JP2017102525A - 表示装置および方法 - Google Patents

Abstract

【課題】表示装置においてオペレータにとっての利便性を改善する。
【解決手段】表示装置は、制御対象の装置における表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を表示素子１３に表示させるループ情報表示制御部１０と、制御パラメータを調整するためのオートチューニングを実行中の制御ループの情報を、情報出力装置から定期的に取得する実行確認信号取得部１１と、実行確認信号取得部１１が取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを認識したときに、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを示すメッセージを、ループ情報表示制御部１０が表示させた画像中に表示させる実行確認表示制御部１２とから構成される。
【選択図】 図３

Description

本発明は、複数の制御ループを備えた装置を制御する汎用調節計から、表示対象の制御ループに関わる情報を受け取って表示する表示装置に関するものである。

複数の制御ループを備える装置（マルチループ系）を扱うために、汎用調節計（温調計）が使用されることがある（特許文献１参照）。マルチループ系の調節計（温調計）が対象とする加熱装置の例を図１２、図１３に示す。

図１２の例では、加熱装置は、被加熱物を加熱するための加熱処理炉１００と、加熱処理炉１００の内部に設置された複数のヒータＨ１〜Ｈ４と、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される加熱処理炉１００内の温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度を測定する複数の温度センサＳ１〜Ｓ４と、ヒータＨ１〜Ｈ４に出力する操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する調節計１０１と、調節計１０１から出力された操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する電力調整器１０２−１〜１０２−４とから構成される。調節計１０１は、温度センサＳ１〜Ｓ４が計測した温度ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出する。この図１２に示した加熱装置においては、温度ＰＶ１〜ＰＶ４を制御する制御ループが４個形成されていることになる。

また、図１３に示した加熱装置の例では、酸化拡散炉２００内の石英管２０３の内部に、シリコンウェハ２０４が搬入される。温度センサＳ１〜Ｓ４は、それぞれヒータＨ１〜Ｈ４によって加熱される温度制御ゾーンＺ１〜Ｚ４の温度ＰＶ１〜ＰＶ４を測定する。調節計２０１は、温度センサＳ１〜Ｓ４が計測した温度ＰＶ１〜ＰＶ４が温度設定値ＳＰ１〜ＳＰ４と一致するように操作量ＭＶ１〜ＭＶ４を算出してヒータ電源２０２に出力する。ヒータ電源２０２は、操作量ＭＶ１〜ＭＶ４に応じた電力をヒータＨ１〜Ｈ４に供給する。こうして、酸化拡散炉２００内の石英管２０３内に導入される酸素とシリコンウェハ２０４とを加熱することにより、シリコンウェハ２０４の表面に酸化膜を形成する。この図１３に示した加熱装置においても、温度ＰＶ１〜ＰＶ４を制御する制御ループが４個形成されていることになる。

調節計１０１，２０１や、調節計１０１，２０１を用いて例えば半導体の製造を行う製造装置においては、オペレータに情報を伝えるために、液晶ディスプレイなどの表示装置が使用される（特許文献２参照）。
また、特許文献３には、マルチループ系の熱干渉に基づいてオートチューニングを実行すべき未実行ループを効率よく選択し、効率よくＡＴを起動していくことができるオートチューニング実行装置が開示されている。

特開２０１２−０４８３７０号公報 特開２００１−１５４７８６号公報 特開２０１２−０７９０８８号公報

小型の製造装置に表示装置を実装する場合は、小型の表示装置が使用される。しかしながら、図１２、図１３で説明したようなマルチループ系を扱う場合、小型の表示装置では画面の大きさが十分とは限らず、表示が見難くなり、利便性に支障が生じるという問題点があった。

