JP2017159673A - 液滴吐出ヘッド、および、画像形成装置 - Google Patents
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図1に示すように、本願の実施例に係る液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズル2を有するノズル板1、ノズル2が連通する圧力室3、この圧力室3が設けられたアクチュエータ基板4、圧力室3内の液体を加圧する薄膜圧電体としての圧電素子6、圧電素子6と圧力室3との間に設けられた振動板5、共通液室8、共通液室8を構成するフレーム板7、インクタンク(図示せず)と連通し共通液室8に液体を供給する供給口9、圧電素子6の駆動を制御する駆動制御手段としての駆動用IC10、圧力室3にインクを供給する供給路を兼ねた流体抵抗12、圧電素子6を収納するサブフレーム板13、各種配線(図2参照)等を備えて構成されている。
ノズル板1は、液滴吐出用のノズル2が配列された基板であり、樹脂、金属材料等から形成されている。ノズル2は、図1に示すように、圧力室3と連通し、圧力室3内の液体を液滴として外部に吐出する。ノズル2は、駆動用IC10を介して、ノズル板1の短手方向(図1の左右方向)の両側に、それぞれ、長手方向(図1の前後方向)に向かって複数配置されている。すなわち、複数のノズル2からなるノズル列(図示せず)が、ノズル板1の長手方向に2列に配列されている。
アクチュエータ基板4は、ガラスや薄い金属板の積層体、シリコン基板等で形成されている。このアクチュエータ基板4の材料としては、シリコン単結晶基板を用いることが好ましく、通常100μm〜600μmの厚みを持つことが好ましい。面方位としては、(100)、(110)、(111)と3種あるが、半導体産業では一般的に(100)、(111)が広く使用されている。実施例では、主に(100)の面方位を持つ単結晶基板を主に使用した。また、図1に示すような圧力室3を作製していく場合、エッチングを利用してシリコン単結晶基板を加工していく。この場合のエッチング方法としては、異方性エッチングを用いることが一般的である。
圧力室3は、アクチュエータ基板4上に、複数形成されている。各圧力室3は、図2に示すように、アクチュエータ基板4の短手方向(図2の左右方向)に長尺な細長い形状で形成されている。また、この圧力室3は、駆動用IC10を介して、アクチュエータ基板4の短手方向(図2の左右方向)の両側であって、長手方向(図2の上下方向)に向かって、等ピッチで複数配置され、2列の圧力室3の列を形成している。
振動板(成膜振動板)5は、圧電素子6によって発生した力を受けて、変形変位して、圧力室3の容積を変化させることにより、ノズル2から液滴を吐出させる。そのため、図3に示す実施例1の振動板5としては、所定の強度を有したものであることが好ましい。振動板5の材料としては、ケイ素Si、二酸化ケイ素SiO2、窒化ケイ素Si3N4が挙げられ、これらを用いて振動板5をCVD法(Chemical Vapor Deposition)により作製したものが挙げられる。
圧電素子6は、図1に示すように、振動板5の、圧力室3を設けた側とは反対側の面に設けられている。圧電素子6は、交流電圧が印加されることで膨張・収縮して、振動板5を振動させ、この振動板5の振動により、圧力室3の容積を変化させて圧力を作用させる。この振動板5と圧電素子6とで、圧電アクチュエータを構成している。また、この圧電素子6は、図2に示すように、振動板5の短手方向の両側に、長手方向に向かって一直線上に複数配置され、2列の圧電素子6の列を形成している。
第1電極601としては、金属または金属と酸化物とから成ることが好ましい。ここで、どちらも振動板5と第1電極601用の金属膜との間に、密着層(図示せず)を介在させて、双方の剥がれ等を抑制するように工夫している。以下に、密着層含めて第1電極601の金属電極膜、酸化物電極膜の詳細について記載する。
密着膜としてチタンTiをスパッタ成膜後、RTA(rapid thermal annealing)装置を用いて、650℃〜800℃、1分〜30分、酸素O2雰囲気でチタン膜を熱酸化して、チタン膜を酸化チタン膜(TiO2膜)にする。酸化チタン膜を作成するには、反応性スパッタでもよいが、チタン膜の高温による熱酸化法が望ましい。反応性スパッタによる作製では、シリコン基板を高温で加熱する必要があるため、特別なスパッタチャンバ構成を必要とするからである。さらに、一般の炉による酸化よりも、RTA装置による酸化の方が、酸化チタン膜の結晶性が良好になる。なぜなら、通常の加熱炉による酸化によれば、酸化しやすいチタン膜は、低温においてはいくつもの結晶構造を作るため、一旦、それを壊す必要が生じるためである。したがって、昇温速度の速いRTA装置による酸化の方が、良好な結晶を形成するために有利になる。またTi以外の材料としては、タンタルTa、イリジウムIr、ルテニウムRu等の材料も好適に挙げられる。
