JP2017150566A - 直動案内装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】スライダ本体の移動を阻害せず、スライダ本体近傍のスペースの支障ともならずに転動体に潤滑剤を供給可能な直動案内装置を提供する。【解決手段】スライダ本体3の内部で循環する転動体4がスライダ本体3と案内レール2との間で転動することで、案内レール2に跨架されたスライダ本体3が案内レール2に沿って移動する。スライダ本体3内部の潤滑剤供給路12を介して転動体4に潤滑剤Gを供給するための潤滑剤受給口9をスライダ本体3の移動方向端部に設け、スライダ本体3の移動に伴って潤滑剤受給口9が当接する潤滑剤供給口14を有する潤滑剤タンク13をスライダ本体3の移動方向の予め設定された位置に配置する。そして、スライダ本体3の移動に伴って潤滑剤受給口9が潤滑剤供給口14に押し付けられると潤滑剤タンク13内の潤滑剤Gが潤滑剤供給口14から潤滑剤受給口9に供給される潤滑剤供給機構を設ける。【選択図】図1

Description

本発明は直動案内装置に関するものであり、例えば工作機械で被加工物(ワーク)の移動・位置決めなどに用いられる場合などに好適なものである。
直動案内装置は、例えば工作機械において被加工物を直線的に移動し、位置決めを行う場合などに使用される。このような直動案内装置では、案内レールに沿って移動可能となるようにスライダ本体を案内レールに跨架し、スライダ本体と案内レールとの間で複数の転動体を転動させることでスライダ本体を案内レールに沿って滑らかに移動させる。これら複数の転動体はスライダ本体の内部で循環しながらスライダ本体と案内レールとの間で転動する。例えば転動体にかかる負荷が大きい場合などには、転動体をグリースなどの潤滑剤で潤滑することが好ましい。潤滑剤は、例えばスライダ本体内部に設けられた潤滑剤供給路を介して転動体に供給される。このように転動体を潤滑する潤滑剤を外部から供給する技術としては、例えば下記特許文献1に記載されるものがある。この先行技術は、転がり軸受の転動体に潤滑剤を供給するものであるが、外輪と内輪の間に潤滑剤含有ポリマ部材を介装し、このポリマ部材に到達する穴を外輪及びハウジングに形成し、それらの穴を介してハウジングの外側に取付けられた自動給脂装置からポリマ部材に潤滑剤を給脂する。
特開平11−182562号公報
しかしながら、前述した先行技術に記載される潤滑剤給脂装置では、潤滑剤を供給しようとする対象体に自動給脂装置を設置しておかなければならない。直動案内装置であれば、スライダ本体に自動給脂装置を取付けておくことになるが、スライダ本体には、一般に、治具などを取付ける必要があるからスペースに限りがある上に、スライダ本体は案内レールに沿って移動するから、自動給脂装置が取付けられていると、移動の支障となるおそれがある。
本発明は、上記のような問題点に着目してなされたものであり、スライダ本体の移動を阻害せず、スライダ本体近傍のスペースの支障ともならずに転動体に潤滑剤を供給可能な直動案内装置を提供することを目的とするものである。
上記課題を解決するために、本発明の一態様によれば、案内レールと、案内レールに沿って移動可能に案内レールに跨架されたスライダ本体と、スライダ本体の内部で循環しながらスライダ本体と案内レールとの間で転動する複数の転動体と、スライダ本体の移動方向端部に設けられ、スライダ本体内部の潤滑剤供給路を介して転動体に潤滑剤を供給するための潤滑剤受給口と、スライダ本体の移動に伴って潤滑剤受給口が当接する潤滑剤供給口を有し、スライダ本体の移動方向の予め設定された位置に配置されて潤滑剤を貯留する潤滑剤タンクと、スライダ本体の移動に伴って潤滑剤受給口が潤滑剤供給口に押し付けられると潤滑剤タンク内の潤滑剤が潤滑剤供給口から潤滑剤受給口に供給される潤滑剤供給機構と、を備えた直動案内装置が提供される。
本発明によれば、転動体に潤滑剤を供給することができると共に、スライダ本体の移動を阻害することも、スライダ本体近傍のスペースの支障となることもない。
本発明の直動案内装置の第1実施形態を示す直動装置の正面図である。 図1に用いられた直動案内装置の斜視図である。 図2の直動案内装置の断面図である。 図1の直動案内装置の作用の説明図である。 本発明の直動案内装置の第2実施形態を示す一部断面正面図である。 図5の直動案内装置の作用の説明図である。
以下に示す実施の形態は、本発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、本発明の技術的思想は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。本発明の技術的思想は、特許請求の範囲に記載された請求項が規定する技術的範囲内において、種々の変更を加えることができる。