特に、図１４に示すように、汎用調節計３００と一体化され、汎用目的で画面の仕様が設計される小型の表示装置３０１では、個々の制御対象（図１４のＮｏ．１〜Ｎｏ．４のループ番号で区別される制御対象）に固有の性質を反映した表示を効率的に行なうことに限界があった。このようにマルチループ系の情報表示に使用される小型の表示装置には、利便性の改善が求められている。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、マルチループ系で汎用的に使用される表示装置において、オペレータにとっての利便性を改善することを目的とする。

本発明の表示装置は、画像表示のための表示素子と、制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を前記表示素子に表示させるループ情報表示制御手段と、制御パラメータを調整するためのオートチューニングを実行中の制御ループの情報を、情報出力装置から定期的に取得する実行確認信号取得手段と、この実行確認信号取得手段が取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを認識したときに、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを示すメッセージを、前記ループ情報表示制御手段が表示させた画像中に表示させる実行確認表示制御手段とを備えることを特徴とするものである。

また、本発明の表示装置の１構成例は、さらに、前記実行確認信号取得手段が取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを認識したときに、表示中の制御ループのループ番号とオートチューニングを実行中の制御ループのループ番号とを比較し、ループ番号が続き番号になっている場合に、重要度が高いメッセージ表示になるように前記実行確認表示制御手段に指示する表記指示手段を備え、前記実行確認表示制御手段は、前記表記指示手段から指示があった場合に、指示がなかった場合よりも重要度が高くなるように前記メッセージの内容または表示形式を変更して表示することを特徴とするものである。
また、本発明の表示装置の１構成例は、さらに、制御対象の装置における２つの制御ループの全ての組み合わせについて、２つの制御ループに対応する２つの制御ゾーンの隣接／非隣接を示す関係情報を制御ループの組み合わせごとに予め記憶する隣接関係記憶手段と、前記実行確認信号取得手段が取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを認識したときに、表示中の制御ループとオートチューニングを実行中の制御ループとに対応する関係情報を前記隣接関係記憶手段から取得し、表示中の制御ループに対応する制御ゾーンとオートチューニングを実行中の制御ループに対応する制御ゾーンとが隣接する位置関係にあることを認識した場合に、重要度が高いメッセージ表示になるように前記実行確認表示制御手段に指示する表記指示手段とを備え、前記実行確認表示制御手段は、前記表記指示手段から指示があった場合に、指示がなかった場合よりも重要度が高くなるように前記メッセージの内容または表示形式を変更して表示することを特徴とするものである。

また、本発明の表示方法は、制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を表示素子に表示させるループ情報表示制御ステップと、制御パラメータを調整するためのオートチューニングを実行中の制御ループの情報を、情報出力装置から定期的に取得する実行確認信号取得ステップと、この実行確認信号取得ステップで取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを認識したときに、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニング実行中であることを示すメッセージを、前記ループ情報表示制御ステップで表示させた画像中に表示させる実行確認表示制御ステップとを含むことを特徴とするものである。

本発明によれば、実行確認信号取得手段と、実行確認表示制御手段とを設けることにより、表示中の制御ループ以外でオートチューニングが実行されていることをオペレータに知らせることができ、オペレータの認識不足又は見落としの発生を回避することができる。その結果、汎用目的で画面の仕様が設計される、マルチループ系で使用される小型の表示装置において、オペレータにとっての利便性を改善することができる。

また、本発明では、表記指示手段を設けることにより、オペレータは、表示中の制御ループに対応する制御ゾーンがオートチューニングを実行中の制御ループに対応する制御ゾーンと隣接する位置関係か否かを認識することができる。これにより、表示中の制御ループの例えば設定値ＳＰを変更して昇温開始することの可否について、オペレータがより詳細に判断することができる。

また、本発明では、隣接関係記憶手段と、表記指示手段とを設けることにより、オペレータは、表示中の制御ループに対応する制御ゾーンがオートチューニングを実行中の制御ループに対応する制御ゾーンと隣接する位置関係か否かを認識することができる。また、本発明では、ループ番号が続き番号の制御ループ同士は対応する制御ゾーンも隣接する位置関係にあるという前提条件が成立しない制御対象にも適用することができる。

