JP2017167359A - リッジ導波路型光変調器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に、不純物ドーピングされた下部クラッド層と、ノンドープのコア・クラッド層と、不純物ドーピングされた上部クラッド層とが積層されてリッジ型光導波路が形成されており、前記上部クラッド層の上に設けられた電極と前記基板との間に電圧を印加して前記リッジ型光導波路内に電界を発生させることにより、前記リッジ型光導波路を伝搬する光を変調するリッジ導波路型光変調器であって、前記上部クラッド層と前記コア・クラッド層の一部とが導波路メサ領域内に形成され、導波路メサ領域内の前記上部クラッド層と前記コア・クラッド層とはホモ接合に形成されていることを特徴とするリッジ導波路型光変調器。
【選択図】図3
Description
図3、4は第1の実施形態にかかるリッジ導波路型光変調器の断面図を示している。本実施形態のリッジ導波路型光変調器は、2つのアームを有するマッハ・ツェンダ型の導波路として構成される。2つのアームは、上部に形成された電極と基板との間に電圧が印加される上部電極形成領域(変調領域)と、上部に電極が形成されていない上部電極非形成領域とを有している。図3は上部電極形成領域における導波路横断面を示し、図4は上部電極非形成領域における導波路横断面を示している。
12 ノンドープのSCH層
13 ノンドープのMQW層
14 ノンドープのSCH層
15 p型クラッド・基板
16 p型コンタクト層
17 Au電極
20 半絶縁性基板
21 n型クラッド層
22 p型キャリア障壁層
23 ノンドープMQW層
24 ノンドープクラッド層
25 ノンドープエッチストップ層
26 n型クラッド
27 Au電極
30 基板
31 nクラッド層
32 pキャリアブロック層
33 ノンドープのクラッド層
34 ノンドープのコア層
35 ノンドープのエッチストップ層
36 nクラッド層
37 電極
38 半絶縁性クラッド
Claims (4)
- 基板上に、不純物ドーピングされた下部クラッド層と、ノンドープのコア・クラッド層と、不純物ドーピングされた上部クラッド層とが積層されてリッジ型光導波路が形成されており、前記上部クラッド層の上に設けられた電極と前記基板との間に電圧を印加して前記リッジ型光導波路内に電界を発生させることにより、前記リッジ型光導波路を伝搬する光を変調するリッジ導波路型光変調器であって、
前記上部クラッド層と前記コア・クラッド層の一部とが導波路メサ領域内に形成され、導波路メサ領域内の前記上部クラッド層と前記コア・クラッド層とはホモ接合に形成されていることを特徴とするリッジ導波路型光変調器。 - 前記リッジ型光導波路が結晶方向の[011]方向と等価なストライプ方向に形成されることを特徴とする、請求項1に記載のリッジ導波路型光変調器。
- 前記ホモ接合にされた前記不純物ドーピングされたクラッド層とノンドープのコア層の材料組成がInPであることを特徴とする、請求項1に記載のリッジ導波路型光変調器。
- 前記リッジ型光導波路がマッハ・ツェンダ干渉型導波路構造を有し、且つ進行波型電極を備えていることを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載のリッジ導波路型光変調器。
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-
2016
- 2016-03-16 JP JP2016052855A patent/JP2017167359A/ja active Pending
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