１０７の保護膜の機能と、透明電極パターンから形成されるセンシング領域（タッチ画面１０２）の屈折率調整機能を同時に奏する。

以下、実施例を挙げて本発明についてより具体的に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

実施例１〜５、比較例１〜３
［バインダーポリマー溶液（Ａ１）の作製］
撹拌機、還流冷却機、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、表１に示す（１）を仕込み、窒素ガス雰囲気下で８０℃に昇温し、反応温度を８０℃±２℃に保ちながら、表１に示す（２）を４時間かけて均一に滴下した。（２）の滴下後、８０℃±２℃で６時間撹拌を続け、重量平均分子量が６５，０００、酸価が７８ｍｇＫＯＨ／ｇ、水酸基価が２ｍｇＫＯＨ／ｇ、ガラス転移温度が６０℃のバインダーポリマーの溶液（固形分４５質量％）（Ａ１）を得た。

［重量平均分子量の測定方法］
重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ）によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。ＧＰＣの条件を以下に示す。
＜ＧＰＣ条件＞
ポンプ：Ｌ−６０００（株式会社日立製作所製、製品名）
カラム：Ｇｅｌｐａｃｋ ＧＬ−Ｒ４２０、Ｇｅｌｐａｃｋ ＧＬ−Ｒ４３０、Ｇｅｌｐａｃｋ ＧＬ−Ｒ４４０（以上、日立化成株式会社製、製品名）
溶離液：テトラヒドロフラン
測定温度：４０℃
流量：２．０５ｍＬ／分
検出器：Ｌ−３３００（ＲＩ検出器、株式会社日立製作所製、製品名）

［酸価の測定方法］
酸価は下記に示すような、ＪＩＳ Ｋ００７０に基づいた中和滴定法により測定した。まず、バインダーポリマーの溶液を１３０℃で１時間加熱し、揮発分を除去して、固形分を得た。そして、上記固形分のバインダーポリマー１ｇを精秤した後、このバインダーポリマーにアセトンを３０ｇ添加し、これを均一に溶解し、樹脂溶液を得た。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその樹脂溶液に適量添加して、０．１ｍｏｌ／Ｌの水酸化カリウム水溶液を用いて中和滴定を行った。そして、次式により酸価を算出した。
酸価＝０．１×Ｖ×ｆ₁×５６．１／（Ｗｐ×Ｉ／１００）
式中、Ｖは滴定に用いた０．１ｍｏｌ／ Ｌ水酸化カリウム水溶液の滴定量（ｍＬ）、
ｆ₁は０．１ｍｏｌ／ Ｌ水酸化カリウム水溶液のファクター（濃度換算係数）、
Ｗｐは測定した樹脂溶液の質量（ｇ）、
Ｉは測定した上記樹脂溶液中の不揮発分の割合（質量％）を示す。

［水酸基価の測定方法］
水酸基価は下記に示すような、ＪＩＳ Ｋ００７０に基づいた中和滴定法により測定した。まず、バインダーポリマーの溶液を１３０℃で１時間加熱し、揮発分を除去して、固形分を得た。そして、上記固形分のバインダーポリマー１ｇを精秤した後、バインダーポリマーを三角フラスコに入れ、１０質量％の無水酢酸ピリジン溶液を１０ｍＬ加えてバインダーポリマーを均一に溶解し、１００℃で１時間加熱した。加熱後、水１０ｍＬとピリジン１０ｍＬを加えて１００℃で１０分間加熱後、自動滴定機（平沼産業株式会社製、製品名：ＣＯＭ−１７００）を用いて、０．５ｍｏｌ／Ｌの水酸化カリウムのエタノール溶液により中和滴定を行った。そして、次式により水酸基価を算出した。
水酸基価＝（Ａ−Ｂ）×ｆ₂×２８．０５／Ｓ＋Ｄ
式中、Ａは空試験に用いた０．５ｍｏｌ／Ｌ水酸化カリウムエタノール溶液の量（ｍＬ）、
Ｂは滴定に用いた０．５ｍｏｌ／Ｌ水酸化カリウムエタノール溶液の量（ｍＬ）、
ｆ₂は０．５ｍｏｌ／Ｌ水酸化カリウムエタノール溶液のファクター（濃度換算係数）、
Ｓはバインダーポリマーの質量 （ｇ） 、
Ｄは酸価を示す。
なお、空試験はバインダーポリマーを入れることなく上記工程を行なう。