表示装置の画面に４つの制御ループ分の情報を表示させる例を示す図である。 表示装置の画面に１つの制御ループ分の情報を拡大表示させる例を示す図である。 本発明の第１の実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第１の実施の形態に係る表示装置の動作を説明するフローチャートである。 本発明の第１の実施の形態における表示例を示す図である。 本発明の第２の実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第２の実施の形態に係る表示装置の動作を説明するフローチャートである。 本発明の第２の実施の形態における表示例を示す図である。 本発明の第２の実施の形態における他の表示例を示す図である。 本発明の第３の実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図である。 本発明の第３の実施の形態に係る表示装置の動作を説明するフローチャートである。 複数の制御ループを備えた加熱装置の構成例を示す図である。 複数の制御ループを備えた加熱装置の別の構成例を示す図である。 汎用調節計と一体化された表示装置の例を示す図である。

［発明の原理１］
例えば、汎用的な数として４ループ分の情報を同時に表示すれば（図１）、全ての制御ループの情報監視という点では好都合である。図１の例では、Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４のループ番号で区別される各制御ループの温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶとを画面１上の対応する区画１−１〜１−４に１ループ分ずつ表示している。しかし、小型の表示装置の場合、図１のような表示形態では、個々の数値などが小さめの表示にならざるを得ない。ゆえに、特定の制御ループの設定値ＳＰの変更操作などのためには、１ループ分の情報のみを拡大表示した状態にすることが好ましい（図２）。

ところで、マルチループの温度制御系では、温度制御ゾーン間に熱干渉があることが多い（特許文献３参照）。例えばループ番号Ｎｏ．２の制御ループで制御パラメータ（例えばＰＩＤパラメータ）調整のためにリミットサイクルによるオートチューニングを実行中に、隣接するループ番号Ｎｏ．３の制御ループで設定値ＳＰを変更して昇温を開始すると、ループ番号Ｎｏ．２の制御ループにも昇温が発生してオートチューニングが終了しなくなることもあり得る。すなわち、マルチループを扱う調節計において、設定値ＳＰの変更操作などのために操作対象の制御ループの情報のみを表示することは、表示が紛らわしくならないというメリットがある反面、他の制御ループがオートチューニング実行中であることを見落とすという誤りを誘発するデメリットがある。

発明者は、以上のようなオートチューニング実行中の表示の問題が、オペレータにとっての利便性に支障を生じさせる要因であることを見出した。そして、表示対象の制御ループ以外の制御ループがオートチューニング実行中である場合、オートチューニング実行中であるという他の制御ループの情報をあえて表示することに想到した。

［発明の原理２］
通常は、制御ループを区別するためのループ番号が隣接する制御ループ同士（例えばＮｏ．３に対するＮｏ．２およびＮｏ．４）は制御対象の装置における制御ゾーンも隣接する位置関係にある可能性が高く、ループ番号が隣接していない制御ループ同士（例えばＮｏ．３に対するＮｏ．１、あるいはＮｏ．４に対するＮｏ．１，Ｎｏ．２）は制御ゾーンも隣接していない可能性が高いと推定できる。あるいは、２つの制御ループに対応する２つの制御ゾーンの隣接／非隣接を示す関係情報を制御ループの組み合わせごとに予め登録しておくことも可能であり、この制御ゾーンの隣接／非隣接の位置関係を確認できる。

このように、制御ゾーンの隣接／非隣接の位置関係を推定あるいは確認できる場合、表示中の制御ループ以外の制御ループがオートチューニングを実行中であるという情報の表示（通知）方法を変えるのが好ましい。制御ゾーンが隣接する場合は熱干渉が大きい可能性が高く、隣接しない場合は熱干渉が大きい可能性が低いので、制御ゾーンが隣接するか否かで表示方法を変えて通知することは、表示中の制御ループの例えば設定値ＳＰを変更して昇温開始することの可否について、オペレータがより詳細に判断するための有用な情報になる。

