JP2017139518A - 半導体装置および送信器 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 44
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 39
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 13
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 34
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 230000008859 change Effects 0.000 description 9
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 4
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 4
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002076 thermal analysis method Methods 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
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- H01L23/58—Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for, e.g. in combination with batteries
- H01L23/64—Impedance arrangements
- H01L23/645—Inductive arrangements
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- H01L23/64—Impedance arrangements
- H01L23/66—High-frequency adaptations
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- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/06—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration
- H01L27/0605—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a non-repetitive configuration integrated circuits made of compound material, e.g. AIIIBV
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
- H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
- H01L29/2003—Nitride compounds
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- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
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- H01L29/41725—Source or drain electrodes for field effect devices
- H01L29/41758—Source or drain electrodes for field effect devices for lateral devices with structured layout for source or drain region, i.e. the source or drain region having cellular, interdigitated or ring structure or being curved or angular
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- H01L2223/6605—High-frequency electrical connections
- H01L2223/6611—Wire connections
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- H01L2223/6655—Matching arrangements, e.g. arrangement of inductive and capacitive components
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- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
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Abstract
【課題】高周波で利得および効率が低下しない増幅器を有する半導体装置の実現。【解決手段】半導体基板100と、半導体基板上に形成された増幅器と、を有し、増幅器は、半導体基板の活性領域の表面に櫛歯状に配置された複数のゲートフィンガー電極Gと、複数のゲートフィンガー電極の両端をそれぞれ共通に接続する2つのゲート接続電極11A,11Bと、複数のゲートフィンガー電極の間の半導体基板の表面に交互に配置された複数のソース電極Sおよび複数のドレイン電極Dと、複数のドレイン電極を順に接続する複数のドレイン接続素子21と、を有し、各ドレイン接続素子のインダクタンス値の、対応するドレイン電極とソース電極間のドレイン−ソース電極間の寄生容量に対する比は、一定である半導体装置。【選択図】図3
