JP2011104921A - 液滴吐出方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】液滴吐出ヘッドの温度上昇に対応し、かつ液滴吐出ヘッド間における液滴量のばらつきが少ない液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】各液滴吐出ヘッドのキャパシタンスに応じて描画飽和温度を算出する工程S11と、算出された描画飽和温度に基づき液滴吐出ヘッドに印加する加熱駆動波形を設定する工程S12と、算出された描画飽和温度に基づき液滴吐出駆動波形を設定する工程S13と、各液滴吐出ヘッドに加熱駆動波形を印加する工程S14と、一定時間以上、液滴吐出ヘッドに加熱駆動波形を印加した後、各液滴吐出ヘッドから基材に液滴を吐出する工程S15と、を有する。
【選択図】図5
【解決手段】各液滴吐出ヘッドのキャパシタンスに応じて描画飽和温度を算出する工程S11と、算出された描画飽和温度に基づき液滴吐出ヘッドに印加する加熱駆動波形を設定する工程S12と、算出された描画飽和温度に基づき液滴吐出駆動波形を設定する工程S13と、各液滴吐出ヘッドに加熱駆動波形を印加する工程S14と、一定時間以上、液滴吐出ヘッドに加熱駆動波形を印加した後、各液滴吐出ヘッドから基材に液滴を吐出する工程S15と、を有する。
【選択図】図5
Description
本発明は、液滴をばらつきなく吐出できる液滴吐出方法に関する。
従来から、微小な液滴を吐出させて所望の位置に液状体を配置するインクジェットプリンターなどの液滴吐出装置が知られている。
液滴吐出装置の中で、液滴吐出ヘッドの圧電素子に変形を起こし、このとき圧力室に発生する圧力により液状体を液滴として吐出する方式がある。このような、圧電素子を有する液滴吐出ヘッドは静電容量をもち、圧電素子の駆動により熱エネルギーが発生して、液滴吐出ヘッドの温度が上昇する。このため、液状体の粘度が変化して液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出量が変化する。そして、液滴の吐出量が変化すると、所望の液滴量を所定の位置に配置できないという問題になる。
この問題を解消するために、印字ヘッド(液滴吐出ヘッド)の静電容量(キャパシタンス)を検出して温度を算出し、この温度に基づいて印字ヘッドの駆動電圧を選択することで、印字ヘッドの温度変化においても、ばらつきの少ない液滴を吐出するインクジェットプリンターが、特許文献1に開示されている。
液滴吐出装置の中で、液滴吐出ヘッドの圧電素子に変形を起こし、このとき圧力室に発生する圧力により液状体を液滴として吐出する方式がある。このような、圧電素子を有する液滴吐出ヘッドは静電容量をもち、圧電素子の駆動により熱エネルギーが発生して、液滴吐出ヘッドの温度が上昇する。このため、液状体の粘度が変化して液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の吐出量が変化する。そして、液滴の吐出量が変化すると、所望の液滴量を所定の位置に配置できないという問題になる。
この問題を解消するために、印字ヘッド(液滴吐出ヘッド)の静電容量(キャパシタンス)を検出して温度を算出し、この温度に基づいて印字ヘッドの駆動電圧を選択することで、印字ヘッドの温度変化においても、ばらつきの少ない液滴を吐出するインクジェットプリンターが、特許文献1に開示されている。
しかしながら、特許文献1のような構成のプリンターなどの液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドに温度センサーなどの温度を検知する温度検知手段および圧電素子の駆動にフィードバックする補正手段が必要であり、装置の制御が複雑になる課題がある。特に、複数の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の場合、各液滴吐出ヘッドの制御がさらに複雑になるという問題がある。
また、複数の液滴吐出ヘッドを有する場合、液滴吐出ヘッドはそれぞれ固有のキャパシタンスを有し、液滴吐出ヘッド間で液滴量のばらつきが生じている。
このため、液滴吐出ヘッドの温度上昇に対応でき、かつ液滴吐出ヘッド間における液滴量のばらつきが少ない簡易な液滴吐出方法が要望されている。
また、複数の液滴吐出ヘッドを有する場合、液滴吐出ヘッドはそれぞれ固有のキャパシタンスを有し、液滴吐出ヘッド間で液滴量のばらつきが生じている。
このため、液滴吐出ヘッドの温度上昇に対応でき、かつ液滴吐出ヘッド間における液滴量のばらつきが少ない簡易な液滴吐出方法が要望されている。
本発明は上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例にかかる液滴吐出方法は、圧電素子の変形を利用して液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを複数有し、前記液滴吐出ヘッドから基材に液滴を吐出する液滴吐出方法であって、各前記液滴吐出ヘッドのキャパシタンスに応じて、各前記液滴吐出ヘッドの描画時に前記液滴吐出ヘッドの飽和する温度である描画飽和温度を算出する工程と、算出された前記描画飽和温度に基づき、待機時における前記液滴吐出ヘッドの温度を前記描画飽和温度に制御するために前記液滴吐出ヘッドに印加する加熱駆動波形を設定する工程と、算出された前記描画飽和温度に基づき、各前記液滴吐出ヘッドの吐出時における液滴の吐出量が同量となるように液滴吐出駆動波形を設定する工程と、各前記液滴吐出ヘッドに加熱駆動波形を印加する工程と、一定時間以上、前記液滴吐出ヘッドに加熱駆動波形を印加した後、各前記液滴吐出ヘッドから基材に液滴を吐出する工程と、を含むことを特徴とする。
この液滴吐出方法によれば、それぞれの液滴吐出ヘッドのキャパシタンスから描画時に液滴吐出ヘッドの飽和する温度である描画飽和温度を算出する。そして、その描画飽和温度となるように待機時における液滴吐出ヘッドに印加する加熱駆動波形を設定する。さらに、描画飽和温度に基づき、各液滴吐出ヘッドの吐出時における液滴の吐出量が同量となるように液滴吐出駆動波形を設定する。そして、一定時間以上、液滴吐出ヘッドに加熱駆動波形を印加した後、各液滴吐出ヘッドから基材に液滴を吐出する。
このため、各液滴吐出ヘッドを描画時の飽和温度になるように加熱駆動波形を印加して加熱することで、液滴吐出ヘッドの温度を液滴吐出の最初から最後までほぼ一定に保つことができる。そして、各液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出量は、描画飽和温度に対応して定量の吐出となるように液滴吐出駆動波形が設定されているため、各液滴吐出ヘッドからばらつきのない液滴吐出が可能である。
このように、従来のように各液滴吐出ヘッドの温度を検出してフィードバックをかけることを必要とせず、簡易な方法で精度の高い液滴吐出ができる。
このため、各液滴吐出ヘッドを描画時の飽和温度になるように加熱駆動波形を印加して加熱することで、液滴吐出ヘッドの温度を液滴吐出の最初から最後までほぼ一定に保つことができる。そして、各液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出量は、描画飽和温度に対応して定量の吐出となるように液滴吐出駆動波形が設定されているため、各液滴吐出ヘッドからばらつきのない液滴吐出が可能である。