［第１の実施の形態］
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図３は本発明の第１の実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図である。本実施の形態は、上記発明の原理１に対応する例である。本実施の形態では、図１２、図１３に示したように４制御ループ（装置としては４制御ゾーン）の製造装置を汎用調節計で制御する事例とする。ただし、４制御ループよりも少ない３制御ループや、４制御ループよりも多い５制御ループ、６制御ループであっても、本発明の本質部分であるメッセージ表示は適用可能である。

本実施の形態の表示装置は、制御対象の装置における表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を後述する表示素子に表示させるループ情報表示制御部１０と、制御パラメータを調整するためのオートチューニングを実行中の制御ループの情報を、情報出力装置（例えば汎用調節計）から定期的に取得する実行確認信号取得部１１と、実行確認信号取得部１１が取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを認識したときに、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを示すメッセージを、ループ情報表示制御部１０が表示させた画像中に表示させる実行確認表示制御部１２と、画像表示のための液晶パネル等の表示素子１３とから構成される。

図４は本実施の形態の表示装置の動作を説明するフローチャートである。ループ情報表示制御部１０は、図示しない情報出力装置（例えば汎用調節計）から渡された表示すべき情報を予め定められた規則に従って表示素子１３に表示させる（図４ステップＳ１００）。汎用調節計は、予め定められた規則に従って自動的に選択した表示すべき情報、若しくはオペレータの操作に応じて選択した表示すべき情報をループ情報表示制御部１０に渡す。

例えば４ループ分の表示を行う場合、汎用調節計は、制御対象の装置（例えば加熱装置）における各制御ループに対応する制御情報や操作情報と、各制御ループを特定するループ番号とをループ情報表示制御部１０に渡す。ループ情報表示制御部１０は、予め定められた規則に従って、図１のように各制御ループに対応する情報（図１の例では温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶ）とループ番号（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．４）とを縦２×横２のマトリクス状に配置した画像を表示素子１３に表示させる。

また、１ループ分の表示を行う場合、汎用調節計は、対象となる制御ループに対応する制御情報や操作情報と、当該制御ループを特定するループ番号とをループ情報表示制御部１０に渡す。ループ情報表示制御部１０は、予め定められた規則に従って、図２のように制御ループに対応する情報（図２の例では温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶ）とループ番号（Ｎｏ．３）とを１画面に拡大して配置した画像を表示素子１３に表示させる。

以上のステップＳ１００の処理は、従来から汎用調節計で行われている処理と同じである。そして、本実施の形態では、１ループ分の情報のみを拡大表示している状態を基礎として説明する。

実行確認信号取得部１１は、情報出力装置（例えば汎用調節計）から、制御パラメータ（例えばＰＩＤパラメータ）を調整するためのオートチューニングを実行中の制御ループの情報を取得する（図４ステップＳ１０１）。ここでは、オートチューニングを実行中の制御ループの情報として、制御ループを特定可能なループ番号を取得すればよい。

実行確認表示制御部１２は、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに（図４ステップＳ１０２においてＹＥＳ）、実行確認信号取得部１１が取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングの実行中であることを認識すると（図４ステップＳ１０３においてＹＥＳ）、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニング実行中であることを示すメッセージを、ループ情報表示制御部１０が表示させた画像中に追加表示させる（図４ステップＳ１０４）。

以上のようなステップＳ１００〜Ｓ１０４の処理を、表示装置の動作が終了するまで（図４ステップＳ１０５においてＹＥＳ）、繰り返し実行する。
なお、表示中の制御ループがオートチューニング実行中であることをオペレータに伝える表示機能は、従来から調節計で行われていることであり、本発明の対象外の動作であるので、説明は省略する。