Description
本発明は、半導体装置および送信器に関する。
パワー増幅器(アンプ)は信号を増幅する働きをしており、特に高周波パワーアンプは、無線通信機およびレーダ装置の送信部に用いられる。電波の到達距離を延ばすためには送信電力を大きくしなければならない。パワーアンプ(トランジスタ)の出力電力は、トランジスタの物性によってきまるものであり、近年では窒化ガリウム(GaN) HEMTなどを用いることにより出力電力を高めている。
1個のトランジスタの出力電力は、トランジスタのゲート幅に比例することが知られている。使用するトランジスタの種類や物性が決まっているとすると、出力電力を高めるためには、トランジスタのゲート幅を増やす必要がある。しかし、トランジスタのゲート幅は大きくするとゲート抵抗が増え、高周波領域では利得の低下が顕著となる。そのため、ゲート幅はあまり長くすることができず、トランジスタのゲート幅を長くして出力電力を増加させるには限界がある。
そこで、半導体基板上に複数のトランジスタを形成し、複数のトランジスタに同じ信号を入力し、その出力を結合することで大きな出力電力を得ることが行われる。これは、複数のトランジスタのゲート幅を合わせることにより、総ゲート幅を増加させるといえる。この場合、増幅器の出力電力は、トランジスタ1個あたりの出力電力とトランジスタ数の積を上限とし、結合時の損失(ロス)分を減じた値になる。
総ゲート幅を増加させるために、複数のトランジスタを配列する場合、ゲート電極の伸びる方向(X方向)に垂直な方向(Y方向)に、ゲート電極を櫛歯状に複数配置することが行われる。櫛歯状に多数配置したゲート電極は、ゲートフィンガーと称される。さらにゲート電極の伸びる方向(X方向)に、ゲートフィンガーを複数列配置することも行われる。言い換えれば、複数のトランジスタを二次元的に配置する。このような配置を行うため、大きなトランジスタ領域が必要であり、チップのY方向のサイズは、ゲートフィンガーのピッチと本数の積で決められる。チップのX方向のサイズは、ゲート幅に配線および分離領域の幅を加えた長さとゲートフィンガーの列数の積で決められる。
さらに、チップ領域を一定に保ったまま、トランジスタの総ゲート幅を増やすためには、トランジスタの密度を増加させることが考えられる。しかし、トランジスタの密度を高めると、トランジスタから発する熱がこもり、チップの温度が上昇する。この温度により、増幅利得が低下するという課題が生ずる。
"Thermal Analysis of GaN Devices" Charles Suckling and Deena Nguyen, Arms RF and Microwave Society, 2012 Conference
上記の二次元配置を行う場合、ゲート電極、ソース電極およびドレイン電極は、半導体基板(チップ)の内側領域に二次元的に配置され、半導体基板(チップ)の周囲に設けられたパッドに配線によりそれぞれ接続される。このため、半導体基板の内側領域に多数のトランジスタを配置できる。ただし、基板内の配線にドレイン端子などが接続されているため、それに付随して寄生容量が生成され、高周波においては利得が下がってしまうという課題があった。高周波で利得が低下すると出力電力が下がり、電力効率が低下してしまう。
実施形態によれば、高周波で利得および効率が低下しない増幅器を有する半導体装置が実現される。
第1の態様の半導体装置は、半導体基板と、半導体基板上に形成された増幅器と、を有する。増幅器は、複数のゲートフィンガー電極と、2つのゲート接続電極と、複数のソース電極および複数のドレイン電極と、複数のドレイン接続素子と、を有する。複数のゲートフィンガー電極は、半導体基板の活性領域の表面に櫛歯状に配置される。2つのゲート接続電極は、複数のゲートフィンガー電極の両端をそれぞれ共通に接続する。複数のソース電極および複数のドレイン電極は、複数のゲートフィンガー電極の間の半導体基板の表面に交互に配置される。複数のドレイン接続素子は、複数のドレイン電極を順に接続する。各ドレイン接続素子のインダクタンス値の、対応するドレイン電極とソース電極間のドレイン−ソース電極間の寄生容量に対する比は、一定である。
実施形態によれば、高周波での利得および効率を低下させること無しに、増幅器の出力電力を高くできる。
実施形態を説明する前に、高周波用の高出力増幅器を有する半導体装置について説明する。
高周波信号を出力する無線通信機およびレーダ装置の送信部は、高出力増幅器(パワーアンプ)を含む半導体装置を有し、送信電力を大きくすることが求められている。上記のパワーアンプは、トランジスタにより実現されるのが一般的である。トランジスタの出力電力は、トランジスタの物性によってきまるものであり、近年では窒化ガリウム(GaN) HEMTなどを用いることにより出力を高めている。使用するトランジスタの種類や物性が決まっているとすると、出力電力を高めるためには、トランジスタのゲート幅を増やす必要がある。
高周波信号を出力する無線通信機およびレーダ装置の送信部は、高出力増幅器(パワーアンプ)を含む半導体装置を有し、送信電力を大きくすることが求められている。上記のパワーアンプは、トランジスタにより実現されるのが一般的である。トランジスタの出力電力は、トランジスタの物性によってきまるものであり、近年では窒化ガリウム(GaN) HEMTなどを用いることにより出力を高めている。使用するトランジスタの種類や物性が決まっているとすると、出力電力を高めるためには、トランジスタのゲート幅を増やす必要がある。
トランジスタの出力電力はゲート幅に比例するが、トランジスタでゲート幅を大きくするとゲート抵抗が増え、高周波領域では利得の低下が顕著となる。そのため、ゲート幅はあまり長くすることができず、ゲート幅自体を長くする方法には限界がある。