以下、本発明の実施形態に係る直動案内装置について図面を参照しながら説明する。図1は、この実施形態の直動案内装置1を用いた直動装置の正面図である。この実施形態の直動装置は、例えば工作機械において、被加工物(ワーク)の移動・位置決めに用いられるものである。この実施形態では、直動案内装置1の断面略角形の案内レール2は、例えば工作機械の治具ベースの同一水平面上で予め設定された水平方向に2本平行に配設されている。これらの案内レール2上には、断面形状がほぼコ字状のスライダ本体3が各案内レール2に2機ずつ、各案内レール2の長手方向に相対移動可能に跨架されている。これら各スライダ本体3と案内レール2の間には、後述のように複数の転動体4(図3参照)が介装され、これらの転動体4が転動することで各スライダ本体3は案内レール2の転走面に沿って滑らかに移動する。なお、転動体4は、各スライダ本体3の内部を通って案内レール2の転走面に循環される。
案内レール2の夫々に2機ずつ配置された計4機のスライダ本体3は、例えば比較的厚さの大きい金属製平板からなるスライド部材5の下面に固定される。このスライド部材5の上部には、例えば被加工物を保持する治具が搭載され、この治具が被加工物の保持部を構成する。従って、スライド部材5は被加工物保持部の底板部材を構成する。このスライド部材5の下面のうち、2本の案内レール2の中間部分からは下方向きに図示しない垂直板部材が立設され、この垂直板部材にボールねじ装置6の図示しないボールねじナットが取付けられている。ボールねじナットの軸線方向は、案内レール2の配設方向と平行である。このボールねじナットには、図示しない複数の転動体を介して、ボールねじ軸7が螺合されている。ボールねじ装置6は、ボールねじ軸7及びボールねじナットに形成されているボール溝を転走面として、ボールからなる転動体が転動することにより、滑らかに回転し且つボールねじ軸7又はボールねじナットがねじの推力によって軸線方向に移動する。
このボールねじ軸7の端部には、駆動源であるモータMが接続されている。即ち、ボールねじ装置6は、スライド部材5とモータMを接続している。これにより、モータMによってボールねじ装置6のボールねじ軸7が回転されると、ねじの推力によってボールねじナットが図1の矢印方向に往復直進移動し、これに伴ってスライド部材5が図1の矢印方向に往復直進移動する。このとき、スライド部材5はスライダ本体3及び案内レール2で構成される直動案内装置1によって滑らかに案内される。そして、モータMによるボールねじ装置6のボールねじ軸7の回転を停止すると、その位置でボールねじナット及びスライド部材5が停止し、被加工物が位置決めされる。
図2は、図1の直動装置に用いられた直動案内装置1の斜視図、図3は、図2の直動案内装置1の断面図である。案内レール2の上面51と幅方向両側面52が交差する稜部には、断面略1/4円弧形状の凹溝からなる案内レール側上部転動体軌道面53が形成されている。また、案内レール2の幅方向両側面52の上下方向略中央部には、断面略半円形状の凹溝からなる案内レール側中央部転動体軌道面54が形成されている。また、スライダ本体3は、案内レール2の幅方向両側面52に対向して配置される2つの脚部55と、両脚部55を連結して案内レール2の上面51に対向する胴部56を有する。つまり、このスライダ本体3は、両脚部55の間に案内レール2を挟み且つ案内レール2の上方に胴部56を搭載するようにして案内レール2に跨架されている。
このスライダ本体3は、金属製のスライダ本体部57と、そのスライダ移動方向両端部に取付けられた樹脂製のエンドキャップ58を備えて構成される。更にエンドキャップ58のスライダ移動方向両端部には、案内レール2の外面に摺接してスライダ本体3との隙間を密閉するサイドシール59が取付けられている。また、スライダ本体3の脚部55の下端部に取付けられ、案内レール2の外面に摺接してスライダ本体3との隙間を密閉する図示しないアンダーシールが装着されることもある。これらサイドシール59やアンダーシールは、スライダ本体3の外面への異物の侵入を防止すると共に転動体4に供給される潤滑剤の外部への漏出を防止する。