金属電極膜の金属材料としては、従来から高い耐熱性と低い反応性を有する白金Ptが用いられているが、鉛Pbに対しては十分なバリア性を持つとはいえない場合もあり、イリジウムIrや白金−ロジウム合金などの白金族元素や、これら合金膜も挙げられる。また、白金を使用する場合には下地である振動板5(特にSiO2)との密着性が悪いために、先の密着層を先に積層することが好ましい。
酸化物電極膜の材料としては、ストロンチウム・ルテニウム酸化物SrRuO3を用いることが好ましい。左記以外にも、Srx(A)(1−x)Ruy(1−y)、A=Ba,Ca、B=Co,Ni、x,y=0〜0.5で記述されるような材料も好適に挙げられる。成膜方法についてはスパッタ法により作製される。スパッタ条件によって、SrRuO3薄膜の膜質が変化する。そのため、特に結晶配向性を重視し、第1電極601のプラチナPt(111)にならって、SrRuO3膜(SRO成膜とも呼ぶ)についても(111)配向させるためには、成膜温度については500℃以上での基板加熱を行い、成膜することが好ましい。
電気機械変換膜602の材料としては、PZTを主に使用した。PZTとはジルコン酸鉛(PbTiO3)とチタン酸(PbTiO3)との固溶体であり、その比率により特性が異なる。一般的に優れた圧電特性を示す組成は、PbZrO3とPbTiO3との比率が53:47の割合である。化学式で示すと、Pb(Zr0.53,Ti0.47)O3、一般的にはPZT(53/47)と示される。
第2電極603としては、金属または酸化物と金属とから成ることが好ましい。以下に、酸化物電極膜、金属電極膜の詳細について記載する。
酸化物電極膜の材料等については、第1電極601で使用した酸化物電極膜で記載したとおりである。SRO膜の膜厚としては、20nm〜80nmが好ましく、40nm〜60nmがさらに好ましい。この膜厚範囲よりも薄いと初期変位や変位劣化特性については十分な特性が得られず、この範囲を超えると、その後成膜したPZTの絶縁耐圧が悪く、リークしやすくなるため好ましくない。
金属電極膜の材料等については、第1電極601で使用した金属電極膜で記載したとおりである。膜厚としては30nm〜200nmが好ましく、50nm〜120nmがさらに好ましい。この範囲より膜厚が薄い場合、個別電極配線610として十分な電流を供給することができなくなり、液滴吐出をする際に不具合が発生するため好ましくない。さらに、この範囲より膜厚が厚い場合、白金族元素の高価な材料を使用するとコストアップとなる。この理由や、白金を材料とし、膜厚を厚くしていたったときに表面粗さが大きくなり、絶縁保護膜を介して第6電極(図示せず)を作製する際に、膜剥がれ等のプロセス不具合が発生しやすくなるため好ましくない。
第1絶縁保護膜604は、成膜・エッチングの工程による圧電素子6へのダメージを防ぐとともに、大気中の水分が透過しづらい材料を選定する必要があるため、緻密な無機材料とする必要がある。有機材料では十分な保護性能を得るためには膜厚を厚くする必要があるため、好ましくない。第1絶縁保護膜604を厚い膜とした場合、振動板5の振動変位を著しく阻害してしまうため、吐出性能の低い液滴吐出ヘッドになってしまうことが要因である。
第3電極606、第4電極607の材料としては、Ag(銀)合金、銅Cu、アルミニウムAl、金Au、白金Pt、イリジウムIrのいずれかから成る金属電極材料であることが好・BR>ワしい。第3電極606、第4電極607の作製方法としては、スパッタ法、スピンコート法を用いて作製し、その後フォトリソエッチング等により所望のパターンを得る。
第2絶縁保護膜605は、個別電極配線610や共通電極配線609の保護層の機能を有するパシベーション層である。図3に示すように、個別電極配線610の引き出し部と、図示しないが共通電極配線609の引き出し部とを除き、個別電極配線610と共通電極配線609との上面を第2絶縁保護膜605で被覆する。これにより、電極材料に安価なAlまたはAlを主成分とする合金材料を用いることができる。その結果、低コストかつ信頼性の高い液滴吐出ヘッドとすることができる。
配線は、振動板5の、圧力室3を設けた面とは反対側の面に形成されている。この配線として、図2に示すように、振動板5の短手方向の両側縁に沿って、長手方向に長尺に延びるCom配線15が、エッチング等により形成されている。このCom配線15に、複数の圧電素子6がそれぞれ接続されている。
サブフレーム板13は、図1に示すように、振動板5上に接合または固着されている。このサブフレーム板13には、短手方向に2列形成された圧電素子6の列の、それぞれの圧電素子6を収容する振動許容凹部13aが複数形成されている。この複数の振動許容凹部13aは、短手方向に長尺な圧力室3とほぼ同一形状に形成され、各圧力室3の位置と上下方向で一致して、互いに重なるように設けられている。