そこで、半導体基板上に複数のトランジスタを形成し、複数のトランジスタに同じ信号を入力し、その出力を結合することで大きな出力電力を得ることが行われる。半導体基板上に複数のトランジスタを形成し、複数のトランジスタに同じ信号を入力し、その出力を結合することで大きな出力電力を得ることが行われる。これは、複数のトランジスタのゲート幅を合わせることにより、総ゲート幅を増加させることに相当する。この場合、増幅器の出力電力は、トランジスタ1個あたりの出力電力とトランジスタ数の積を上限とし、結合時の損失(ロス)分を減じた値になる。
図1は、複数のトランジスタの配列例を示す図であり、(A)がレイアウトを示し、(B)が等価回路を示す。
複数のトランジスタを配列する場合、図1の(A)に示すように、ゲート電極Gの伸びる方向(X方向)に垂直な方向(Y方向)に、ゲート電極を櫛歯状に複数配置する。櫛歯状に多数配置したゲート電極は、ゲートフィンガーと称される。一部拡大して示すように、ゲート電極Gは、半導体基板の活性領域の表面に配置され、ゲート電極Gの配置される活性領域(チャネル領域)の両側にはソースおよびドレインに対応する第1および第2の導電性領域が設けられる。第1および第2の導電性領域の上にはソース電極Sおよびドレイン電極Dが配置される。1組のゲート電極G、ソース電極Sおよびドレイン電極Dを含む領域が1個のトランジスタに相当し、図1の(A)では複数のトランジスタが形成される。なお、後述するように、ソース電極Sおよびドレイン電極Dの両側にはそれぞれゲート電極が配置され、両端部を除いて、1個のソース電極Sおよび1個のドレイン電極Dは、2個のトランジスタのソース電極Sおよびドレイン電極として機能する。
複数のトランジスタを配列する場合、図1の(A)に示すように、ゲート電極Gの伸びる方向(X方向)に垂直な方向(Y方向)に、ゲート電極を櫛歯状に複数配置する。櫛歯状に多数配置したゲート電極は、ゲートフィンガーと称される。一部拡大して示すように、ゲート電極Gは、半導体基板の活性領域の表面に配置され、ゲート電極Gの配置される活性領域(チャネル領域)の両側にはソースおよびドレインに対応する第1および第2の導電性領域が設けられる。第1および第2の導電性領域の上にはソース電極Sおよびドレイン電極Dが配置される。1組のゲート電極G、ソース電極Sおよびドレイン電極Dを含む領域が1個のトランジスタに相当し、図1の(A)では複数のトランジスタが形成される。なお、後述するように、ソース電極Sおよびドレイン電極Dの両側にはそれぞれゲート電極が配置され、両端部を除いて、1個のソース電極Sおよび1個のドレイン電極Dは、2個のトランジスタのソース電極Sおよびドレイン電極として機能する。
複数のトランジスタのゲート電極Gおよびドレイン電極Dは、図示していない接続電極によりそれぞれ共通に接続され、それぞれの接続電極は、半導体基板(チップ)の周辺部に設けられたパッドに接続される。例えば、複数のゲート電極Gは、図の左側に設けたゲート接続電極に共通に接続され、ゲート接続電極は増幅器の入力端子となる。複数のドレイン電極Dは、図の右側に設けたドレイン接続電極に共通に接続され、ドレイン接続電極は増幅器の出力端子となる。ソース電極Sは、例えば、下側に設けたソース接続電極に共通に接続され、ソース接続電極は接地されるソース端子となる。なお、ソース接続電極をゲート接続電極またはドレイン接続電極と並行に設け、他の電極を跨ぐように接続する場合もある。
このように接続した複数のトランジスタは、図1の(B)に示す等価回路を有し、ソース端子は接地され、ゲート端子には信号が入力され、ドレイン端子から信号が出力される。
図1の(A)において、Wは各トランジスタのゲート幅(ユニットゲート幅)を示す。前述のように、トランジスタでゲート幅を大きくするとゲート抵抗が増え、高周波領域では利得の低下が顕著となるため、ユニットゲート幅Wには限界がある。
図1の(A)および(B)に示すように、ゲートフィンガーを多数配置することにより総ゲート幅が増加するが、このような配置を行うため、大きなトランジスタ領域が必要であり、チップのY方向の長さは、ゲートフィンガーのピッチと本数の積で決められる。そのため、Y方向の長さが制限されるとそれに応じてゲートフィンガーの本数、すなわち総ゲート幅も制限される。
ここで、チップ領域のY方向の長さを一定に保ったまま、トランジスタの総ゲート幅を増加させるために、トランジスタの密度を増加させたレイアウトが考えられる。しかし、トランジスタの密度を高めると、トランジスタから発する熱がこもり、チップの温度が上昇する。この温度により、増幅利得が低下するという問題が生ずる。
図2は、基板厚で規格化したトランジスタのゲートフィンガー間隔(ピッチ)に対するチップの熱抵抗の変化を示す。トランジスタ間隔を狭めるに従って熱抵抗が上昇し、高温になることを示している。なお、図2で使用した熱抵抗の値は、非特許文献1に記載されたものである。
チップ領域に配置するトランジスタ数を更に増加するため、ゲート電極の伸びる方向(X方向)に、ゲートフィンガーを複数列配置することも行われる。言い換えれば、複数のトランジスタを二次元的に配置する。この場合、チップのX方向のサイズは、ユニットゲート幅に配線およびアイソレーション領域の幅を加えた長さとゲートフィンガーの列数の積で決められる。
上記の二次元配置では、チップ領域に多数のトランジスタを配置でき、トランジスタのゲート電極、ソース電極およびドレイン電極はチップ領域の周辺部のパッドにそれぞれの接続電極(接続配線)により接続される。しかし、半導体基板上の配線によりドレイン電極などが接続されているため、付随して寄生容量が生じる。そのため、トランジスタのドレイン電極を接続する信号経路で、ドレイン−ソース間の寄生容量により、高周波においては利得が下がってしまう。高周波で利得が低下すると出力電力が下がり、電力効率が低下してしまう。
以下に説明する実施形態では、多数のトランジスタを有することにより出力電力を高め、高周波での利得および効率の低下が少ない高周波パワーアンプを有する半導体装置が開示される。