図５は本実施の形態の表示例を示す図である。図５の例は、図２と同様に、１ループ分の情報（図５の例では温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶ）とループ番号（Ｎｏ．３）とを１画面に拡大表示している状態で、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行しているときの例である。実行確認表示制御部１２は、他の制御ループでオートチューニング実行中であることを示すメッセージ２を、画面１に表示させる。

以上のように、本実施の形態では、他の制御ループでオートチューニング実行中であることを示すメッセージを追加表示することにより、表示中の制御ループ以外でオートチューニングが実行されていることをオペレータに知らせることができ、オペレータの認識不足又は見落としの発生を回避することができる。すなわち、汎用目的で画面の仕様が設計される、マルチループ系で使用される小型の表示装置において、オペレータにとっての利便性を改善することができる。

［第２の実施の形態］
次に、本発明の第２の実施の形態について説明する。本実施の形態は、上記発明の原理２に対応する例である。図６は本実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図であり、図３と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の表示装置は、ループ情報表示制御部１０と、実行確認信号取得部１１と、表示素子１３と、後述する表記指示部から指示があった場合に、指示がなかった場合よりも重要度が高くなるようにメッセージの内容または表示形式を変更して表示する実行確認表示制御部１２ａと、実行確認信号取得部１１が取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを認識したときに、表示中の制御ループのループ番号とオートチューニングを実行中の制御ループのループ番号とを比較し、ループ番号が続き番号になっている場合に、重要度が高いメッセージ表示になるように実行確認表示制御部１２ａに指示する表記指示部１４とから構成される。

図７は本実施の形態の表示装置の動作を説明するフローチャートである。ループ情報表示制御部１０のステップＳ１００の動作と実行確認信号取得部１１のステップＳ１０１の動作は、第１の実施の形態で説明したとおりである。

表記指示部１４は、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに（図７ステップＳ１０２においてＹＥＳ）、実行確認信号取得部１１が取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングの実行中であることを認識すると（図７ステップＳ１０３においてＹＥＳ）、表示中の制御ループのループ番号とオートチューニングを実行中の制御ループのループ番号とを比較し、ループ番号が続き番号になっている場合（図７ステップＳ１０６においてＹＥＳ）、ループ番号が続き番号でない場合のメッセージ表示よりも重要度が高いメッセージ表示になるように実行確認表示制御部１２ａに指示する（図７ステップＳ１０７）。

なお、本実施の形態では、ループ番号が続き番号の制御ループ同士は制御対象の装置（例えば加熱装置）における制御ゾーンも隣接する位置関係にあることを前提としている。例えば図１２の例のように制御ゾーンの配置が横一列で、制御ループを特定するループ番号が左からＮｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．３，Ｎｏ．４であった場合、ループ番号Ｎｏ．１の制御ループに対応する左から１番目の制御ゾーンとループ番号Ｎｏ．２の制御ループに対応する左から２番目の制御ゾーンは隣接する位置関係にある。

表記指示部１４から指示がなかった場合の実行確認表示制御部１２ａの動作（図７ステップＳ１０４）は、第１の実施の形態の実行確認表示制御部１２の動作と同様である。
一方、実行確認表示制御部１２ａは、表記指示部１４から指示があった場合、ステップＳ１０４と同様に、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニング実行中であることを示すメッセージを、ループ情報表示制御部１０が表示させた画像中に追加表示するが、ステップＳ１０４の場合よりも重要度が高いメッセージになるように内容を変更して表示する（図７ステップＳ１０８）。
以上のようなステップＳ１００〜Ｓ１０４，Ｓ１０６〜Ｓ１０８の処理を、表示装置の動作が終了するまで（図７ステップＳ１０９においてＹＥＳ）、繰り返し実行する。

図８、図９は本実施の形態の表示例を示す図である。図８、図９の例は、図２と同様に、１ループ分の情報（図８、図９の例では温度設定値ＳＰと温度計測値ＰＶ）とループ番号（Ｎｏ．３）とを１画面に拡大表示している状態で、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行しているときの例である。