このように、従来のように各液滴吐出ヘッドの温度を検出してフィードバックをかけることを必要とせず、簡易な方法で精度の高い液滴吐出ができる。
[適用例2]上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記液滴吐出駆動波形の設定は、前記液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いて設定することが望ましい。
この液滴吐出方法によれば、液滴吐出駆動波形の設定は、液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いて設定する。
この液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いることで、液滴吐出ヘッドの交換時などに、容易に液滴吐出ヘッドに印加する液滴吐出駆動波形を設定することができる。
この液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いることで、液滴吐出ヘッドの交換時などに、容易に液滴吐出ヘッドに印加する液滴吐出駆動波形を設定することができる。
[適用例3]本適用例にかかる液滴吐出方法は、圧電素子の変形を利用して液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを複数有し、前記液滴吐出ヘッドから基材に液滴を吐出する液滴吐出方法であって、各前記液滴吐出ヘッドのキャパシタンスおよびトランスミッションゲートの抵抗値に応じて、各前記液滴吐出ヘッドの描画時に前記液滴吐出ヘッドの飽和する温度である描画飽和温度を算出する工程と、算出された前記描画飽和温度に基づき、待機時における前記液滴吐出ヘッドの温度を前記描画飽和温度に制御するために前記液滴吐出ヘッドに印加する加熱駆動波形を設定する工程と、算出された前記描画飽和温度に基づき、各前記液滴吐出ヘッドの吐出時における液滴の吐出量が同量となるように液滴吐出駆動波形を設定する工程と、各前記液滴吐出ヘッドに加熱駆動波形を印加する工程と、一定時間以上、前記液滴吐出ヘッドに加熱駆動波形を印加した後、各前記液滴吐出ヘッドから基材に液滴を吐出する工程と、を含むことを特徴とする。
この液滴吐出方法によれば、それぞれの液滴吐出ヘッドのキャパシタンスおよびトランスミッションゲートの抵抗値から描画時に液滴吐出ヘッドの飽和する温度である描画飽和温度を算出する。そして、その描画飽和温度となるように待機時における液滴吐出ヘッドに印加する加熱駆動波形を設定する。さらに、描画飽和温度に基づき、各液滴吐出ヘッドの吐出時における液滴の吐出量が同量となるように液滴吐出駆動波形を設定する。そして、一定時間以上、液滴吐出ヘッドに加熱駆動波形を印加した後、各液滴吐出ヘッドから基材に液滴を吐出する。
このため、各液滴吐出ヘッドを描画時の飽和温度になるように加熱駆動波形を印加して加熱することで、液滴吐出ヘッドの温度を液滴吐出の最初から最後までほぼ一定に保つことができる。そして、各液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出量は、描画飽和温度に対応して定量の吐出となるように液滴吐出駆動波形が設定されているため、各液滴吐出ヘッドからばらつきのない液滴吐出が可能である。
このように、従来のように各液滴吐出ヘッドの温度を検出してフィードバックをかけることを必要とせず、簡易な方法で精度の高い液滴吐出ができる。
このため、各液滴吐出ヘッドを描画時の飽和温度になるように加熱駆動波形を印加して加熱することで、液滴吐出ヘッドの温度を液滴吐出の最初から最後までほぼ一定に保つことができる。そして、各液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出量は、描画飽和温度に対応して定量の吐出となるように液滴吐出駆動波形が設定されているため、各液滴吐出ヘッドからばらつきのない液滴吐出が可能である。
このように、従来のように各液滴吐出ヘッドの温度を検出してフィードバックをかけることを必要とせず、簡易な方法で精度の高い液滴吐出ができる。
[適用例4]上記適用例にかかる液滴吐出方法において、前記液滴吐出駆動波形の設定は、前記液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いて設定することが望ましい。
この液滴吐出方法によれば、液滴吐出駆動波形の設定は、液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いて設定する。
この液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いることで、液滴吐出ヘッドの交換時などに、容易に液滴吐出ヘッドに印加する液滴吐出駆動波形を設定することができる。
この液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いることで、液滴吐出ヘッドの交換時などに、容易に液滴吐出ヘッドに印加する液滴吐出駆動波形を設定することができる。
まず、本発明の理解のために、圧電素子をアクチュエーターとして液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドの特性について説明する。
図8は液滴吐出ヘッドの特性を説明する図である。
図8(a)は液滴吐出の経過時間と液滴吐出ヘッドの温度の関係を示すグラフである。このグラフのように、液滴吐出ヘッドから描画などのために液滴を吐出していると時間の経過とともに液滴吐出ヘッドの温度が上昇し、或る温度で平衡状態となる。この温度を、本明細書では描画飽和温度Tと呼ぶ。
このように、液滴吐出ヘッドは液滴の吐出により温度が上昇し、継続して吐出を行うと温度が平衡状態になる描画飽和温度Tを有する特性がある。
図8は液滴吐出ヘッドの特性を説明する図である。
図8(a)は液滴吐出の経過時間と液滴吐出ヘッドの温度の関係を示すグラフである。このグラフのように、液滴吐出ヘッドから描画などのために液滴を吐出していると時間の経過とともに液滴吐出ヘッドの温度が上昇し、或る温度で平衡状態となる。この温度を、本明細書では描画飽和温度Tと呼ぶ。
このように、液滴吐出ヘッドは液滴の吐出により温度が上昇し、継続して吐出を行うと温度が平衡状態になる描画飽和温度Tを有する特性がある。
この液滴吐出ヘッドの温度が上昇することは次の理由による。図8(b)は液滴吐出ヘッドの電気等価回路図である。
液滴吐出ヘッドは抵抗RaおよびコンデンサーCaの直列回路として表される。抵抗Raはトランスミッションゲートの抵抗(液滴吐出ヘッド内の回路を構成する配線の抵抗を含む)である。圧電素子は電気的にコンデンサーと見なすことができ、液滴を吐出するときの圧電素子の変位はコンデンサーが充電と放電を繰り返している状態と同じである。そして、コンデンサーCaの充電および放電により電流Iが流れる。このことから、液滴吐出ヘッドは発熱し、温度が上昇することになる。