フレーム板7は、図1に示すように、サブフレーム板13上に接合または固着されている。サブフレーム板13とフレーム板7との短手方向の両側には、2列に配列された圧電素子6の列の外側に、図1に示すように、サブフレーム板13とフレーム板7にまたがるように、一対の共通液室8が形成されている。この一対の共通液室8は、長手方向に配列された個別流路3aの列の配列方向に沿って、長手方向に長尺に形成されている。フレーム板7には、圧電素子6の各列に対応する部分に、図1に示すように、各共通液室8にそれぞれ連通する供給口9が形成されている。各供給口9は、例えば、圧電素子6の各列の延びる方向(長手方向)の略中央、または、端部側に位置するように、フレーム板7に設けている。
次に、各実施例および比較例で使用する、液滴吐出ヘッドの作製手順を、以下に具体的に説明する。6インチシリコンウェハに熱酸化膜(膜厚1ミクロン)を形成し、第1電極601としての密着膜として、チタン膜(膜厚30nm)をスパッタ装置にて成膜した。その後に、RTA装置を用いて750℃にて熱酸化し、引き続き金属膜として白金膜(膜厚100nm)、酸化物膜としてSrRuO膜(膜厚60nm)をスパッタ成膜した。スパッタ成膜時の基板の加熱温度は550℃とし、この条件下で成膜を実施した。
比較例では、上述のように作製した液滴吐出ヘッドを用いて、吐出評価を行ない、評価を一度中断した後、再度吐出を行ったところ、液滴速度(以下「Vj」と呼ぶ)が約4%低下した。その後、吐出を繰り返すに従い、Vjが正常に戻ってくることを確認した。このときのメニスカス表面からの粘度(レーザードップラーによる残留振動測定)を観察した。その結果、連続駆動後の吐出終了時、吐出中断時、再度駆動開始した際の吐出開始時、連続吐出時度のメニスカス表面の粘度は、図9に示すようになっていることを確認した。したがって、Vjの低下は、吐出の中断中に、メニスカス表面が乾燥(メニスカス表面からの水分の揮発)することによって、液体が増粘された影響であると考えられる。
次に、上述の液滴吐出ヘッド用いた実施例1の液滴吐出制御について、図4を用いて説明する。実施例1では、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出後、1時間中断し、吐出を再開するに当たり、図4に示すような加熱波形を印加した。この加熱波形としては、駆動時の中間電位よりも中間電位を高くして、パルスの波高値を駆動時の波高値よりも高くした。
次に、液滴吐出ヘッド用いた実施例2の液滴吐出制御について、図5を用いて説明する。実施例2では、液滴吐出ヘッドからの液滴の吐出後、1時間中断し、吐出を再開するに当たり、図5に示すような加熱波形を印加した。この加熱波形として中間電位を20Vとし、波高値は駆動波形と同じ18Vとし、圧力室3の共振周期は5usのため反共振の周期として加熱波形の時間間隔T=2.5usにして、実施例1と同様の実験を行った。このとき、波形の印加時間20secにて、実施例1と同等の結果(Vj低下率が2%以下に低減、以下の実施例でも同様)を得ることができた。
次に、液滴吐出ヘッド用いた実施例3の液滴吐出制御について、図6を用いて説明する。実施例3では、図6に示すように、加熱波形のTr,Tfを1usから0.8usとしたこと以外は、実施例2と同様の条件とした。この条件で、実施例1、2と同様の実験を行ったところ、他の実施例と同様の効果を得ることができた。
次に、液滴吐出ヘッド用いた実施例4の液滴吐出制御について、図7を用いて説明する。実施例4では、図7に示すように、実施例3と同様の条件で、さらに加熱波形の波高値を18Vから20Vにしたこと以外は、実施例4と同様の条件とした。この条件で、実施例1、2と同様の実験を行ったところ、他の実施例と同様の効果を得ることができた。
次に、実施例5では、本願の液滴吐出ヘッドを備える画像形成装置の一例を、図10および図11を参照して説明する。図10は画像形成装置の主要機構部の構成を示す概略図であり、図11は同主要機構部の要部の概略平面図である。
図10、図11に示すように、実施例に係る画像形成装置100は、シリアル型画像形成装置であり、図11に示すように、左右の側板(図示せず)に横架したガイド部材であるガイドロッド101とガイドレール102とで、キャリッジ103を主走査方向に摺動自在に保持している。この保持状態で、主走査モータ104で駆動プーリ106Aと従動プーリ106Bとの間に架け渡したタイミングベルト105を介して、キャリッジ103を矢示方向(主走査方向)に移動走査する。
2 ノズル
3 圧力室
5 振動板
6 圧電素子(薄膜圧電体)
10 駆動用IC(駆動制御手段)
100 画像形成装置
107k,107c,107m,107y 液滴吐出ヘッド
112 用紙(被着媒体)
Claims (5)
- 液滴を吐出するノズルと、
前記ノズルに連通する圧力室と、
前記圧力室上に設けられた振動板と、
前記振動板上に設けられ、該振動板を振動させることにより、前記圧力室内の容積を変化させる薄膜圧電体と、
前記薄膜圧電体に、前記液滴の吐出用の駆動波形を印加する駆動制御手段と、を備え、