表記指示部１４は、例えばループ番号Ｎｏ．２の制御ループがオートチューニング実行中の場合、表示中の制御ループのループ番号Ｎｏ．３とオートチューニングを実行中の制御ループのループ番号Ｎｏ．２とが続き番号になっているので、重要度が高いメッセージ表示になるように実行確認表示制御部１２ａに指示する。この指示に応じて、実行確認表示制御部１２ａは、通常よりも重要度の高いメッセージ２ａを表示する（図８の例では、「CAUTION: No.2 AT ON」）。

また、表記指示部１４は、例えばループ番号Ｎｏ．１の制御ループがオートチューニング実行中の場合、表示中の制御ループのループ番号Ｎｏ．３とオートチューニングを実行中の制御ループのループ番号Ｎｏ．１とが続き番号になっていないので、実行確認表示制御部１２ａに対する指示を出力しない。実行確認表示制御部１２ａは、表記指示部１４からの指示がなかったことにより、通常のメッセージ２ｂを表示する（図９の例では、「NOTICE: No.1 AT ON」）。

このように本実施の形態では、表示中の制御ループのループ番号とオートチューニングを実行中の制御ループのループ番号とが続き番号か否かでメッセージの重要度を変えるので、オペレータは、表示中の制御ループに対応する制御ゾーンがオートチューニングを実行中の制御ループに対応する制御ゾーンと隣接する位置関係か否かを認識することができる。これにより、表示中の制御ループの例えば設定値ＳＰを変更して昇温開始することの可否について、オペレータがより詳細に判断することができる。

［第３の実施の形態］
次に、本発明の第３の実施の形態について説明する。本実施の形態は、上記発明の原理２に対応する別の例である。図１０は本実施の形態に係る表示装置の構成を示すブロック図であり、図３、図６と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態の表示装置は、ループ情報表示制御部１０と、実行確認信号取得部１１と、実行確認表示制御部１２ａと、表示素子１３と、制御対象の装置における２つの制御ループの全ての組み合わせについて、２つの制御ループに対応する２つの制御ゾーンの隣接／非隣接を示す関係情報を制御ループの組み合わせごとに予め記憶する隣接関係記憶部１５と、実行確認信号取得部１１が取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを認識したときに、表示中の制御ループとオートチューニングを実行中の制御ループとに対応する関係情報を隣接関係記憶部１５から取得し、表示中の制御ループに対応する制御ゾーンとオートチューニングを実行中の制御ループに対応する制御ゾーンとが隣接する位置関係にあることを認識した場合に、重要度が高いメッセージ表示になるように実行確認表示制御部１２ａに指示する表記指示部１４ａとから構成される。

図１１は本実施の形態の表示装置の動作を説明するフローチャートである。ループ情報表示制御部１０のステップＳ１００の動作と実行確認信号取得部１１のステップＳ１０１の動作は、第１の実施の形態で説明したとおりである。

隣接関係記憶部１５には、制御対象の装置（例えば加熱装置）における２つの制御ループのとり得る組み合わせの全てについて、２つの制御ループに対応する２つの制御ゾーンの隣接／非隣接を示す関係情報が制御ループの組み合わせごとに予め記憶されている。例えば図１２の例のように制御ゾーンの配置が横一列で、ループ番号が左からＮｏ．１，Ｎｏ．２，Ｎｏ．３，Ｎｏ．４であった場合、ループ番号Ｎｏ．１の制御ループに対応する左から１番目の制御ゾーンとループ番号Ｎｏ．２の制御ループに対応する左から２番目の制御ゾーンは隣接する位置関係にあるので、この制御ループの組み合わせについての関係情報は「隣接」を示す値となる。一方、ループ番号Ｎｏ．１の制御ループに対応する左から１番目の制御ゾーンとループ番号Ｎｏ．３の制御ループに対応する左から３番目の制御ゾーンは隣接していないので、この制御ループの組み合わせについての関係情報は「非隣接」を示す値となる。