液滴吐出ヘッドは抵抗RaおよびコンデンサーCaの直列回路として表される。抵抗Raはトランスミッションゲートの抵抗(液滴吐出ヘッド内の回路を構成する配線の抵抗を含む)である。圧電素子は電気的にコンデンサーと見なすことができ、液滴を吐出するときの圧電素子の変位はコンデンサーが充電と放電を繰り返している状態と同じである。そして、コンデンサーCaの充電および放電により電流Iが流れる。このことから、液滴吐出ヘッドは発熱し、温度が上昇することになる。
上記のような等価回路において、単位時間当たりの発熱量Jは式(1)のように表される。
J=(e1+e2)f=C2V2R(1/Pwc+1/Pwx)f ・・・(1)
ただし、e1:コンデンサーの充電での発熱量、e2:コンデンサーの放電での発熱量、f:駆動周波数、C:圧電素子のキャパシタンス(静電容量)、V:駆動電圧、R:トランスミッションゲート抵抗値、Pwc:充電時間、Pwx:放電時間、である。
なお、駆動波形が図8(c)に示す電圧パルスであるとすると、駆動電圧Vに立ち上がる時間が充電時間Pwcであり、立ち下がる時間が放電時間Pwdである。
このように、単位時間当たりの発熱量Jは圧電素子のキャパシタンスCの二乗に比例して大きくなることが分かる。また、同様に単位時間当たりの発熱量Jは、トランスミッションゲート抵抗値Rに比例して大きくなることが理解される。
J=(e1+e2)f=C2V2R(1/Pwc+1/Pwx)f ・・・(1)
ただし、e1:コンデンサーの充電での発熱量、e2:コンデンサーの放電での発熱量、f:駆動周波数、C:圧電素子のキャパシタンス(静電容量)、V:駆動電圧、R:トランスミッションゲート抵抗値、Pwc:充電時間、Pwx:放電時間、である。
なお、駆動波形が図8(c)に示す電圧パルスであるとすると、駆動電圧Vに立ち上がる時間が充電時間Pwcであり、立ち下がる時間が放電時間Pwdである。
このように、単位時間当たりの発熱量Jは圧電素子のキャパシタンスCの二乗に比例して大きくなることが分かる。また、同様に単位時間当たりの発熱量Jは、トランスミッションゲート抵抗値Rに比例して大きくなることが理解される。
また、液滴吐出ヘッドの描画飽和温度Tは式(2)のように表される。
T=Tenv+JRt ・・・(2)
そして、式(2)に式(1)を代入して、
T=Tenv+C2V2R(1/Pwc+1/Pwx)fRt ・・・(3)
となる。
ただし、Tenv:液滴吐出ヘッド周囲の環境温度、Rt:液滴吐出ヘッドの熱抵抗、である。
このように、式(3)を用いて、圧電素子の静電容量C、トランスミッションゲート抵抗値Rから描画飽和温度Tを算出することが可能である。
T=Tenv+JRt ・・・(2)
そして、式(2)に式(1)を代入して、
T=Tenv+C2V2R(1/Pwc+1/Pwx)fRt ・・・(3)
となる。
ただし、Tenv:液滴吐出ヘッド周囲の環境温度、Rt:液滴吐出ヘッドの熱抵抗、である。
このように、式(3)を用いて、圧電素子の静電容量C、トランスミッションゲート抵抗値Rから描画飽和温度Tを算出することが可能である。
次に、液滴吐出ヘッドの温度と圧電素子のキャパシタンス、トランスミッションゲートの抵抗値、液滴吐出量の関係について図9を用いて説明する。
図9(a)は液滴吐出ヘッドの温度と圧電素子のキャパシタンスとの関係を示すグラフである。
このグラフは液滴吐出ヘッドに同一の電圧パルスを印加して駆動したときの状態を示し、圧電素子のキャパシタンスが上昇して発熱量も上昇して液滴吐出ヘッドの温度が上ることがわかる。このように、液滴吐出ヘッドの温度と圧電素子のキャパシタンスとの関係は、ほぼ正比例の関係にある。
図9(a)は液滴吐出ヘッドの温度と圧電素子のキャパシタンスとの関係を示すグラフである。
このグラフは液滴吐出ヘッドに同一の電圧パルスを印加して駆動したときの状態を示し、圧電素子のキャパシタンスが上昇して発熱量も上昇して液滴吐出ヘッドの温度が上ることがわかる。このように、液滴吐出ヘッドの温度と圧電素子のキャパシタンスとの関係は、ほぼ正比例の関係にある。
図9(b)は液滴吐出ヘッドの温度とトランスミッションゲートの抵抗値との関係を示すグラフである。
このグラフも液滴吐出ヘッドに同一の電圧パルスを印加して駆動したときの状態を示し、トランスミッションゲートの抵抗値が上昇して発熱量も上昇して液滴吐出ヘッドの温度が上ることがわかる。このように、液滴吐出ヘッドの温度とトランスミッションゲートの抵抗値との関係は、ほぼ正比例の関係にある。
このグラフも液滴吐出ヘッドに同一の電圧パルスを印加して駆動したときの状態を示し、トランスミッションゲートの抵抗値が上昇して発熱量も上昇して液滴吐出ヘッドの温度が上ることがわかる。このように、液滴吐出ヘッドの温度とトランスミッションゲートの抵抗値との関係は、ほぼ正比例の関係にある。
図9(c)は液滴吐出ヘッドの温度と液滴吐出量との関係を示すグラフである。
このグラフは、液滴吐出ヘッドを同一条件で駆動したときの液滴吐出量を示し、液滴吐出ヘッドの温度が高いほど液滴吐出量が多くなることがわかる。このように、液滴吐出ヘッドの温度と液滴吐出量との関係は、ほぼ正比例の関係にある。
このことは、主に吐出する液状体の粘度に起因し、温度が高いと液状体の粘度が低くなり、吐出される液滴の量が多くなる。また、圧電素子の変位が温度の高いほうが大きくなる特性にも依存すると考えられる。
このグラフは、液滴吐出ヘッドを同一条件で駆動したときの液滴吐出量を示し、液滴吐出ヘッドの温度が高いほど液滴吐出量が多くなることがわかる。このように、液滴吐出ヘッドの温度と液滴吐出量との関係は、ほぼ正比例の関係にある。
このことは、主に吐出する液状体の粘度に起因し、温度が高いと液状体の粘度が低くなり、吐出される液滴の量が多くなる。また、圧電素子の変位が温度の高いほうが大きくなる特性にも依存すると考えられる。
このように、圧電素子をアクチュエーターとする液滴吐出ヘッドにおいて、液滴吐出駆動することで液滴吐出ヘッドの温度が上昇する。この液滴吐出ヘッドの温度が変わることは、液滴の吐出量が変わる要因であり、精密な液滴吐出をする際の阻害要因となっている。
本発明者は、描画の駆動中において液滴吐出ヘッドがある温度で平衡状態となる描画飽和温度Tを持つことに着目して本発明を着想するに至った。
本発明者は、描画の駆動中において液滴吐出ヘッドがある温度で平衡状態となる描画飽和温度Tを持つことに着目して本発明を着想するに至った。
以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の寸法の割合を適宜変更している。
(第1の実施形態)
(第1の実施形態)
本実施形態では液滴吐出装置として、インクジェット法を用いた装置を一例とし、その液滴吐出方法について説明する。インクジェット法は微小な液滴の吐出が可能であるため、微細な描画に適している。
<液滴吐出装置>
図1は液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
液滴吐出装置1には、直方体形状に形成される基台2を備えている。本実施形態では、この基台2の長手方向をY方向とし、水平面上でY方向と直交する方向をX方向とする。そして、X方向およびY方向に直交する方向をZ方向とする。また、液滴を吐出するときに液滴吐出ヘッドと被吐出物とを相対移動する方向を主走査方向と呼び、主走査方向と直交する方向を副走査方向と呼ぶ。副走査方向は改行するときに液滴吐出ヘッドと被吐出物とを相対移動する方向である。本実施形態ではY方向を主走査方向とし、X方向を副走査方向とする。