スライダ本体部57の両脚部55には、内側面55aの角部及び上下方向略中央部に、案内レール2の案内レール側上部転動体軌道面53及び案内レール側中央部転動体軌道面54の夫々に対向する断面略半円形状のスライダ本体側上部転動体軌道面60及びスライダ本体側中央部転動体軌道面61が形成されている。そのため、案内レール側上部転動体軌道面53とスライダ本体側上部転動体軌道面60の間、並びに案内レール側中央部転動体軌道面54とスライダ本体側中央部転動体軌道面61の間の夫々に、上部及び中央部転動体転動通路62が形成される。この上部及び中央部転動体転動通路62内に複数の転動体4が転動自在に充填されており、この上部及び中央部転動体転動通路62内で転動体4が転動することにより、スライダ本体3が案内レール2に沿って滑らかに移動する。
スライダ本体部57の両脚部55には、その内部の上部及び下部に、上部及び中央部転動体転動通路62と平行な断面円形形状の上部及び下部戻し通路63が形成されている。また、エンドキャップ58のスライダ本体部当接面には、上部の転動体転動通路62と上部の戻し通路63、又は中央部の転動体転動通路62と下部の戻し通路63を夫々連通する図示しない方向転換路が形成されている。従って、上部及び下部戻し通路63と方向転換路によって、上部及び中央部転動体転動通路62の夫々に転動体循環路が形成され、これにより上部及び中央部転動体転動通路62内の転動体4は、スライダ本体3の内部に形成されている夫々の転動体循環路を経て循環される。
前述したスライダ本体3当たり2個のエンドキャップ58のうち、例えば図2に示す図示手前のエンドキャップ58には、スライダ本体部57の胴部56に相当する部分に取付穴(ねじ穴)が形成されており、この取付穴にグリースニップル8が取付けられて潤滑剤受給口9を形成している。このグリースニップル8は、取付穴にねじ込むねじ部と潤滑剤受給口9が直線上に配置されており、潤滑剤受給口9にはボール10が配置されている。このボール10は、例えば図4に示すように、スプリング11によって押圧されることで潤滑剤受給口9を閉塞しており、加圧された潤滑剤がボール10に供給されると、スプリング11が収縮して潤滑剤受給口9が開口し、潤滑剤受給口9内に潤滑剤が供給される。つまり、潤滑剤受給口9は、スライダ本体3の移動方向端部に形成されている。潤滑剤受給口9で受給した潤滑剤は、スライダ本体3内に形成されている潤滑剤供給路12(図3参照)を介して転動体4に供給される。潤滑剤供給路12の具体的な構成は、例えば特開平2015−145731号公報に記載されている。
この直動案内装置1のスライダ移動方向先方の予め設定された位置には、図1に示すように、内部に潤滑剤Gを貯留する潤滑剤タンク13が配置されている。この潤滑剤タンク13には、スライダ本体3の移動に伴ってスライダ本体3に設けられている潤滑剤受給口9が当接する潤滑剤供給口14が設けられている。スライダ本体3は、スライド部材5と共に、モータMによって案内レール2の配設方向(長手方向)に移動されるので、スライダ本体3の潤滑剤受給口9が潤滑剤タンク13の潤滑剤供給口14に当接した後もモータMによってスライダ本体3を移動させると、スライダ本体3の潤滑剤受給口9が潤滑剤タンク13の潤滑剤供給口14に押し付けられる。
図4は、この実施形態で、潤滑剤タンク13内の潤滑剤Gをスライダ本体3の潤滑剤受給口9に供給する潤滑剤供給機構の説明図である。この潤滑剤供給機構は、潤滑剤タンク13内の潤滑剤Gを加圧する加圧機構と、加圧機構で加圧された潤滑剤タンク13内の潤滑剤Gが潤滑剤供給口14から潤滑剤受給口9に供給されるように潤滑剤供給口14及び潤滑剤受給口9を開口する開口機構を備えて構成される。この実施形態では、潤滑剤タンク13内にあって、潤滑剤供給口14の後方(図示左方)にピストン機構15が配置されている。そのため、スライダ本体3の潤滑剤受給口9によって潤滑剤タンク13の潤滑剤供給口14が図示左方に押されると、潤滑剤供給口14と共にピストン機構15が後方(図示左方)に押されて潤滑剤タンク13内の潤滑剤Gが加圧される。スライダ本体3の潤滑剤受給口9は、ボール10とスプリング11からなるボールプランジャ式なので、加圧された潤滑剤Gが潤滑剤供給口14から供給されると、自動的に潤滑剤受給口9が開口する。従って、この実施形態の開口機構は、潤滑剤受給口9に配置されたボール10及びスプリング11で構成される。
図5には、本発明の直動案内装置の第2実施形態として、スライダ本体3に設けられた潤滑剤受給口9及び潤滑剤タンク13の一部断面正面図を示す。この実施形態の直動案内装置1は、図1に示す第1実施形態と同様の直動装置に用いられており、その構成は、図2、図3の直動案内装置1を含めて第1実施形態と同様である。そのため、同等の構成には同等の符号を付して、その詳細な説明を省略する。この実施形態の潤滑剤タンク13は、内部の潤滑剤GがポンプPによって常に加圧されている。即ち、この実施形態の加圧機構はポンプPである。