［感光性樹脂層を形成する塗布液の作製］
表２に示す各成分を撹拌機によって１５分間混合し、感光性樹脂層を形成するための塗布液を調製した。
表２において、各成分の配合量の単位は質量部である。

表２中の成分の記号は以下の意味を示す。
・（Ａ）成分
（Ａ１）：モノマー配合比（メタクリル酸／メタクリル酸メチル／アクリル酸エチル＝１２／５８／３０（質量比））である共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテル／トルエン溶液、重量平均分子量６５，０００、酸価７８ｍｇＫＯＨ／ｇ、水酸基価２ｍｇＫＯＨ／ｇ、ガラス転移温度６０℃

・（Ｂ）成分
Ａ−ＤＣＰ：トリシクロデカンジメタノールジアクリレート（新中村化学工業株式会社製、製品名）
ＤＣＰ：トリシクロデカンジメタノールジメタクリレート（新中村化学工業株式会社製、製品名）
Ｔ−１４２０（Ｔ）：ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート（日本化薬株式会社製、製品名）
Ａ−ＤＯＧ：ジオキサングリコールジアクリレート（新中村化学工業株式会社製、製品名）

・（Ｃ）成分
ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ ０１：１，２−オクタンジオン，１−［（４−フェニルチオ）フェニル−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）］（ＢＡＳＦ株式会社製、製品名）

・（Ｄ）成分
ＨＡＴ：５−アミノ−１Ｈ−テトラゾール（東洋紡績株式会社製、製品名）

・（Ｅ）成分
ＰＭ−２１：エチレン性不飽和基を含むリン酸エステル（日本化薬株式会社製、製品名）

・その他の成分
Ａｎｔａｇｅ Ｗ−５００（ＡＷ−５００）：２，２’−メチレン−ビス（４−エチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）（川口化学株式会社製、製品名）
ＳＨ−３０：オクタメチルシクロテトラシロキサン（東レ・ダウコーニング
株式会社製、製品名）

［第二の樹脂層を形成する塗布液の作製］
表３に示す各成分を、撹拌機を用いて１５分間混合し第二の樹脂層を形成するための塗布液を作製した。各成分の配合量の単位は質量部である。

表３中の成分の記号は以下の意味を示す。
・（Ｂ）成分
ＢＰＥ−１３００：エトキシ化ビスフェノールＡジメタクリレート（新中村化学社製、製品名）

・（Ｆ）成分
ＯＺ−Ｓ３０Ｋ：ジルコニア分散液（日産化学工業株式会社製、製品名）

・その他の成分
Ｂ６０３０：５−アミノ−１Ｈテトラゾール（千代田ケミカル社製、製品名）
Ｌ−７００１：オクタメチルシクロテトラシロキサン（東レ・ダウコーニング株式会社製、製品名）

［屈折率の測定］
第二の樹脂層を形成するための塗布液を、厚み０．７ｍｍ、縦１０ｃｍ×横１０ｃｍのガラス基材上にスピンコーターで均一に塗布し、１００℃の熱風滞留式乾燥機で３分間乾燥して溶剤を除去し、第二の樹脂層を形成した。

次いで、１４０℃に加熱した箱型乾燥機（三菱電機株式会社製、型番：ＮＶ５０−ＣＡ）内に３０分間静置し、第二の樹脂層を有する屈折率測定用試料を得た。

次いで、得られた屈折率測定用試料をＥＴＡ−ＴＣＭ（ＡｕｄｉｏＤｅｖＧｍｂＨ株式会社製、製品名）にて波長６３３ｎｍにおける屈折率を測定した。なお、感光性屈折率調整フィルムの形態では、第二の樹脂層単層の屈折率を測定することは難しいため、第二の樹脂層の保護フィルム側の最表面層の値とする。 各第二の樹脂層の屈折率を表４に示す。