図1は液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
液滴吐出装置1には、直方体形状に形成される基台2を備えている。本実施形態では、この基台2の長手方向をY方向とし、水平面上でY方向と直交する方向をX方向とする。そして、X方向およびY方向に直交する方向をZ方向とする。また、液滴を吐出するときに液滴吐出ヘッドと被吐出物とを相対移動する方向を主走査方向と呼び、主走査方向と直交する方向を副走査方向と呼ぶ。副走査方向は改行するときに液滴吐出ヘッドと被吐出物とを相対移動する方向である。本実施形態ではY方向を主走査方向とし、X方向を副走査方向とする。
基台2の上面2aには、Y方向に延在する一対の案内レール3a,3bがY方向全幅にわたり凸設されている。その基台2の上側には、一対の案内レール3a,3bに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するステージ4が取付けられている。そのステージ4の直動機構は、例えば、ネジ式直動機構を用いることができる。このネジ式直動機構は案内レール3a,3bに沿ってY方向に延びる駆動軸であるネジ軸と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えている。その駆動軸が所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転する図示しないY軸モーターに連結されている。所定のステップ数に相対する駆動信号をY軸モーターに入力するとY軸モーターが正転または逆転する。そして、ステージ4が同ステップ数に相当する分だけ、Y方向に沿って所定の速度で往動または復動するようになっている。往動と復動を繰り返すことを走査移動と呼ぶ。さらに、基台2の上面2aには、案内レール3a,3bと平行に主走査位置検出装置5が配置され、ステージ4の位置が計測できるようになっている。
そのステージ4の上面には載置面6が形成され、その載置面6には図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、操作者が載置面6に基板7を所定位置に位置決めして載置すると、基板チャック機構によってその基板7が固定される。
基台2のX方向両側には一対の支持台8a,8bが立設され、その一対の支持台8a,8bにはX方向に延びる案内部材9が架設されている。その案内部材9の上側には吐出する液状体を供給可能に収容する収容タンク10が設置されている。一方、その案内部材9の下側にはX方向に延びる案内レール11がX方向全幅にわたり凸設されている。
案内レール11に沿って移動可能に配置されるキャリッジ12は略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ12は直動機構を備え、その直動機構は、例えば、ステージ4が備えるネジ式直動機構と同様の機構を用いることができる。そのネジ式直動機構の駆動軸が所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転する図示しないX軸モーターに連結されている。そして、駆動信号がX軸モーターに入力されると、X軸モーターが正転または逆転して、キャリッジ12がX方向に沿って走査移動する。案内部材9とキャリッジ12との間には副走査位置検出装置13が配置され、キャリッジ12の位置が計測される。キャリッジ12の下側にはヘッドユニット14が設置され、ヘッドユニット14のステージ4側の面には図示しない液滴吐出ヘッドが凸設されている。
基台2の上側であって、ステージ4の−Y方向には、保守装置15が配置されている。保守装置15は、保守ステージ16と、保守ステージ16の上に配置されているフラッシングユニット17、キャッピングユニット18、ワイピングユニット19、重量測定装置20等により構成されている。
保守ステージ16は、案内レール3a,3b上に位置し、ステージ4と同様の直動機構を備えている。主走査位置検出装置5を用いて位置を検出し、直動機構を用いて移動する。従って、保守ステージ16は所望の場所に移動し、停止することが可能となっている。
フラッシングユニット17は液滴吐出ヘッドから吐出される液滴を受ける装置である。液滴吐出ヘッドはフラッシングユニット17に液状体を吐出することにより、流路を洗浄する。キャッピングユニット18は液滴吐出ヘッドに蓋をする装置であり、さらに、液滴吐出ヘッドから液状体を吸引する機能を備えている。ワイピングユニット19は、液滴吐出ヘッドのノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。重量測定装置20は吐出する液滴の重量を測定する装置である。
保守ステージ16は案内レール3a,3bに沿って移動し、キャリッジ12が案内レール11に沿って移動する。そして、液滴吐出ヘッドと対向する場所にフラッシングユニット17、キャッピングユニット18、ワイピングユニット19、重量測定装置20のいずれか1つの装置が配置される。その後、保守装置15は液滴吐出ヘッドを保守する。
液滴吐出装置1は四隅に支柱24を備え、支柱24の図中上側には空気制御装置25が設置されている。空気制御装置25は、ファン、フィルター、冷暖房装置、湿度調整装置等を備えている。ファン(送風機)は、工場内の空気を取り込んで、フィルターを通過することにより、空気内の塵、埃を除去し、清浄化された空気を供給する。
冷暖房装置は、液滴吐出装置1の雰囲気温度を所定の温度範囲に保持するように、供給する空気の温度を制御する装置である。湿度調整装置は除湿または加湿した空気を供給することにより液滴吐出装置1の雰囲気湿度を所定の湿度範囲に維持する装置である。
4本の支柱24の間にはシート26が配置され、シート26は空気の流れを遮断する。空気制御装置25から供給される空気は空気制御装置25から図中下側の床27に向かって流れる。そして、シート26に囲まれる空間内の塵や埃には重力と空気の流れが作用するので、塵や埃は床27に向かって流動する。従って、基板7に塵や埃が付着し難いようになっている。さらに、シート26が空気の流れを制限することにより、シート26に囲まれる空間内の温度及び湿度がシート26の外から影響され難くなっている。そして、空気制御装置25がシート26に囲まれる空間内の温度及び湿度を所定の状態に維持している。
次に、ヘッドユニットの構成について図2を用いて説明する。
図2(a)は、ヘッドユニットを示す模式平面図である。ヘッドユニット14には第1ヘッド28a〜第4ヘッド28dの4個の液滴吐出ヘッド28が配置され、液滴吐出ヘッド28の表面にはノズルプレート29が配置されている。ノズルプレート29には複数のノズル30が配列して形成されている。ノズル30の数及び液滴吐出ヘッド28の数及び配置は吐出するパターンと基板7の大きさに合わせて設定すればよい。
図2(a)は、ヘッドユニットを示す模式平面図である。ヘッドユニット14には第1ヘッド28a〜第4ヘッド28dの4個の液滴吐出ヘッド28が配置され、液滴吐出ヘッド28の表面にはノズルプレート29が配置されている。ノズルプレート29には複数のノズル30が配列して形成されている。ノズル30の数及び液滴吐出ヘッド28の数及び配置は吐出するパターンと基板7の大きさに合わせて設定すればよい。