図3は、第1実施形態の高周波パワーアンプの構成を示す図であり、(A)が回路図を示し、(B)がレイアウトの一部を示す。
図3の(A)に示すように、第1実施形態の高周波パワーアンプは、二次元配置された複数のトランジスタQ101−Q10NおよびQ201−Q20Nを有する。図3の(A)における垂直方向が各トランジスタのゲート電極の伸びる方向(X方向)であり、水平方向がX方向に垂直なY方向である。Y方向に配列される複数のトランジスタQ101およびQ201の複数のゲートフィンガーが、ゲートフィンガー列をなす。X方向には複数のゲートフィンガー列が並列に配置される。なお、ここでは図示を容易にするためにゲートフィンガー列が2本のゲートフィンガーを有する例を示すが、実際には3本以上のゲートフィンガーを有するものとして説明する。
図3の(A)に示すように、第1実施形態の高周波パワーアンプは、二次元配置された複数のトランジスタQ101−Q10NおよびQ201−Q20Nを有する。図3の(A)における垂直方向が各トランジスタのゲート電極の伸びる方向(X方向)であり、水平方向がX方向に垂直なY方向である。Y方向に配列される複数のトランジスタQ101およびQ201の複数のゲートフィンガーが、ゲートフィンガー列をなす。X方向には複数のゲートフィンガー列が並列に配置される。なお、ここでは図示を容易にするためにゲートフィンガー列が2本のゲートフィンガーを有する例を示すが、実際には3本以上のゲートフィンガーを有するものとして説明する。
Y方向に隣接するトランジスタQ101とQ201の配列ピッチ、すなわちQ101とQ201のゲートフィンガーの間隔は、半導体基板の厚さの0.4から2倍程度とする。
図3の(A)に示すように、複数のトランジスタのソース端子(電極)は、ビアを介して基板側に設けたソース接続電極に共通に接続されて接地される。以下、ソース接続電極はビアを介して基板側に設けたソース接続電極に共通に接続されるものとして説明し、ソース接続電極の図示を省略する。なお、他の形でソース接続電極を設けることも可能である。Y方向に配列された複数のトランジスタのゲート端子(電極)は共通に接続され、さらに各列の左端の複数のトランジスタのゲート端子(電極)は共通に接続される。Y方向に配列された複数のトランジスタのドレイン端子は、隣接するトランジスタのドレイン端子間がインダクタンス素子(インダクタ)L101−L10NおよびL201−L20Nを介して順に接続され、さらに各列の右端の複数のトランジスタのドレイン端子は共通に接続される。
図3の(B)は、第1実施形態におけるY方向の1列のトランジスタ列のレイアウトの一部を示す。ゲート電極Gが設けられる半導体基板の活性領域の両側に第1および第2の導電性領域が交互に設けられ、その上にソース電極Sおよびドレイン電極Dが設けられる。トランジスタは、1つのゲート電極と、その両側のソース電極およびドレイン電極が形成される領域に形成される。したがって、ソース電極Sおよびドレイン電極Dは、隣接する2個のトランジスタのソース電極およびドレイン電極として機能し、図3の(B)では3個のトランジスタが示されている。
図3の(B)において、ゲート電極、ソース電極およびドレイン電極の列の上側に第1のゲート接続電極11Aが、下側に第2のゲート接続電極11Bが設けられる。複数のゲート電極Gは、第1のゲート接続電極11Aおよび第2のゲート接続電極11Bに接続される。隣接するドレイン電極Dは、インダクタを含む配線21で接続される。前述のように、ソース電極は下側のソース接続電極に接続されるので、図示していない。図3の(B)のレイアウトは、Y方向のトランジスタ数分に対応する長さを有し、X方向に配列された複数のトランジスタ列分だけ同じレイアウトが配置される。前述のように、複数組の第1のゲート接続電極11Aおよび第2のゲート接続電極11Bは、左端で共通に接続され、図示していない周辺部の入力信号パッドに接続される。各列の左端のドレイン電極は、インダクタを含む配線21を介して共通に接続され、図示していない周辺部の出力信号パッドに接続される。
したがって、正確には2個のトランジスタのドレイン電極は共通で、2個のトランジスタのドレイン電極が、隣接する2個のトランジスタのドレイン電極にインダクタを含む配線21を介して接続される。これは、図3の(A)の各トランジスタは、2個のトランジスタを合わせて示しているとみなせることを意味する。
隣接するドレイン電極Dを接続するドレイン接続電極のインダクタのインダクタンス値Lは、下記の式(1)および(2)を満たし、トランジスタのドレインーソース電極間の寄生容量Cdsとの比が一定となるように設定する。これにより、インダクタおよび寄生容量から構成されるL−C線路の特性インピーダンスZ0が一定となり、遮断周波数fcまで動作することが可能となる。実用上は特性インピーダンスが20Ω〜100Ω程度に設定することが望ましい。
Z0=(L/Cds)1/2 : 一定 (1)
fc=1/(2π(L/Cds)1/2) (2)
fc=1/(2π(L/Cds)1/2) (2)
ドレイン電極間を接続するインダクタを含む接続電極(配線)は、ワイヤボンディング、配線のエアブリッジ、多層配線で形成するスパイラルインダクタにより形成する。
図4は、第1実施形態の高周波パワーアンプの最大有能利得の周波数特性の測定結果を示す図であり、(A)は比較例である図1の場合のレイアウトを示し、(B)は最大有能利得の周波数特性を示す。図4の(B)では、横軸が周波数を、縦軸が最大有能利得(dB)を示し、実線が第1実施形態の高周波パワーアンプの特性を、点線が比較例の特性を示す。この特性を測定した第1実施形態および比較例の高周波パワーアンプは、6本のゲートフィンガーを有し、すなわち12個のトランジスタを有し、ユニットゲート幅が320μmのものである。