［感光性屈折率調整フィルムの作製］
保護フィルムとして厚み３０μｍのポリプロピレンフィルム（王子エフテックス株式会社製、製品名：Ｅ−２０１Ｆ）を使用し、上記で作製した第二の樹脂層を形成するための塗布液を保護フィルム上にダイコーターを用いて均一に塗布し、１００℃の熱風滞留式乾燥機で３分間乾燥して溶剤を除去し、厚み６０ｎｍの第二の樹脂層を形成した。

支持フィルムとして厚み１６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ株式会社製、製品名：ＦＢ４０）を使用し、上記で作製した感光性樹脂層を形成する塗布液を支持フィルム上にコンマコーターを用いて均一に塗布し、１００℃の熱風対流式乾燥機で３分間乾燥して溶剤を除去し、厚み８μｍの感光性樹脂層を形成した。

［第二の樹脂層と感光性樹脂層の厚み測定］
上記で作製した第二の樹脂層をＦ２０（ＦＩＬＭＥＴＲＩＣＳ株式会社製、製品名）で測定することにより第二の樹脂層の厚みを測定した。また、上記で作製した感光性樹脂層を、デジタルシックネスゲージ（ニコン株式会社製、製品名：ＤＩＧＩＭＩＣＲＯＳＴＡＮＤ ＭＳ−５Ｃ）で測定することにより感光性樹脂層の厚みを測定した。

次いで、表２に示す組み合わせにより、第二の樹脂層を有する保護フィルムと、感光性樹脂層を有する支持フィルムをラミネータ（日立化成株式会社製、製品名ＨＬＭ−３０００型）を用いて、第二の樹脂層と感光性樹脂層とが密着するように、２３℃で貼り合わせることで、実施例１〜５及び比較例１〜３の感光性屈折率調整フィルムを作製した。

作製した感光性屈折率調整フィルムについて、以下の評価を行った。結果を表４に示す。

［硬化膜の可視光線透過率、ヘーズの測定］
上記で作製した感光性屈折率調整フィルムの保護フィルムをはがしながら、厚み０．７ｍｍ、縦１０ｃｍ×横１０ｃｍのガラス基材上に、第二の樹脂層が接するようにラミネータ（日立化成株式会社製、製品名：ＨＬＭ−３０００型）を用いて、ロール温度１２０℃、基材送り速度１ｍ／分、圧着圧力（シリンダ圧力）４×１０⁵Ｐａ（厚みが０．７ｍｍ、縦１０ｃｍ×横１０ｃｍの基材を用いたため、このときの線圧は９．８×１０³Ｎ／ｍ）の条件でラミネートして、ガラス基材上に、第二の樹脂層、感光性樹脂層及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。

次いで、得られた積層体に、平行光線露光機（株式会社オーク製作所製、ＥＸＭ１２０１）を使用して、感光性樹脂層側上方より露光量５×１０²Ｊ／ｍ²（波長３６５ｎｍにおける測定値）で、紫外線を照射した後、支持フィルムを除去し、１４０℃に加熱した箱型乾燥機（三菱電機株式会社製、型番：ＮＶ５０−ＣＡ）内に３０分間静置し、可視光線透過率測定及びヘーズ測定用試料を得た。

次いで、得られた可視光線透過率測定及びヘーズ測定用試料をヘーズメーター（日本電色工業株式会社製、製品名：ＮＤＨ ７０００）を使用して、測定波長域４００〜７００ｎｍで可視光線透過率及びヘーズを測定した。