図2(b)は、ヘッドユニットの構造を示す模式側面図であり、図2(a)に示すヘッドユニット14を−Y方向から見た図である。ヘッドユニット14はベース板31を備え、ベース板31の上側にはキャリッジ12が配置されている。ベース板31の下側には支持部32を介して駆動回路基板33が配置されている。そして、駆動回路基板33の下側にはヘッド駆動回路34が配置されている。さらに、ベース板31には支持部35を介してヘッド取付板36が配置され、ヘッド取付板36の下面には液滴吐出ヘッド28が配置されている。ヘッド駆動回路34と液滴吐出ヘッド28とは図示しないケーブルにより接続され、ヘッド駆動回路34から出力された駆動信号が液滴吐出ヘッド28に入力される。
ベース板31の下側には供給装置37が配置され、収容タンク10と供給装置37との間及び供給装置37と液滴吐出ヘッド28との間は図示しないチューブにより接続されている。そして、収容タンク10から供給される液状体が供給装置37により液滴吐出ヘッド28に供給される。
図2(c)は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。液滴吐出ヘッド28はノズルプレート29を備え、ノズルプレート29にはノズル30が形成されている。ノズルプレート29の上側であってノズル30と相対する位置にはノズル30と連通する圧力室38が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド28の圧力室38には収容タンク10に貯留されている液状体39が供給される。
圧力室38の上側には上下方向に振動して圧力室38内の容積を拡大縮小する振動板40が設置されている。振動板40の上側で圧力室38と対向する場所には上下方向に伸縮して振動板40を振動させる圧電素子41が配設されている。圧電素子41が上下方向に伸縮して振動板40を加圧して振動し、振動板40が圧力室38内の容積を拡大縮小して圧力室38を加圧する。それにより、圧力室38内の圧力が変動し、圧力室38内に供給された液状体39はノズル30を通って吐出される。
液滴吐出ヘッド28が圧電素子41を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子41が伸長して、振動板40が圧力室38内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド28のノズル30からは、縮小した容積分の液状体39が液滴42として吐出される。
ノズル30から液滴42を吐出するとき液滴吐出ヘッド28に加えられるエネルギーの一部が熱に変換される。そして、液滴吐出ヘッド28は加熱されて、温度が上昇する。また、液滴42の吐出と並行して液状体39が供給される。供給される液状体39により液滴吐出ヘッド28へ熱量が入る。一方、液滴吐出ヘッド28から離脱する液滴42により液滴吐出ヘッド28から熱量が奪われる。また、液滴吐出ヘッド28から大気中に放熱することにより液滴吐出ヘッド28の熱量が奪われる。他にも液滴吐出ヘッド28からキャリッジ12に熱が伝導することにより、液滴吐出ヘッド28から熱量が奪われる。そして、液滴42の吐出を継続して行うとき液滴吐出ヘッド28の温度が平衡状態になる。
図3は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。
液滴吐出装置1は液滴吐出装置1の動作を制御する制御部としての制御装置45を備えている。そして、制御装置45はプロセッサーとして各種の演算処理を行うCPU(中央演算処理装置)46と、各種情報を記憶するメモリー47とを備えている。
液滴吐出装置1は液滴吐出装置1の動作を制御する制御部としての制御装置45を備えている。そして、制御装置45はプロセッサーとして各種の演算処理を行うCPU(中央演算処理装置)46と、各種情報を記憶するメモリー47とを備えている。
主走査駆動装置48、主走査位置検出装置5、副走査駆動装置49、副走査位置検出装置13、液滴吐出ヘッド28を駆動するヘッド駆動回路34は、入出力インターフェイス50及びデータバス51を介してCPU46に接続されている。さらに、入力装置52、表示装置53、重量測定装置20、キャッピングユニット18、ワイピングユニット19も入出力インターフェイス50及びデータバス51を介してCPU46に接続されている。同じく、保守装置15において、保守ステージ16を駆動する保守ステージ駆動装置54及び、保守ステージ16の位置を検出する保守ステージ位置検出装置55も入出力インターフェイス50及びデータバス51を介してCPU46に接続されている。
主走査駆動装置48はステージ4の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置49はキャリッジ12の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置5がステージ4の位置を認識し、主走査駆動装置48がステージ4を駆動することにより、ステージ4を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置13がキャリッジ12の位置を認識し、副走査駆動装置49がキャリッジ12を駆動することにより、キャリッジ12を所望の位置に移動及び停止することが可能となっている。
入力装置52は液滴42を吐出する各種加工条件、特性などを入力する装置であり、例えば、各液滴吐出ヘッドのキャパシタンスやトランスミッションゲートの抵抗値を入力する装置である。表示装置53は加工条件や作業状況を表示する装置であり、操作者は表示装置53に表示される情報を基に入力装置52を用いて操作を行う。
重量測定装置20は電子天秤及び受け皿を備え、液滴吐出ヘッド28が吐出する液滴42と液滴42を受ける受け皿との重量を電子天秤が測定する。重量測定装置20は、液滴42が吐出される前後の受け皿の重量を測定した後、測定値をCPU46に送信する。
保守ステージ駆動装置54は保守ステージ16を移動する装置である。そして、保守ステージ位置検出装置55が保守ステージ16の位置を検出した後、保守ステージ駆動装置54が保守ステージ16を移動することにより、所望の保守装置が液滴吐出ヘッド28と対向する場所に配置される。
メモリー47は、RAM、ROM等といった半導体メモリーや、ハードディスク、CD−ROMといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には液滴吐出装置1における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト56を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板7内における吐出位置の座標データである吐出位置データ57を記憶するための記憶領域も設定される。
他にも、液滴吐出ヘッド28のキャパシタンスやトランスミッションゲートの抵抗値などのヘッド特性データ58を記憶するための記憶領域が設定される。また、液滴吐出ヘッド28の温度と液滴の吐出量の関係についての温度―吐出量データ59を記憶するための記憶領域が設定される。