最大有能利得は、トランジスタの入力および出力部分が完全に整合したときに得られる利得を表している。第1実施形態の高周波パワーアンプは、比較例に比べて、高い周波数まで高い利得を有する。第1実施形態では、ゲートフィンガーの両端は第1および第2ゲート接続電極11Aおよび11Bに接続しており、等価的なゲート抵抗は比較例の1/2になっている。このため高周波での利得を高めることが可能である。
図5は、第1実施形態の高周波パワーアンプの最大有能利得の周波数特性の測定結果を示す図であり、(A)は比較例である高周波パワーアンプのレイアウトを示し、(B)は最大有能利得の周波数特性を示す。図5の(B)の表示は、図4の(B)の表示と同じである。
図5の(A)に示すように、この比較例では、ゲート電極G(ゲートフィンガー)の両端は第1および第2ゲート接続電極3Aおよび3Bに接続しており、等価的なゲート抵抗は比較例の1/2になっている。これは、第1実施形態と同じである。ドレイン電極は、第2ゲート接続電極3Bの下辺に平行に設けられたドレイン接続電極4に、第2ゲート接続電極3Bを跨いで接続される。なお、第2ゲート接続電極3Bがドレイン電極4を跨ぐようにしてもよい。言い換えれば、第1実施形態では、隣接するトランジスタのドレイン端子間にインダクタンス素子(インダクタ)を接続して順に接続されていたのに対して、図5の(A)の比較例では、所定のインダクタンス値のインダクタを介さずに接続されていることが異なる。
この特性を測定した第1実施形態および比較例の高周波パワーアンプは、15本のゲートフィンガーを有し、すなわち29個のGaN HEMTトランジスタを有し、ユニットゲート幅が320μmである。さらに、第1実施形態では、ドレインーソース間容量とのL−C回路の特性インピーダンスが25Ωとなるように、インダクタを30pHとした。
図5の(B)に示すように、比較例は、ドレインーゲート間の容量が寄生しているため、低周波から高周波にかけて、第1実施形態の特性と比較して利得が低い。
図6は、第1実施形態の高周波パワーアンプと図5の(A)のレイアウトの比較例の電力効率を示す図であり、実線が第1実施形態の高周波パワーアンプの特性を、点線が比較例の特性を示す。第1実施形態のように、インダクタ(この例でも30pH)を設けることにより、電力効率が10ポイント程度向上する。
図7は、図2のトランジスタ間隔(ピッチ)/基板厚(Lgg/h)に対するチップの熱抵抗の変化を示すグラフに、配置されるトランジスタサイズを表すグラフを追加した図である。破線が熱抵抗の変化を、点線がトランジスタサイズを表す。図7は、総ゲート幅を1mm、ユニットゲート幅100μm(ゲートフィンガー列10本)と仮定した場合の値である。トランジスタ間隔が小さい場合は前述のように熱抵抗が高く、温度上昇が大きい。間隔を広げた場合は配置されるトランジスタに必要な領域が広くなる。このことから、トランジスタ間隔/基板厚が0.4倍から2倍程度が望ましいことが分かる。このようなトランジスタ間隔はインダクタを形成する上でも有利である。ワイヤボンディングによるインダクタは1mmあたり0.75nH〜1.2nH程度である。基板厚を100μmと仮定すると、トランジスタ間隔が0.4倍となるのは30pH〜48pH程度となり、よい効果が得られる。
図8は、図7において、トランジスタサイズを表すグラフの代わりに、トランジスタ間隔に対するインダクタのインダクタンス値LとCdsから計算した特性インピーダンスを示すグラフを加えた図である。図8では、第2の縦軸(右側の縦軸)に、特性インピーダンスのメモリを示す。図8では、Cdsを60fFとしている。基板厚に対するトランジスタ間隔が0.4−2倍の範囲では特性インピーダンスが20-50Ω程度であり、実用的な範囲である。
図9は、第2実施形態の高周波パワーアンプのレイアウト構成を示す図であり、上面図および2方向の断面図を示す。
第2実施形態の高周波パワーアンプは、第1実施形態の高周波パワーアンプにおいて、ドレイン電極D間を接続するインダクタを含む接続電極(配線)を、エアブリッジで実現した2次元配列の複数のGaN HEMTトランジスタを含む。複数のGaN HEMTトランジスタは、厚さ0.1mmの半導体基板100上に形成される。
図示のように、1列のゲートフィンガーに対応するトランジスタ列は、0.05mmピッチで配列された長さ0.3mmのゲート電極Gと、ゲート電極Gの両側に交互に配置された幅0.035mmのソース電極Sおよびドレイン電極Dと、を有する。ゲート電極Gは、半導体基板100の表面の活性領域上に配置される。ソース電極Sおよびドレイン電極Dは、半導体基板100の表面に形成された第1および第2導電性領域上に配置される。ここでは、1列のゲートフィンガーに対応するトランジスタ列は、6本のゲート電極(ゲートフィンガー)と、4本のソース電極と、3本のドレイン電極を有する。したがって、1列のゲートフィンガーに対応するトランジスタ列は、6個のトランジスタを有する。2列のゲートフィンガー列が設けられるので、合計12個のトランジスタを有する。
配列されたゲート電極G、ソース電極Sおよびドレイン電極Dの両端(図では上下部分)には、第1のゲート接続電極131A;231Aおよび第2のゲート接続電極131B;231Bが配置され、ゲート電極Gと接続される。第1のゲート接続電極131Aと第2のゲート接続電極131Bは、左側で1本のゲート接続電極131に接続される。同様に、第1のゲート接続電極231Aと第2のゲート接続電極231Bは、左側で1本のゲート接続電極231に接続される。図示していないが、ゲート接続電極131と231は、さらに半導体基板100の周辺部に設けられた入力信号端子のパッドに接続される。
隣接するドレイン電極Dは、高さ0.01mmのエアブリッジ40により接続される。中心間距離が0.1mmで、高さが0.01mmのエアブリッジ40のインダクタンス値は、約30pHである。右端のドレイン電極Dは、エアブリッジ40によりドレイン引出電極DXに接続される。図9では、1列目のエアブリッジ40およびドレイン引出電極DXはドレイン配線140で、2列目のエアブリッジ40およびドレイン引出電極DXはドレイン配線240で示される。図示していないが、ドレイン配線140とドレイン配線240は、さらに半導体基板100の周辺部に設けられた出力信号端子のパッドに接続される。エアブリッジ40の高さは0.01mmである。