［硬化膜の防錆性評価試験］
得られた感光性屈折率調整フィルムの保護フィルムをはがし、スパッタ銅付きポリイミドフィルム（東レフィルム加工株式会社製、厚みが１ｍｍ、縦１０ｃｍ×横１０ｃｍ）上に、第二の樹脂層が密着するようにラミネータ（日立化成株式会社製、製品名：ＨＬＭ−３０００型）を用いて、ロール温度１２０℃、基材送り速度１ｍ／分、圧着圧力（シリンダ圧力）４×１０⁵Ｐａ（厚みが１ｍｍ、縦１０ｃｍ×横１０ｃｍの基材を用いたため、この時の線圧は９．８×１０³Ｎ／ｍ）の条件でラミネートして、スパッタ銅上に、第二の樹脂層、感光性樹脂層及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。

次いで、得られた積層体の感光性樹脂層に、平行光線露光機（株式会社オーク製作所製、製品名：ＥＸＭ１２０１）を使用して、感光性樹脂層側上方より露光量５×１０²Ｊ／ｍ²（波長３６５ｎｍにおける測定値）で、紫外線を照射した後、支持フィルムを除去し、さらに感光性樹脂層側上方より露光量１×１０⁴Ｊ／ｍ²（波長３６５ｎｍにおける測定値）で紫外線を照射し、１４０℃に加熱した箱型乾燥機（三菱電機株式会社製、型番：ＮＶ５０−ＣＡ）内に３０分間静置した。これにより、防錆性評価試験用試料を得た。

次いで、防錆性評価試験用試料に濃度５０ｇ／Ｌの塩水（ｐＨ＝６．７）を滴下し、温度８５℃、湿度８５％ＲＨの条件で７２時間保管した後、塩水を拭き取って、評価試験用試料の表面状態を観察し、以下の評点に従って評価した。
Ａ ： 硬化膜表面に肉眼で観察される痕跡はなし。
Ｂ ： 硬化膜表面にごくわずかな痕跡が肉眼で観察されるが、銅は変化なし。
Ｃ ： 硬化膜表面に痕跡が肉眼で観察されるが、銅は変化なし。
Ｄ ： 硬化膜表面に痕跡が肉眼で観察され、かつ銅が変色する。

［現像残渣試験］
得られた感光性屈折率調整フィルムの保護フィルムをはがし、スパッタ銅付き基板上に、第二の樹脂層が密着するように真空ラミネータ（株式会社名機製作所製、製品名：ＭＶＬＰ−５００）を用いて、圧着温度１００℃、圧着時間５秒、圧着圧力（シリンダ圧力）０．４ＭＰａの条件でラミネートして、スパッタ銅付き基板上に、第二の樹脂層、感光性樹脂層及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。

上記で得られた積層体を作製後、温度２３℃、湿度６０％ＲＨの条件で３０分保管した後、感光性樹脂層上に積層されている支持フィルムを除去し、１．０質量％炭酸ナトリウム水溶液を用いて、３０℃で４０秒間スプレー現像して、第二の樹脂層、感光性樹脂層を除去した。得られた基板表面状態を顕微鏡で観察し、以下の評点に従って現像残渣を評価した。
Ａ ： 基板表面に現像残渣が確認されない。
Ｂ ： 基板表面に現像残渣がわずかに発生する。
Ｃ ： 基板表面に現像残渣が発生する。

［色相（反射Ｒ）の測定］
得られた感光性屈折率調整フィルムの保護フィルムをはがしながら、透明導電性フィルム（東洋紡株式会社製、製品名：３００Ｒ）上に、第二の樹脂層が接するようにラミネータ（日立化成株式会社製、製品名ＨＬＭ−３０００型）を用いて、ロール温度１２０℃、基材送り速度１ｍ／分、圧着圧力（シリンダ圧力）４×１０⁵Ｐａ（厚みが１ｍｍ、縦１０ｃｍ×横１０ｃｍの基材を用いたため、このときの線圧は９．８×１０³Ｎ／ｍ）の条件でラミネートして、透明導電性フィルム上に、第二の樹脂層、感光性樹脂層及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。

次いで、得られた積層体に、平行光線露光機（株式会社オーク製作所製、製品名：ＥＸＭ１２０１）を使用して、感光性樹脂層側上方より露光量５×１０²Ｊ／ｍ²（波長３６５ｎｍにおける測定値）で、紫外線を照射した後、支持フィルムを除去し、硬化膜を有する色相（反射Ｒ）測定用試料を得た。