さらに、基板7を主走査方向へ移動する主走査移動量とキャリッジ12を副走査方向へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域やCPU46のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
CPU46は、メモリー47内に記憶されたプログラムソフト56に従って基板7の所定位置に液滴42を吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、液滴吐出ヘッド28から液滴42を吐出して描画するための制御を行う吐出演算部62を有する。吐出演算部62を詳しく分割すれば、吐出演算部62は基板7を主走査方向へ所定の速度で走査移動させるための制御を行う主走査制御部63を有する。他にも、吐出演算部62は液滴吐出ヘッド28を副走査方向へ所定の副走査量で移動させるための制御を行う副走査制御部64を有する。さらに、吐出演算部62は液滴吐出ヘッド28の液滴吐出にかかわる演算をする吐出制御部65を有する。
吐出制御部65は、図4に示すように、液滴吐出ヘッド28のキャパシタンス、トランスミッションゲートの抵抗値から液滴吐出ヘッド28の描画時の飽和温度を算出する描画飽和温度算出部71を有している。そして、算出された描画飽和温度をもとに待機中の液滴吐出ヘッド28に印加する駆動波形を設定する加熱駆動波形設定部72と、描画時の液滴吐出駆動波形を設定する液滴吐出駆動波形設定部73とを有している。
さらに、液滴吐出ヘッド28内に複数あるノズル30のうち、どのノズル30を作動させて液状体を吐出するかを制御する液滴吐出ヘッド制御部74を有している。
さらに、液滴吐出ヘッド28内に複数あるノズル30のうち、どのノズル30を作動させて液状体を吐出するかを制御する液滴吐出ヘッド制御部74を有している。
そして、図3に戻り、CPU46には他に、吐出する液滴42の重量測定をするための制御を行う重量測定制御部66、待機中の液滴吐出ヘッド28の制御を行う加熱駆動制御部67や液滴吐出ヘッド28を保守するタイミングや保守装置15の動作を制御する保守装置制御部68を有する。
<吐出方法1>
次に、上述した液滴吐出装置1を使って、液滴吐出ヘッド28から基板7に吐出する吐出方法について説明する。
図5は基板に液滴を吐出する液滴吐出方法の手順を示すフローチャートである。図6は液滴吐出ヘッドに印加する駆動波形を示す説明図である。
図5のフローチャートに示すように、液滴吐出装置に配置される各液滴吐出ヘッドのキャパシタンス(静電容量)を測定する(ステップS10)。それぞれの液滴吐出ヘッドのキャパシタンスの測定は、液滴吐出ヘッドの製造工程において測定しておくのが好ましい。
そして、この各液滴吐出ヘッドのキャパシタンスの値を液滴吐出装置の入力装置を用いて入力すると、描画飽和温度算出部にてキャパシタンスから描画飽和温度を算出する(ステップS11)。なお、描画飽和温度の算出は前述した式(3)に基づき演算する。
次に、上述した液滴吐出装置1を使って、液滴吐出ヘッド28から基板7に吐出する吐出方法について説明する。
図5は基板に液滴を吐出する液滴吐出方法の手順を示すフローチャートである。図6は液滴吐出ヘッドに印加する駆動波形を示す説明図である。
図5のフローチャートに示すように、液滴吐出装置に配置される各液滴吐出ヘッドのキャパシタンス(静電容量)を測定する(ステップS10)。それぞれの液滴吐出ヘッドのキャパシタンスの測定は、液滴吐出ヘッドの製造工程において測定しておくのが好ましい。
そして、この各液滴吐出ヘッドのキャパシタンスの値を液滴吐出装置の入力装置を用いて入力すると、描画飽和温度算出部にてキャパシタンスから描画飽和温度を算出する(ステップS11)。なお、描画飽和温度の算出は前述した式(3)に基づき演算する。
次に、算出した描画飽和温度に基づいて、吐出制御部の加熱駆動波形設定部にて各液滴吐出ヘッドの待機時における加熱駆動波形を設定する(ステップS12)。
続いて、算出した描画飽和温度に基づいて、吐出制御部の液滴吐出駆動波形設定部にて液滴吐出ヘッドの描画時の各液滴吐出駆動波形を設定する(ステップS13)。
この液滴吐出駆動波形の設定は、液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いて設定する。液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いることで、液滴吐出ヘッドの交換時などに、容易に液滴吐出ヘッドに印加する液滴吐出駆動波形を設定することができる。
続いて、算出した描画飽和温度に基づいて、吐出制御部の液滴吐出駆動波形設定部にて液滴吐出ヘッドの描画時の各液滴吐出駆動波形を設定する(ステップS13)。
この液滴吐出駆動波形の設定は、液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いて設定する。液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いることで、液滴吐出ヘッドの交換時などに、容易に液滴吐出ヘッドに印加する液滴吐出駆動波形を設定することができる。
また、加熱駆動波形および液滴吐出駆動波形の設定は、前述の式(3)から演算してもよい。
なお、ステップS11とステップS12の手順は逆でもよいし平行して処理が行われてもよい。また、ステップS10〜ステップS13で得られた値、設定値等は液滴吐出装置のメモリー内に記憶することが好ましい。
なお、ステップS11とステップS12の手順は逆でもよいし平行して処理が行われてもよい。また、ステップS10〜ステップS13で得られた値、設定値等は液滴吐出装置のメモリー内に記憶することが好ましい。
そして、液滴吐出装置を稼動する命令が入力されると、各液滴吐出ヘッドにそれぞれに設定された加熱駆動波形を印加する(ステップS14)。この加熱駆動波形は図6に示す待機時の波形であり、駆動電圧は描画時の駆動電圧よりも小さく、液滴がノズルより飛び出ない大きさに設定されている。そして、この加熱駆動波形は一定時間、液滴吐出ヘッドに印加するように設定されている。加熱駆動波形を液滴吐出ヘッドに印加する時間は、図8(a)で説明したように、液滴吐出ヘッドが描画飽和温度になる時間に設定される。
このようにして、液滴吐出ヘッドが駆動されることにより温度が上昇し、一定時間経過後は、温度が平衡状態となった描画飽和温度となる。
また、加熱駆動波形を液滴吐出ヘッドに印加することにより、内部の液状体が振動する状態となり、液状体が攪拌されノズルの先端部の液状体が温度上昇に対しても乾燥することなく、液滴吐出ヘッドのノズルの目詰まりなどを防止することができる。
このようにして、液滴吐出ヘッドが駆動されることにより温度が上昇し、一定時間経過後は、温度が平衡状態となった描画飽和温度となる。
また、加熱駆動波形を液滴吐出ヘッドに印加することにより、内部の液状体が振動する状態となり、液状体が攪拌されノズルの先端部の液状体が温度上昇に対しても乾燥することなく、液滴吐出ヘッドのノズルの目詰まりなどを防止することができる。
ステップS14で一定時間の加熱駆動波形を経過した後、図6の描画時の波形を印加して、各液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する(ステップS15)。各液滴吐出ヘッドは液滴の吐出の始めから描画飽和温度に制御されていることから、描画の始めから終わりまでほぼ一定の温度を維持することができる。
