JP2017152538A - パッケージウェーハのアライメント方法 - Google Patents
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Abstract
Description
13 ウェーハ
13a 表面
13b 裏面
15 分割予定ライン(ストリート)
15a 第1分割予定ライン
15b 第2分割予定ライン
17 デバイス
19,19a,19b,19c キーパターン
21 樹脂
23 電極
31 ダイシングテープ(粘着テープ)
33 フレーム
2 レーザー加工装置(加工装置)
4 基台
4a 突出部
6 支持構造
6a 支持アーム
8 カセットエレベータ
10 カセット
12 仮置き機構
12a,12b ガイドレール
14 搬送機構(搬送手段)
14a 把持機構
16 移動機構(加工送り機構、割り出し送り機構、移動手段)
18 Y軸ガイドレール
20 Y軸移動テーブル
22 Y軸ボールネジ
24 Y軸パルスモータ
26 X軸ガイドレール
28 X軸移動テーブル
30 X軸ボールネジ
32 テーブルベース
34 保持テーブル(チャックテーブル、保持手段)
34a 保持面
36 クランプ
38 レーザー光線照射ユニット(加工ユニット、加工手段)
40 カメラ(撮像ユニット)
42 洗浄ユニット
44 スピンナテーブル
46 噴射ノズル
48 制御ユニット(制御手段)
102 切削装置(加工装置)
104 基台
104a,104b 開口
106 カセットエレベータ
108 カセット
110 移動テーブル
112 防塵防滴カバー
114 保持テーブル(チャックテーブル、保持手段)
114a 保持面
116 クランプ
118 仮置き機構
118a,118b ガイドレール
120 第1支持構造
122 第1レール
124 第1移動機構
126 第1搬送機構(搬送手段)
126a 把持機構
128 第2レール
130 第2移動機構
132 第2搬送機構(搬送手段)
134 第2支持構造
136 移動機構(割り出し送り機構、移動手段)
138 切削ユニット(加工ユニット、加工手段)
140 カメラ(撮像ユニット、撮像手段)
142 洗浄ユニット
144 スピンナテーブル
146 噴射ノズル
148 制御ユニット(制御手段)
Claims (2)
- 第1方向に延在する複数の第1分割予定ラインと、該第1方向と交差する第2方向に延在する複数の第2分割予定ラインとによって区画された表面側の領域にキーパターンを有するデバイスが形成され、外周部を除いた表面側の領域が樹脂で封止されたパッケージウェーハのアライメント方法であって、
パッケージウェーハを保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持されたパッケージウェーハを該第1分割予定ライン及び該第2分割予定ラインに沿って加工する加工ユニットと、
該保持テーブルと該加工ユニットとを加工送り方向に相対的に移動させる加工送り機構と、
該保持テーブルと該加工ユニットとを該加工送り方向と交差する割り出し送り方向に相対的に移動させる割り出し送り機構と、
該保持テーブルに保持されたパッケージウェーハを撮像する撮像ユニットと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える加工装置を用い、
隣り合う2本の該第1分割予定ラインの距離aを該制御ユニットに登録する登録ステップと、
該保持テーブルで保持したパッケージウェーハの該キーパターンを該加工送り方向に離れた複数の位置で撮像して複数の該キーパターンを検出し、検出された複数の該キーパターンに基づいて該第1分割予定ラインの向きを特定し、特定された該第1分割予定ラインの向きに応じて該保持テーブルを回転させることで該第1分割予定ラインの向きと該加工送り方向とを平行に調整する向き調整ステップと、
該向き調整ステップの後、該向き調整ステップで検出した複数の該キーパターンのいずれかから該割り出し送り方向に該距離aのn倍(nは自然数)離れた基準位置を撮像して該基準位置に最も近い該キーパターンを探し出し、探し出された該キーパターンの位置と該基準位置とのずれが閾値を超えている場合に該第1分割予定ラインの向きと該加工送り方向とが平行ではないと判定する判定ステップと、を備え、
該向き調整ステップ及び該判定ステップでは、該外周部で露出した該キーパターンを用いることを特徴とするパッケージウェーハのアライメント方法。 - 該登録ステップでは、隣り合う2本の該第2分割予定ラインの距離bを更に該制御ユニットに登録し、
該判定ステップでは、該向き調整ステップで検出した複数の該キーパターンのいずれかから該割り出し送り方向に該距離aのn倍(nは自然数)離れ、且つ該加工送り方向に該距離bのm倍(mは自然数)離れた該基準位置を撮像して該基準位置に最も近い該キーパターンを探し出すことを特徴とする請求項1に記載のパッケージウェーハのアライメント方法。
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