次いで、得られた色相（反射Ｒ）測定用試料を、分光測色計（コニカミノルタ株式会社製、製品名ＣＭ−５）を使用して、光源が基材である透明導電フィルムとは反対側になるようにして、光源設定Ｄ６５、視野角２°、測定径３０ｍｍφ、ＳＣＩ（正反射光込み）方式でＸＹＺ表色系でのｂ^*（反射ｂ^*）及びＹ値（これを反射率Ｒとする）を測定し、下記式を用いて規格化を実施した。
反射率Ｒ規格化＝反射率実測値／感光性樹脂層のみ積層した測定試料の反射率実測値×１００

［透湿度測定］
得られた感光性屈折率調整フィルムの保護フィルムを剥離し、これをろ紙（直径９０ｍｍの円形、厚み１３０μｍ、アドバンテック製 Ｎｏ．５Ｃ）上に、第二の樹脂層が密着するよう、ロール温度１２０℃、基材送り速度１ｍ／分、圧着圧力（シリンダ圧力）４×１０⁵Ｐａの条件でラミネートした。その後、支持フィルムを剥離した。ろ紙にラミネートされた感光性樹脂層上に、新たな感光性屈折率調整フィルムの保護フィルムを剥離し、第二の樹脂層が密着するようラミネートした。この操作を繰り返すことで、ろ紙上に厚み４０μｍの第二の樹脂層、感光性樹脂層（すなわち感光性樹脂層及び第二の樹脂層がそれぞれ５層）及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。

上記積層体を、平行光線露光機（株式会社オーク製作所製、ＥＸＭ１２０１）を使用して支持フィルム面垂直上より露光量０．６Ｊ／ｍ²で紫外線を照射した。

次いで、上記紫外線を照射した積層体の、支持フィルムを剥離して除去し、更に積層体の、垂直上より露光量１×１０⁴Ｊ／ｍ²で紫外線を照射した。ろ紙上に硬化膜が形成された透湿度測定用試料を得た。

次いで、ＪＩＳ規格（Ｚ０２０８）を参考に、透湿度測定としてカップ法を実施した。測定カップ（直径６０ｍｍの円形、深さ１５ｍｍ、株式会社村井元製作所）内に、吸湿剤（２０ｇの塩化カルシウム（無水））をいれた。上記透湿度測定用試料から直径７０ｍｍの大きさにはさみで切り取った円形試料を用いて、上記測定カップに蓋をした。恒温恒湿槽内にて温度６０℃、湿度９０％ＲＨの条件で２４時間放置した。放置前後の測定カップ、吸湿剤及び円形試料片の合計質量の変化から透湿度を算出し、以下の評点に従って透湿度を評価した。
Ａ：透湿度≦３００（ｇ／ｍ²・２４ｈ）である。
Ｂ：３００＜透湿度≦４００（ｇ／ｍ²・２４ｈ）である。
Ｃ：４００＜透湿度（ｇ／ｍ²・２４ｈ）である。

表４に示すように、本発明の感光性屈折率調整フィルムは、現像性に優れていることが分かる。また、低透湿性、防錆性、可視光線透過率、ヘーズ、反射Ｒ規格化も良好な結果が得られた。

１…感光性屈折率調整フィルム、１０…支持フィルム、２０…感光性樹脂層、３０…第二の樹脂層、４０…保護フィルム、５０…透明導電パターンつき基材、５０ａ…透明電極パターン、１００…積層体、１０１…透明基材、１０２…センシング領域、１０３、１０４…透明電極、１０５…金属配線、１０６…接続電極、１０７…接続端子、１２３…屈折率調整パターン

Claims (18)

1. 支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられたジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジアクリレート化合物及びジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジメタクリレート化合物を含む感光性樹脂層と、を備える感光性フィルム。
2. 前記ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジアクリレート化合物が、下記一般式（Ｉ）で表せる化合物である請求項１に記載の感光性フィルム。
   

   