そして、設定された描画が終わり液滴の吐出を終了する(ステップS16)。
そして、設定された描画が終わり液滴の吐出を終了する(ステップS16)。
このように、各液滴吐出ヘッドを描画時の飽和温度になるように加熱駆動波形を印加して加熱することで、液滴吐出ヘッドの温度を液滴吐出の最初から最後までほぼ一定に保つことができる。各液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出量は、描画飽和温度に対応して定量の吐出となるように液滴吐出駆動波形が設定されているため、各液滴吐出ヘッド間でばらつきのない液滴の吐出が可能である。
そして、従来のように各液滴吐出ヘッドの温度を検出してフィードバックをかけることを必要とせず、簡易な方法で精度の高い液滴吐出ができる。
(第2の実施形態)
そして、従来のように各液滴吐出ヘッドの温度を検出してフィードバックをかけることを必要とせず、簡易な方法で精度の高い液滴吐出ができる。
(第2の実施形態)
次に第1の実施形態で説明した液滴吐出方法とは異なる、他の液滴吐出方法について説明する。
なお、液滴吐出装置は第1の実施形態と同様の構成であり説明を省略する。
なお、液滴吐出装置は第1の実施形態と同様の構成であり説明を省略する。
<吐出方法2>
本液滴吐出方法は、第1の実施形態の液滴吐出方法とは、描画飽和温度の算出方法が異なる。
図7は基板に液滴を吐出する液滴吐出方法の手順を示すフローチャートである。
まず、液滴吐出装置に配置される各液滴吐出ヘッドのキャパシタンス(静電容量)およびトランスミッションゲートの抵抗値を測定する(ステップS20)。それぞれの液滴吐出ヘッドのキャパシタンスおよびトランスミッションゲートの抵抗値の測定は、液滴吐出ヘッドの製造工程において測定しておくのが好ましい。
そして、この各液滴吐出ヘッドのキャパシタンスの値およびトランスミッションゲートの抵抗値を液滴吐出装置の入力装置を用いて入力すると、描画飽和温度算出部にてキャパシタンスおよびトランスミッションゲートから描画飽和温度を算出する(ステップS21)。なお、描画飽和温度の算出は前述した式(3)に基づき演算する。
本液滴吐出方法は、第1の実施形態の液滴吐出方法とは、描画飽和温度の算出方法が異なる。
図7は基板に液滴を吐出する液滴吐出方法の手順を示すフローチャートである。
まず、液滴吐出装置に配置される各液滴吐出ヘッドのキャパシタンス(静電容量)およびトランスミッションゲートの抵抗値を測定する(ステップS20)。それぞれの液滴吐出ヘッドのキャパシタンスおよびトランスミッションゲートの抵抗値の測定は、液滴吐出ヘッドの製造工程において測定しておくのが好ましい。
そして、この各液滴吐出ヘッドのキャパシタンスの値およびトランスミッションゲートの抵抗値を液滴吐出装置の入力装置を用いて入力すると、描画飽和温度算出部にてキャパシタンスおよびトランスミッションゲートから描画飽和温度を算出する(ステップS21)。なお、描画飽和温度の算出は前述した式(3)に基づき演算する。
次に、算出した描画飽和温度に基づいて、吐出制御部の加熱駆動波形設定部にて各液滴吐出ヘッドの待機時における加熱駆動波形を設定する(ステップS22)。
続いて、算出した描画飽和温度に基づいて、吐出制御部の液滴吐出駆動波形設定部にて液滴吐出ヘッドの描画時の各液滴吐出駆動波形を設定する(ステップS23)。
この液滴吐出駆動波形の設定は、液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いて設定する。液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いることで、液滴吐出ヘッドの交換時などに、容易に液滴吐出ヘッドに印加する液滴吐出駆動波形を設定することができる。
続いて、算出した描画飽和温度に基づいて、吐出制御部の液滴吐出駆動波形設定部にて液滴吐出ヘッドの描画時の各液滴吐出駆動波形を設定する(ステップS23)。
この液滴吐出駆動波形の設定は、液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いて設定する。液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いることで、液滴吐出ヘッドの交換時などに、容易に液滴吐出ヘッドに印加する液滴吐出駆動波形を設定することができる。
また、加熱駆動波形および液滴吐出駆動波形の設定は、前述の式(3)から演算してもよい。
なお、ステップS21とステップS22の手順は逆でもよいし平行して処理が行われてもよい。また、ステップS20〜ステップS23で得られた値、設定値等は液滴吐出装置のメモリー内に記憶することが好ましい。
なお、ステップS21とステップS22の手順は逆でもよいし平行して処理が行われてもよい。また、ステップS20〜ステップS23で得られた値、設定値等は液滴吐出装置のメモリー内に記憶することが好ましい。
そして、液滴吐出装置を稼動する命令が入力されると、各液滴吐出ヘッドにそれぞれに設定された加熱駆動波形を印加する(ステップS24)。この加熱駆動波形は図6に示す待機時の波形であり、駆動電圧は描画時の駆動電圧よりも小さく、液滴がノズルより飛び出ない大きさに設定されている。そして、この加熱駆動波形は一定時間、液滴吐出ヘッドに印加するように設定されている。加熱駆動波形を液滴吐出ヘッドに印加する時間は、図8(a)で説明したように、液滴吐出ヘッドが描画飽和温度になる時間に設定される。
このようにして、液滴吐出ヘッドが駆動されることにより温度が上昇し、一定時間経過後は、温度が平衡状態となった描画飽和温度となる。
また、加熱駆動波形を液滴吐出ヘッドに印加することにより、内部の液状体が振動する状態となり、液状体が攪拌されノズルの先端部の液状体が温度上昇に対しても乾燥することなく、液滴吐出ヘッドのノズルの目詰まりなどを防止することができる。
このようにして、液滴吐出ヘッドが駆動されることにより温度が上昇し、一定時間経過後は、温度が平衡状態となった描画飽和温度となる。
また、加熱駆動波形を液滴吐出ヘッドに印加することにより、内部の液状体が振動する状態となり、液状体が攪拌されノズルの先端部の液状体が温度上昇に対しても乾燥することなく、液滴吐出ヘッドのノズルの目詰まりなどを防止することができる。
ステップS24で一定時間の加熱駆動波形を経過した後、図6の描画時の波形を印加して、各液滴吐出ヘッドから液滴を吐出する(ステップS25)。各液滴吐出ヘッドは液滴の吐出の始めから描画飽和温度に制御されていることから、描画の始めから終わりまでほぼ一定の温度を維持することができる。
そして、設定された描画が終わり液滴の吐出を終了する(ステップS26)。
そして、設定された描画が終わり液滴の吐出を終了する(ステップS26)。
このように、各液滴吐出ヘッドを描画時の飽和温度になるように加熱駆動波形を印加して加熱することで、液滴吐出ヘッドの温度を液滴吐出の最初から最後までほぼ一定に保つことができる。各液滴吐出ヘッドにおける液滴の吐出量は、描画飽和温度に対応して定量の吐出となるように液滴吐出駆動波形が設定されているため、各液滴吐出ヘッド間でばらつきのない液滴吐出が可能である。
