JP2017103313A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2017103313A5
JP2017103313A5 JP2015234318A JP2015234318A JP2017103313A5 JP 2017103313 A5 JP2017103313 A5 JP 2017103313A5 JP 2015234318 A JP2015234318 A JP 2015234318A JP 2015234318 A JP2015234318 A JP 2015234318A JP 2017103313 A5 JP2017103313 A5 JP 2017103313A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
imprint material
imprint
substrate
supply
discharge port
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2015234318A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2017103313A (ja
JP6590667B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2015234318A priority Critical patent/JP6590667B2/ja
Priority claimed from JP2015234318A external-priority patent/JP6590667B2/ja
Priority to PCT/JP2016/084601 priority patent/WO2017094563A1/ja
Priority to KR1020187018568A priority patent/KR102102754B1/ko
Priority to TW105138895A priority patent/TWI647089B/zh
Publication of JP2017103313A publication Critical patent/JP2017103313A/ja
Publication of JP2017103313A5 publication Critical patent/JP2017103313A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6590667B2 publication Critical patent/JP6590667B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

JP2015234318A 2015-11-30 2015-11-30 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 Active JP6590667B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015234318A JP6590667B2 (ja) 2015-11-30 2015-11-30 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
PCT/JP2016/084601 WO2017094563A1 (ja) 2015-11-30 2016-11-22 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
KR1020187018568A KR102102754B1 (ko) 2015-11-30 2016-11-22 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법
TW105138895A TWI647089B (zh) 2015-11-30 2016-11-25 壓印裝置、壓印方法、及物品的製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015234318A JP6590667B2 (ja) 2015-11-30 2015-11-30 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2017103313A JP2017103313A (ja) 2017-06-08
JP2017103313A5 true JP2017103313A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2019-01-24
JP6590667B2 JP6590667B2 (ja) 2019-10-16

Family

ID=58797304

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015234318A Active JP6590667B2 (ja) 2015-11-30 2015-11-30 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6590667B2 (enrdf_load_stackoverflow)
KR (1) KR102102754B1 (enrdf_load_stackoverflow)
TW (1) TWI647089B (enrdf_load_stackoverflow)
WO (1) WO2017094563A1 (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7015134B2 (ja) * 2017-10-12 2022-02-02 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、情報処理装置、生成方法、プログラム及び物品の製造方法
JP6988767B2 (ja) * 2018-11-07 2022-01-05 オムロン株式会社 塗布装置
JP7257817B2 (ja) * 2019-03-04 2023-04-14 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品の製造方法
JP7263088B2 (ja) * 2019-04-08 2023-04-24 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法
JP7610463B2 (ja) * 2021-04-20 2025-01-08 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法
JP7699993B2 (ja) * 2021-07-30 2025-06-30 キヤノン株式会社 液体吐出装置、液体吐出方法、成形装置及び物品の製造方法
CN120178595B (zh) * 2025-05-20 2025-07-22 普雨科技(苏州)有限公司 一种步进式重复纳米压印设备、控制方法及控制系统

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06163499A (ja) * 1992-11-19 1994-06-10 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
JPH0943424A (ja) * 1995-08-01 1997-02-14 Canon Inc カラーフィルタの製造方法及び製造装置
WO2000045964A1 (fr) * 1999-02-08 2000-08-10 Canon Kabushiki Kaisha Composant electronique, procede de production d'une source d'electrons, composant de formation d'image et dispositif servant a fabriquer un composant electronique
JP4934927B2 (ja) * 2001-08-20 2012-05-23 コニカミノルタホールディングス株式会社 インクジェット記録装置
JP2007296783A (ja) * 2006-05-01 2007-11-15 Canon Inc 加工装置及び方法、並びに、デバイス製造方法
JP4819577B2 (ja) * 2006-05-31 2011-11-24 キヤノン株式会社 パターン転写方法およびパターン転写装置
JP5361309B2 (ja) * 2008-09-25 2013-12-04 キヤノン株式会社 インプリント装置およびインプリント方法
US20100102471A1 (en) * 2008-10-24 2010-04-29 Molecular Imprints, Inc. Fluid transport and dispensing
JP2011062590A (ja) * 2009-09-15 2011-03-31 Seiko Epson Corp 吐出方法及び液滴吐出装置
JP5229206B2 (ja) * 2009-12-18 2013-07-03 大日本印刷株式会社 反射防止フィルムの製造方法
JP5563319B2 (ja) * 2010-01-19 2014-07-30 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品の製造方法
JP5335717B2 (ja) * 2010-03-16 2013-11-06 富士フイルム株式会社 レジスト組成物配置装置及びパターン形成体の製造方法
JP5214683B2 (ja) * 2010-08-31 2013-06-19 株式会社東芝 インプリントレシピ作成装置及び方法並びにインプリント装置及び方法
JP5404570B2 (ja) * 2010-09-24 2014-02-05 株式会社東芝 滴下制御方法および滴下制御装置
JP2012190877A (ja) * 2011-03-09 2012-10-04 Fujifilm Corp ナノインプリント方法およびそれに用いられるナノインプリント装置
JP5727905B2 (ja) * 2011-09-15 2015-06-03 富士フイルム株式会社 インクジェットヘッドの吐出量補正方法、吐出量補正装置、及びナノインプリントシステム
JP5661666B2 (ja) * 2012-02-29 2015-01-28 株式会社東芝 パターン形成装置及び半導体装置の製造方法
JP6083203B2 (ja) * 2012-11-19 2017-02-22 大日本印刷株式会社 インプリント樹脂滴下位置決定方法、インプリント方法及び半導体装置製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2017103313A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2015213130A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2015111657A5 (enrdf_load_stackoverflow)
KR102102754B1 (ko) 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법
JP2016042501A5 (enrdf_load_stackoverflow)
EP2974871A3 (en) Printing apparatus, printing system, printed material manufacturing method, and computer program product
US20170368752A1 (en) Non-contact control of layering for three-dimensional object printing
JP2012204722A5 (enrdf_load_stackoverflow)
EA202092697A1 (ru) Способ контроля качества в реальном времени декоративных отпечатков на подложках
JP2015170815A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2013004744A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2012164809A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2015122373A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP5404570B2 (ja) 滴下制御方法および滴下制御装置
EP3101476A3 (en) Imprint apparatus, imprint method, and article manufacturing method
JP2018074159A5 (ja) 基板からテンプレートを引き離す方法、装置及び物品を製造する方法
JP2016201485A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2015149315A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2014203935A5 (enrdf_load_stackoverflow)
US10197910B2 (en) Imprint apparatus, imprint method, and method of manufacturing article
JP2013162046A5 (ja) インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法
TW201613741A (en) Imprint method, imprint apparatus, and article manufacturing method
JP2015233100A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2016021532A5 (enrdf_load_stackoverflow)
JP2015115370A5 (enrdf_load_stackoverflow)