一方、この実施形態のスライダ本体3に設けられた潤滑剤受給口9の内部には、押圧ピン16が配置されている。この押圧ピン16は、潤滑剤受給口9内に配設された円板部材17の中央部から外部に向けて突設されている。また、円板部材17の周縁部には複数の貫通穴18が形成されている。なお、この実施形態の受給口は、閉塞機構を備えていないが、図示しない弁機構を設けて、内部から外部への潤滑剤Gの流出を防止するようにしてもよい。
また、潤滑剤供給口14が取付けられている潤滑剤供給口14内部の潤滑剤タンク13の壁部には、外内部を貫通する供給穴19が形成され、この供給穴19に弁部材20が差し込まれている。この弁部材20の後方(図示左方)には有底円筒形のスプリング保持部材21が開口部を潤滑剤タンク13の壁部に向けて取付けられている。そして、このスプリング保持部材21に保持されているスプリング22によって弁部材20は供給穴19に押し付けられている。また、スプリング保持部材21には、潤滑剤タンク13の内部と弁部材20を連通する複数の貫通穴23が形成されている。また、弁部材20には、潤滑剤供給口14の外部に向けて突出するピストンロッド24が取付けられている。
従って、この実施形態でも、スライダ本体3の潤滑剤受給口9が潤滑剤タンク13の潤滑剤供給口14に当接した後もモータMによってスライダ本体3を移動させると、スライダ本体3の潤滑剤受給口9が潤滑剤タンク13の潤滑剤供給口14に押し付けられる。このとき、図6に示すように、スライダ本体3の潤滑剤受給口9内に配設されている押圧ピン16で潤滑剤タンク13の潤滑剤供給口14内に配置されているピストンロッド24が後方(図示左方)に押圧される。これに伴って、ピストンロッド24に取付けられている弁部材20が後方(図示左方)に移動されて供給穴19が開口される。潤滑剤タンク13内の潤滑剤Gは、ポンプPによって加圧されているので、潤滑剤供給口14内の供給穴19が開口されると、スライダ本体3の潤滑剤受給口9に潤滑剤Gが供給される。従って、この実施形態の開口機構は、潤滑剤受給口9内の押圧ピン16、潤滑剤供給口14内の弁部材20及びピストンロッド24で構成される。
このように、この実施形態の直動案内装置1では、スライダ本体3の内部で循環する転動体4がスライダ本体3と案内レール2との間で転動することで、案内レール2に跨架されたスライダ本体3が案内レール2に沿って移動する。この場合、スライダ本体3内部の潤滑剤供給路12を介して転動体4に潤滑剤Gを供給するための潤滑剤受給口9をスライダ本体3の移動方向端部に設け、スライダ本体3の移動に伴って潤滑剤受給口9が当接する潤滑剤供給口14を有する潤滑剤タンク13をスライダ本体3の移動方向の予め設定された位置に配置する。そして、スライダ本体3の移動に伴って潤滑剤受給口9が潤滑剤供給口14に押し付けられると潤滑剤タンク13内の潤滑剤Gが潤滑剤供給口14から潤滑剤受給口9に供給される潤滑剤供給機構を設ける。これにより、スライダ本体3に自動給脂装置を取付けることなく、転動体4に潤滑剤Gを供給することができると共に、スライダ本体3の移動を阻害することも、スライダ本体3近傍のスペースの支障となることもない。
また、潤滑剤タンク13内の潤滑剤Gを加圧する加圧機構と、加圧機構で加圧された潤滑剤タンク13内の潤滑剤Gが潤滑剤供給口14から潤滑剤受給口9に供給されるように潤滑剤供給口14及び潤滑剤受給口9を開口する開口機構とで潤滑剤供給機構を構成する。これにより、スライダ本体3に自動給脂装置を取付けることなく、転動体4に潤滑剤Gを確実に供給することができる。
また、スライダ本体3の移動に伴って潤滑剤タンク13内の潤滑剤Gを加圧するピストン機構15で加圧機構を構成することにより、装置構成の簡略化やコストの低廉化が可能となる。
なお、前述の実施形態では、何れも案内レール2を水平方向に配設しているが、案内レール2の配設方向は水平方向に限らない。同様に、ボールねじ装置6のボールねじ軸7の配置方向の案内レール2の配設方向と平行に設定すれば、どのような方向にも設定することができる。
また、本発明の直動案内装置1は、工作機械における被加工物の移動・位置決めのみならず、直進運動する、あらゆる機構に適用可能である。
本発明がここに記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。従って、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に記載された発明特定事項によってのみ定められるものである。
1 直動案内装置
2 案内レール
3 スライダ本体
4 転動体
5 スライド部材
6 ボールねじ装置
7 ボールねじ軸
8 グリースニップル