そして、本実施形態の液滴吐出方法は、それぞれの液滴吐出ヘッドのキャパシタンスおよびトランスミッションゲートの抵抗値から描画時に液滴吐出ヘッドの飽和する温度である描画飽和温度を算出する。このため、液滴吐出ヘッドのキャパシタンスから描画飽和温度を算出するよりも精度の高い描画飽和温度を得ることができ、ばらつきの少ない液滴吐出が可能である。
さらに、従来のように各液滴吐出ヘッドの温度を検出してフィードバックをかけることを必要とせず、簡易な方法で精度の高い液滴吐出ができる。
さらに、従来のように各液滴吐出ヘッドの温度を検出してフィードバックをかけることを必要とせず、簡易な方法で精度の高い液滴吐出ができる。
以上、本発明の液滴吐出方法は、液滴吐出装置を用いたカラーフィルターなどの成膜において、精密な膜厚を管理するために液滴の吐出量の精度が必要な場合において有効な方法である。
1…液滴吐出装置、2…基台、2a…基台の上面、3a…案内レール、3b…案内レール、4…ステージ、5…主走査位置検出装置、6…載置面、7…基板、8a…一対の支持台、9…案内部材、10…収容タンク、11…案内レール、12…キャリッジ、13…副走査位置検出装置、14…ヘッドユニット、15…保守装置、16…保守ステージ、17…フラッシングユニット、18…キャッピングユニット、19…ワイピングユニット、20…重量測定装置、24…支柱、25…空気制御装置、26…シート、27…床、28…液滴吐出ヘッド、28a…第1ヘッド、28b…第2ヘッド、28c…第3ヘッド、28d…第4ヘッド、29…ノズルプレート、30…ノズル、31…ベース板、32…支持部、33…駆動回路基板、34…ヘッド駆動回路、35…支持部、36…ヘッド取付板、37…供給装置、38…圧力室、39…液状体、40…振動板、41…圧電素子、45…制御装置、46…CPU、47…メモリー、48…主走査駆動装置、49…副走査駆動装置、50…入出力インターフェイス、51…データバス、52…入力装置、53…表示装置、54…保守ステージ駆動装置、55…保守ステージ位置検出装置、56…プログラムソフト、57…吐出位置データ、58…ヘッド特性データ、59…温度―吐出量データ、62…吐出演算部、63…主走査制御部、64…副走査制御部、65…吐出制御部、66…重量測定制御部、67…加熱駆動制御部、68…保守装置制御部、71…描画飽和温度算出部、72…加熱駆動波形設定部、73…液滴吐出駆動波形設定部、74…液滴吐出ヘッド制御部。
Claims (4)
- 圧電素子の変形を利用して液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを複数有し、前記液滴吐出ヘッドから基材に液滴を吐出する液滴吐出方法であって、
各前記液滴吐出ヘッドのキャパシタンスに応じて、各前記液滴吐出ヘッドの描画時に前記液滴吐出ヘッドの飽和する温度である描画飽和温度を算出する工程と、
算出された前記描画飽和温度に基づき、待機時における前記液滴吐出ヘッドの温度を前記描画飽和温度に制御するために前記液滴吐出ヘッドに印加する加熱駆動波形を設定する工程と、
算出された前記描画飽和温度に基づき、各前記液滴吐出ヘッドの吐出時における液滴の吐出量が同量となるように液滴吐出駆動波形を設定する工程と、
各前記液滴吐出ヘッドに加熱駆動波形を印加する工程と、
一定時間以上、前記液滴吐出ヘッドに加熱駆動波形を印加した後、各前記液滴吐出ヘッドから基材に液滴を吐出する工程と、を含むことを特徴とする液滴吐出方法。 - 請求項1に記載の液滴吐出方法において、
前記液滴吐出駆動波形の設定は、前記液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いて設定することを特徴とする液滴吐出方法。 - 圧電素子の変形を利用して液状体を液滴として吐出する液滴吐出ヘッドを複数有し、前記液滴吐出ヘッドから基材に液滴を吐出する液滴吐出方法であって、
各前記液滴吐出ヘッドのキャパシタンスおよびトランスミッションゲートの抵抗値に応じて、各前記液滴吐出ヘッドの描画時に前記液滴吐出ヘッドの飽和する温度である描画飽和温度を算出する工程と、
算出された前記描画飽和温度に基づき、待機時における前記液滴吐出ヘッドの温度を前記描画飽和温度に制御するために前記液滴吐出ヘッドに印加する加熱駆動波形を設定する工程と、
算出された前記描画飽和温度に基づき、各前記液滴吐出ヘッドの吐出時における液滴の吐出量が同量となるように液滴吐出駆動波形を設定する工程と、
各前記液滴吐出ヘッドに加熱駆動波形を印加する工程と、
一定時間以上、前記液滴吐出ヘッドに加熱駆動波形を印加した後、各前記液滴吐出ヘッドから基材に液滴を吐出する工程と、を含むことを特徴とする液滴吐出方法。 - 請求項3に記載の液滴吐出方法において、
前記液滴吐出駆動波形の設定は、前記液滴吐出ヘッドの温度と液滴の吐出量との相関データを用いて設定することを特徴とする液滴吐出方法。
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---|---|---|---|---|
JP2015013370A (ja) * | 2013-07-03 | 2015-01-22 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッド、および、画像形成装置 |
CN107116903A (zh) * | 2016-02-24 | 2017-09-01 | 精工爱普生株式会社 | 图像形成装置、形成图像的方法及程序 |
JP2017159673A (ja) * | 2017-06-22 | 2017-09-14 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッド、および、画像形成装置 |
US11964501B2 (en) | 2020-09-30 | 2024-04-23 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Printing device |
-
2009
- 2009-11-19 JP JP2009263671A patent/JP2011104921A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2015013370A (ja) * | 2013-07-03 | 2015-01-22 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッド、および、画像形成装置 |
CN107116903A (zh) * | 2016-02-24 | 2017-09-01 | 精工爱普生株式会社 | 图像形成装置、形成图像的方法及程序 |
JP2017159673A (ja) * | 2017-06-22 | 2017-09-14 | 株式会社リコー | 液滴吐出ヘッド、および、画像形成装置 |
US11964501B2 (en) | 2020-09-30 | 2024-04-23 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Printing device |
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