図10は、第2実施形態の高周波パワーアンプの1列のゲートフィンガーによるトランジスタ列の等価回路を示す図である。
6本のゲートフィンガーに対応する6個のトランジスタQ1−Q6は、隣接する2個のトランジスタがドレイン電極を共有する。したがって、1番目と2番目のトランジスタQ1とQ2のドレイン(電極)は、共通であり、3番目と4番目のトランジスタQ3とQ4の共通のドレイン(電極)に、インダクタL1(30pH)を介して接続される。同様に、3番目と4番目のトランジスタQ3とQ4の共通のドレイン(電極)は、5番目と6番目のトランジスタQ5とQ6の共通のドレイン(電極)に、インダクタL2(30pH)を介して接続される。さらに、5番目と6番目のトランジスタQ5とQ6の共通のドレイン(電極)は、ドレイン引出電極DXに、インダクタL3(30pH)を介して接続される。ドレイン引出電極DXは、出力信号端子のパッドに接続される。6個のトランジスタQ1−Q6のゲートは、入力信号端子のパッドに共通に接続される。
6本のゲートフィンガーに対応する6個のトランジスタQ1−Q6は、隣接する2個のトランジスタがドレイン電極を共有する。したがって、1番目と2番目のトランジスタQ1とQ2のドレイン(電極)は、共通であり、3番目と4番目のトランジスタQ3とQ4の共通のドレイン(電極)に、インダクタL1(30pH)を介して接続される。同様に、3番目と4番目のトランジスタQ3とQ4の共通のドレイン(電極)は、5番目と6番目のトランジスタQ5とQ6の共通のドレイン(電極)に、インダクタL2(30pH)を介して接続される。さらに、5番目と6番目のトランジスタQ5とQ6の共通のドレイン(電極)は、ドレイン引出電極DXに、インダクタL3(30pH)を介して接続される。ドレイン引出電極DXは、出力信号端子のパッドに接続される。6個のトランジスタQ1−Q6のゲートは、入力信号端子のパッドに共通に接続される。
図10に示すように、この構成例では、1個のトランジスタQ1では、相互コンダクタンスgm=30ms、ゲート−ソース容量Cgs=700fF、ドレイン−ソース容量Cds=150fF、ゲート−ドレイン容量Cgd=20fF、ドレイン−ソース抵抗Rds=2800Ω、ゲート抵抗Rg=5Ωである。
シミュレーションによる第2実施形態の最大有能利得の周波数特性は、図15の(A)に示すグラフのようになった。
図11は、第3実施形態の高周波パワーアンプにおける1列のゲートフィンガーに対応するトランジスタ列のレイアウト例を示す図であり、(A)が概略レイアウトを、(B)が具体的なレイアウト構成を示す。
図11の(A)に示すように、第3実施形態の高周波パワーアンプは、図3の(B)に示した第1実施形態に類似したレイアウトを有するが、第1および第2のゲート接続電極11Aおよび11Bが斜めで、入力側の間隔が出力側に比べて広いことが異なる。これに応じて、配列されたソース電極S、ゲート電極Gおよびドレイン電極Dの幅は、入力側が広く、出力側が狭い。
前述の式(1)の関係を保つ限りにおいて、トランジスタ配列のレイアウトを図11の(A)のように変形することができる。第3実施形態では、入力側から出力側に行くにしたがって寄生容量であるドレイン−ソース容量Cdsが小さくなるので、この変化に合わせてドレイン電極Dを接続するエアブリッジ(インダクタ)のインダクタンス値を小さくし、式(1)を満たすようにしている。
第3実施形態の高周波パワーアンプは、図9に示した第2実施形態の高周波パワーアンプと類似のレイアウトを有するが、ゲートフィンガー列に対応するトランジスタ列が、図11の(B)に示すレイアウトを有することが異なり、他は同じである。
図11の(B)に示すように、第3実施形態のゲートフィンガー列に対応するトランジスタ列において、ソース電極S、ゲート電極G、ドレイン電極およびドレイン引出電極DXの信号の進行方向(図で左から右)における配置は、第2実施形態と同じである。しかし、ソース電極S、ゲート電極Gおよびドレイン電極の幅が、左端(入力側)から右端(出力側)に進むにしたがって段階的に短くなる。具体的には、左端(入力側)のソース電極Sの幅は0.45mmであり、右端(出力側)のソース電極Sの幅は0.15mmであり、その間のゲート電極G、ドレイン電極およびソース電極Sの幅は、この変化に応じて変化する。さらに、この変化に応じて、第1のゲート接続電極132Aおよび第2のゲート接続電極132Bは信号の進行方向に対して斜めに配置される。
さらに、1番目と2番目のドレイン電極Dを接続するエアブリッジ41は、高さが0.0125mmであり、そのインダクタンス値は、約45pHである。2番目と3番目のドレイン電極Dを接続するエアブリッジ41は、高さが0.01mmであり、そのインダクタンス値は、約30pHである。3番目のドレイン電極Dとドレイン引出電極DXを接続するエアブリッジ41は、高さが0.0075mmであり、そのインダクタンス値は、約20pHである。
図12は、第3実施形態の高周波パワーアンプの1列のゲートフィンガーによるトランジスタ列の等価回路を示す図である。
6本のゲートフィンガーに対応する6個のトランジスタQ11−Q16のドレインは、3番目と4番目のトランジスタ1Q3とQ14のドレインに、インダクタL11(45pH)を介して接続される。同様に、3番目と4番目のトランジスタQ13とQ14のドレインは、5番目と6番目のトランジスタQ15とQ16のドレインに、インダクタL12(30pH)を介して接続される。さらに、5番目と6番目のトランジスタQ15とQ16のドレインは、ドレイン引出電極DXに、インダクタL13(20pH)を介して接続される。