前記駆動制御手段は、前記ノズルからの前記液滴の吐出の開始前に、前記薄膜圧電体に、前記液滴の吐出用の駆動波形で用いる中間電位よりも高い中間電位が保持されるパルス波形を加熱波形として印加し、前記圧力室内を加熱することを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 前記加熱波形が、前記液滴吐出時の前記駆動波形の波高値であって前記中間電位から引き込み時の最低電圧までの電圧幅以上の電圧幅で印加されるパルス波形であることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッド。
- 前記加熱波形として、前記ノズルのメニスカス表面の反共振周波数でパルス波形を印加することを特徴とする請求項1または2に記載の液滴吐出ヘッド。
- 前記加熱波形は、前記パルス波形の立上り時間および立下り時間が、前記液滴吐出時の前記駆動波形の立上り時間および立下り時間以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
- 請求項1〜4の何れか一項に記載の液滴吐出ヘッドを備え、前記液滴吐出ヘッドから吐出した液滴を被着媒体上に着弾させることを特徴とする画像形成装置。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002154212A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-05-28 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッドの製造方法、インクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録ヘッドの駆動方法、及び、インクジェット式記録装置 |
JP2004148784A (ja) * | 2002-11-01 | 2004-05-27 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置及び方法 |
JP2009241278A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Seiko Epson Corp | 液体噴射駆動装置並びにこれを具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2011104921A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出方法 |
JP2013052645A (ja) * | 2011-09-06 | 2013-03-21 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッドの制御方法および液体吐出装置 |
JP2013199069A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002154212A (ja) * | 2000-09-01 | 2002-05-28 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッドの製造方法、インクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録ヘッドの駆動方法、及び、インクジェット式記録装置 |
JP2004148784A (ja) * | 2002-11-01 | 2004-05-27 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置及び方法 |
JP2009241278A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Seiko Epson Corp | 液体噴射駆動装置並びにこれを具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 |
JP2011104921A (ja) * | 2009-11-19 | 2011-06-02 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出方法 |
JP2013052645A (ja) * | 2011-09-06 | 2013-03-21 | Ricoh Co Ltd | 液体吐出ヘッドの制御方法および液体吐出装置 |
JP2013199069A (ja) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10576742B2 (en) | 2018-01-19 | 2020-03-03 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid discharge head and liquid discharge apparatus |
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