   ［一般式（Ｉ）中、Ｘは、ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有する２価の基を示す。Ｒは、それぞれ独立に炭素数１〜４のアルキレン基を示す。ｎ及びｍは、それぞれ独立に０〜２の整数を示す。ｐ及びｑはそれぞれ独立に０以上の整数を示し、ｐ＋ｑ＝０〜１０となるように選択される。］
3. 前記ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジメタクリレート化合物が、下記一般式（ＩＩ）で表せる化合物である請求項１に記載の感光性フィルム。
   

   

   ［一般式（ＩＩ）中、Ｘは、ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有する２価の基を示す。Ｒは、それぞれ独立に炭素数１〜４のアルキレン基を示す。ｎ及びｍは、それぞれ独立に０〜２の整数を示す。ｐ及びｑはそれぞれ独立に０以上の整数を示し、ｐ＋ｑ＝０〜１０となるように選択される。］
4. 前記ジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジアクリレート化合物及びジシクロペンタニル構造又はジシクロペンテニル構造を有するジメタクリレート化合物が、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート及びトリシクロデカンジメタノールジメタクリレートである、請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
5. 前記感光性樹脂層がバインダーポリマーと、光重合開始剤とを含有する請求項１〜４のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
6. 前記光重合開始剤がオキシムエステル化合物を含有する請求項５に記載の感光性フィルム。
7. 前記バインダーポリマーがカルボキシル基を有する請求項５又は６に記載の感光性フィルム。
8. 前記バインダーポリマーが、（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸グリシジルエステル、（メタ）アクリル酸ベンジルエステル、スチレン、（メタ）アクリル酸メチルエステル、（メタ）アクリル酸エチルエステル、（メタ）アクリル酸ブチルエステル、及び（メタ）アクリル酸−２−エチルヘキシルエステルからなる群より選択される少なくとも一種の化合物に由来する構造単位を含む請求項５〜７のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
9. 前記感光性樹脂層が、エチレン性不飽和基を含むリン酸エステルを含有する請求項１〜８のいずれか一項に記載の感光性フィルム。
10. 支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた請求項１〜９のいずれか一項に記載の感光性フィルムにおける、感光性樹脂層の支持フィルムとは反対側に金属酸化物粒子を含有する第二の樹脂層と、を備える感光性屈折率調整フィルム。
11. 前記第二の樹脂層の波長６３３ｎｍにおける屈折率が１．５〜１．９である請求項１０に記載の感光性屈折率調整フィルム。
12. 前記第二の樹脂層の厚みが４０ｎｍ〜５００ｎｍである請求項１０又は１１に記載の感光性屈折率調整フィルム。
13. 前記金属酸化物粒子が酸化ジルコニウム又は酸化チタンである、請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の感光性屈折率調整フィルム。
14. 前記感光性樹脂層及び前記第二の樹脂層を有する積層体の、波長４００〜７００ｎｍにおける透過率の最小値が９０％以上である請求項１０〜１３のいずれか一項に記載の感光性屈折率調整フィルム。
15. 前記感光性樹脂層と前記第二の樹脂層の合計の厚みが３０μｍ以下である請求項１０〜１４のいずれか一項に記載の感光性屈折率調整フィルム。
16. 請求項１０〜１５のいずれか一項に記載の感光性屈折率調整フィルムを用いて、基材上に前記第二の樹脂層が密着するように前記第二の樹脂層及び前記感光性樹脂層をラミネートする工程と、
    前記基材上の前記第二の樹脂層及び前記感光性樹脂層の所定部分を露光後、前記所定部分以外を除去して、屈折率調整パターンを形成する工程と、
    を備える屈折率調整パターンの形成方法。
17. 請求項１０〜１５のいずれか一項に記載の感光性屈折率調整フィルムの、前記第二の樹脂層及び前記感光性樹脂層を硬化してなる硬化膜。
18. 請求項１０〜１５に記載の感光性屈折率調整フィルムの、前記第二の樹脂層及び前記感光性樹脂層の硬化膜から構成される屈折率調整パターンを有する電子部品。

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