9 潤滑剤受給口
10 ボール(開口機構、潤滑剤供給機構)
11 スプリング(開口機構、潤滑剤供給機構)
12 潤滑剤供給路
13 潤滑剤タンク
14 潤滑剤供給口
15 ピストン機構(加圧機構、潤滑剤供給機構)
16 押圧ピン(開口機構、潤滑剤供給機構)
17 円板部材
18 貫通穴
19 供給穴
20 弁部材(開口機構、潤滑剤供給機構)
21 スプリング保持部材
22 スプリング(開口機構、潤滑剤供給機構)
23 貫通穴
24 ピストンロッド
M モータ
G 潤滑剤
P ポンプ(加圧機構、潤滑剤供給機構)

Claims (3)

  1. 案内レールと、
    前記案内レールに沿って移動可能に前記案内レールに跨架されたスライダ本体と、
    前記スライダ本体の内部で循環しながら前記スライダ本体と前記案内レールとの間で転動する複数の転動体と、
    前記スライダ本体の移動方向端部に設けられ、前記スライダ本体内部の潤滑剤供給路を介して前記転動体に潤滑剤を供給するための潤滑剤受給口と、
    前記スライダ本体の移動に伴って前記潤滑剤受給口が当接する潤滑剤供給口を有し、前記スライダ本体の移動方向の予め設定された位置に配置されて前記潤滑剤を貯留する潤滑剤タンクと、
    前記スライダ本体の移動に伴って前記潤滑剤受給口が前記潤滑剤供給口に押し付けられると前記潤滑剤タンク内の潤滑剤が前記潤滑剤供給口から前記潤滑剤受給口に供給される潤滑剤供給機構と、
    を備えた直動案内装置。
  2. 前記潤滑剤供給機構は、
    前記潤滑剤タンク内の潤滑剤を加圧する加圧機構と、
    前記加圧機構で加圧された前記潤滑剤タンク内の潤滑剤が前記潤滑剤供給口から前記潤滑剤受給口に供給されるように前記潤滑剤供給口及び前記潤滑剤受給口を開口する開口機構と、
    を備えた請求項1に記載の直動案内装置。
  3. 前記加圧機構は、
    前記スライダ本体の移動に伴って前記潤滑剤タンク内の潤滑剤を加圧するピストン機構である請求項2に記載の直動案内装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109027649A (zh) * 2018-09-10 2018-12-18 安徽鹏展电子科技有限公司 一种激光切割机床用方便对导轨任意部位润滑装置
CN114962961A (zh) * 2022-05-25 2022-08-30 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体工艺设备及其驱动装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000230694A (ja) * 1999-02-10 2000-08-22 Amada Co Ltd 移動装置
JP2011012789A (ja) * 2009-07-03 2011-01-20 Tokyo Electron Ltd 直線案内装置及び基板搬送装置並びに基板処理装置
JP2015090172A (ja) * 2013-11-05 2015-05-11 ニッタ株式会社 リニアガイド装置
JP2015145731A (ja) * 2011-09-21 2015-08-13 日本精工株式会社 直動案内装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000230694A (ja) * 1999-02-10 2000-08-22 Amada Co Ltd 移動装置
JP2011012789A (ja) * 2009-07-03 2011-01-20 Tokyo Electron Ltd 直線案内装置及び基板搬送装置並びに基板処理装置
JP2015145731A (ja) * 2011-09-21 2015-08-13 日本精工株式会社 直動案内装置
JP2015090172A (ja) * 2013-11-05 2015-05-11 ニッタ株式会社 リニアガイド装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109027649A (zh) * 2018-09-10 2018-12-18 安徽鹏展电子科技有限公司 一种激光切割机床用方便对导轨任意部位润滑装置
CN114962961A (zh) * 2022-05-25 2022-08-30 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体工艺设备及其驱动装置

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