6本のゲートフィンガーに対応する6個のトランジスタQ11−Q16のドレインは、3番目と4番目のトランジスタ1Q3とQ14のドレインに、インダクタL11(45pH)を介して接続される。同様に、3番目と4番目のトランジスタQ13とQ14のドレインは、5番目と6番目のトランジスタQ15とQ16のドレインに、インダクタL12(30pH)を介して接続される。さらに、5番目と6番目のトランジスタQ15とQ16のドレインは、ドレイン引出電極DXに、インダクタL13(20pH)を介して接続される。
トランジスタQ11は、ゲート幅Wg=0.45mmで、相互コンダクタンスgm=45ms、ゲート−ソース容量Cgs=1050fF、ドレイン−ソース容量Cds=225fF、ゲート−ドレイン容量Cgd=30fF、ドレイン−ソース抵抗Rds=1866Ω、ゲート抵抗Rg=7.5Ωである。トランジスタQ13は、ゲート幅Wg=0.3mmで、相互コンダクタンスgm=30ms、ゲート−ソース容量Cgs=700fF、ドレイン−ソース容量Cds=150fF、ゲート−ドレイン容量Cgd=20fF、ドレイン−ソース抵抗Rds=2800Ω、ゲート抵抗Rg=5Ωである。トランジスタQ15は、ゲート幅Wg=0.2mmで、相互コンダクタンスgm=20ms、ゲート−ソース容量Cgs=466fF、ドレイン−ソース容量Cds=100fF、ゲート−ドレイン容量Cgd=13fF、ドレイン−ソース抵抗Rds=4200Ω、ゲート抵抗Rg=3Ωである。他のトランジスタQ12、Q14およびQ16の特性は、隣接するトランジスタの特性が線形に変化するものとして得られる。
シミュレーションによる第3実施形態の最大有能利得の周波数特性は、図15の(B)に示すグラフのようになった。
ここで、第2および第3実施形態の高周波パワーアンプの性能を、これまでの一般的な構成例を有する高周波パワーアンプの性能と比較した。
図13は、第1の比較例の高周波パワーアンプにおける1列のゲートフィンガーに対応するトランジスタ列の構成を示す図であり、(A)がレイアウトを、(B)が等価回路を示す。
図13は、第1の比較例の高周波パワーアンプにおける1列のゲートフィンガーに対応するトランジスタ列の構成を示す図であり、(A)がレイアウトを、(B)が等価回路を示す。
図13の(A)に示すように、第1の比較例の高周波パワーアンプは、図9に示した第2実施形態に類似したレイアウトを有するが、ドレイン電極Dが、エアブリッジではなく、平面状の配線42(142)で接続されていることが異なる。他の部分は、第2実施形態と同じである。したがって、ドレイン電極D間を接続する配線のインダクタンス値は小さく、図13の(B)に示すように、インダクタが設けられないことになる。そのため、前述の式(1)の関係を満たさない。
トランジスタQ21は、相互コンダクタンスgm=30ms、ゲート−ソース容量Cgs=700fF、ドレイン−ソース容量Cds=230fF、ゲート−ドレイン容量Cgd=25fF、ドレイン−ソース抵抗Rds=2800Ω、ゲート抵抗Rg=5Ωである。他のトランジスタQ22−26も同じ特性を有する。したがって、第1の比較例では、第2実施形態に比べて、ドレイン−ソース容量Cdsが150fFから230fFに増加している。
シミュレーションによる第1の比較例の最大有能利得の周波数特性は、図15の(C)に示すグラフのようになった。
図14は、第2の比較例の高周波パワーアンプにおける1列のゲートフィンガーに対応するトランジスタ列の構成を示す図であり、(A)がレイアウトを、(B)が等価回路を示す。
図14の(A)に示すように、第2の比較例の高周波パワーアンプは、図1および図4の(A)に示した一般的なレイアウトを有し、配列されたソース電極S、ゲート電極Gおよびドレイン電極の一方の端にのみゲート接続電極134が設けられる。なお、ドレイン接続電極は、図13の(A)に示す配列されたソース電極Sおよびゲート電極Gを跨ぐ平面状の配線でも、図4の(A)に示すゲート接続電極134と反対側に設けた電極でもよい。第2の比較例でも、ドレイン電極D間を接続する配線のインダクタンス値は小さく、図14の(B)に示すように、インダクタが設けられないことになる。そのため、前述の式(1)の関係を満たさない。
トランジスタQ31は、相互コンダクタンスgm=47ms、ゲート−ソース容量Cgs=610fF、ドレイン−ソース容量Cds=150fF、ゲート−ドレイン容量Cgd=30fF、ドレイン−ソース抵抗Rds=2500Ω、ゲート抵抗Rg=10Ωである。他のトランジスタQ32−36も同じ特性を有する。したがって、第2の比較例では、第2実施形態に比べて、ゲート抵抗Rgが5Ωから10Ωに増加している。
シミュレーションによる第2の比較例の最大有能利得の周波数特性は、図15の(D)に示すグラフのようになった。
上記のように、図15の(A)から(D)は、第2実施形態、第3実施形態、第1の比較例および第2の比較例の高周波パワーアンプにおける最大有能利得の周波数特性を示す。これから、第1の比較例における最大有能利得は、4GHz付近より高い周波数で急激に低下する。これに対して、第2の比較例における最大有能利得は、7GHz付近まで比較的高い値に維持され、第1の比較例より高い周波数まで高い値が維持される。第2実施形態における最大有能利得は、8GHz付近まで比較的高い値に維持され、第2の比較例より高い周波数まで高い値が維持される。第3実施形態における最大有能利得は、10GHz付近まで比較的高い値に維持され、第2実施形態よりさらに高い周波数まで高い値が維持される。
以上、実施形態を説明したが、ここに記載したすべての例や条件は、発明および技術に適用する発明の概念の理解を助ける目的で記載されたものである。特に記載された例や条件は発明の範囲を制限することを意図するものではなく、明細書のそのような例の構成は発明の利点および欠点を示すものではない。発明の実施形態を詳細に記載したが、各種の変更、置き換え、変形が発明の精神および範囲を逸脱することなく行えることが理解されるべきである。
G ゲート電極
S ソース電極
D ドレイン電極
11A 第1のゲート接続電極
11B 第2のゲート接続電極
21 インダクタを含む配線
Q101−Q20N トランジスタ
L101−L20N インダクタ
S ソース電極
D ドレイン電極
11A 第1のゲート接続電極
11B 第2のゲート接続電極
21 インダクタを含む配線
Q101−Q20N トランジスタ
L101−L20N インダクタ
Claims (7)
- 半導体基板と、前記半導体基板上に形成された増幅器と、を有し、
前記増幅器は、
前記半導体基板の活性領域の表面に櫛歯状に配置された複数のゲートフィンガー電極と、
前記複数のゲートフィンガー電極の両端をそれぞれ共通に接続する2つのゲート接続電極と、
前記複数のゲートフィンガー電極の間の前記半導体基板の表面に交互に配置された複数のソース電極および複数のドレイン電極と、
前記複数のドレイン電極を順に接続する複数のドレイン接続素子と、を有し、
各ドレイン接続素子のインダクタンス値の、対応する前記ドレイン電極と前記ソース電極間のドレイン−ソース電極間の寄生容量に対する比は、一定であることを特徴とする半導体装置。 - 前記複数のゲートフィンガー電極のピッチは、前記半導体基板の厚さの0.4から2倍の間である請求項1に記載の半導体装置。
- 前記複数のドレイン接続素子は、ワイヤボンディング、エアブリッジ、多層配線で形成するスパイラルインダクタのいずれかである請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記複数のゲートフィンガー電極のゲート幅は、順に異なる請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記複数のドレイン接続素子のインダクタンス値は、前記複数のゲートフィンガー電極のゲート幅の変化に応じて異なる請求項4に記載の半導体装置。
- 前記ゲート電極、前記複数のソース電極、前記複数のドレイン電極および前記複数のドレイン接続素子の列を含むトランジスタユニットを複数有し、
前記複数のトランジスタユニットは、前記複数のゲートフィンガー電極の配列方向に垂直な方向に配列されている請求項1から5のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の半導体装置を有する送信器。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016017182A JP2017139518A (ja) | 2016-02-01 | 2016-02-01 | 半導体装置および送信器 |
US15/386,025 US20170222004A1 (en) | 2016-02-01 | 2016-12-21 | Semiconductor device and transmitter |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016017182A JP2017139518A (ja) | 2016-02-01 | 2016-02-01 | 半導体装置および送信器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017139518A true JP2017139518A (ja) | 2017-08-10 |
Family
ID=59387049
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016017182A Pending JP2017139518A (ja) | 2016-02-01 | 2016-02-01 | 半導体装置および送信器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20170222004A1 (ja) |
JP (1) | JP2017139518A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102351759B1 (ko) * | 2017-09-01 | 2022-01-14 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 전계 효과 트랜지스터 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7936210B2 (en) * | 2007-02-12 | 2011-05-03 | Lockheed Martin Corporation | Gallium nitride traveling wave structures |
JP2008244595A (ja) * | 2007-03-26 | 2008-10-09 | Toshiba Corp | 電力増幅器および送受信システム |
US8928411B2 (en) * | 2012-12-31 | 2015-01-06 | Silicon Image, Inc. | Integration of signal sampling within transistor amplifier stage |
US11043432B2 (en) * | 2013-11-12 | 2021-06-22 | Skyworks Solutions, Inc. | Radio-frequency switching devices having improved voltage handling capability |
-
2016
- 2016-02-01 JP JP2016017182A patent/JP2017139518A/ja active Pending
- 2016-12-21 US US15/386,025 patent/US20170222004A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20170222004A1 (en) | 2017-08-03 |
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