表記指示部１４ａは、１ループ分の情報のみを拡大表示しているときに（図１１ステップＳ１０２においてＹＥＳ）、実行確認信号取得部１１が取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングの実行中であることを認識すると（図１１ステップＳ１０３においてＹＥＳ）、表示中の制御ループとオートチューニングを実行中の制御ループとに対応する関係情報を隣接関係記憶部１５から取得し（図１１ステップＳ１１０）、取得した関係情報により、表示中の制御ループに対応する制御ゾーンとオートチューニングを実行中の制御ループに対応する制御ゾーンとが隣接する位置関係にあることを認識すると（図１１ステップＳ１１１においてＹＥＳ）、これら２つの制御ゾーンが隣接していない場合のメッセージ表示よりも重要度が高いメッセージ表示になるように実行確認表示制御部１２ａに指示する（図１１ステップＳ１０７）。

表記指示部１４ａから指示がなかった場合の実行確認表示制御部１２ａの動作（図１１ステップＳ１０４）、および表記指示部１４ａから指示があった場合の実行確認表示制御部１２ａの動作（図１１ステップＳ１０７）は、第２の実施の形態で説明したとおりである。
以上のようなステップＳ１００〜Ｓ１０４，Ｓ１０７，Ｓ１０８，Ｓ１１０，Ｓ１１１の処理を、表示装置の動作が終了するまで（図１１ステップＳ１１２においてＹＥＳ）、繰り返し実行する。

こうして、本実施の形態では、第２の実施の形態と同様の効果を得ることができる。第２の実施の形態では、ループ番号が続き番号の制御ループ同士は対応する制御ゾーンも隣接する位置関係にあることを前提としているが、本実施の形態では、このような前提条件が成立しない制御対象にも適用することが可能である。

なお、第２、第３の実施の形態では、メッセージの内容そのものを変えてメッセージの重要度を高くしているが、これに限るものではなく、メッセージの表示形式（例えば表示色や点滅表示など）を変えて重要度を高くするようにしてもよい。
また、第１〜第３の実施の形態では、汎用調節計と分離した表示装置として説明しているが、汎用調節計と一体化された表示装置に本発明を適用してもよいことは言うまでもない。

第１の実施の形態で説明した表示装置のうち、ループ情報表示制御部１０と実行確認信号取得部１１と実行確認表示制御部１２とは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。同様に、第２の実施の形態で説明した表示装置のうち、ループ情報表示制御部１０と実行確認信号取得部１１と実行確認表示制御部１２ａと表記指示部１４とは、コンピュータによって実現することができる。同様に、第３の実施の形態で説明した表示装置のうち、ループ情報表示制御部１０と実行確認信号取得部１１と実行確認表示制御部１２ａと表記指示部１４ａと隣接関係記憶部１５とは、コンピュータによって実現することができる。これらのコンピュータのＣＰＵは、記憶装置に格納されたプログラムに従って第１〜第３の実施の形態で説明した処理を実行する。

本発明は、マルチループ系で使用される表示装置に適用することができる。

１０…ループ情報表示制御部、１１…実行確認信号取得部、１２，１２ａ…実行確認表示制御部、１３…表示素子、１４，１４ａ…表記指示部、１５…隣接関係記憶部。

Claims (6)

1. 画像表示のための表示素子と、
   制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を前記表示素子に表示させるループ情報表示制御手段と、
   制御パラメータを調整するためのオートチューニングを実行中の制御ループの情報を、情報出力装置から定期的に取得する実行確認信号取得手段と、
   この実行確認信号取得手段が取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを認識したときに、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを示すメッセージを、前記ループ情報表示制御手段が表示させた画像中に表示させる実行確認表示制御手段とを備えることを特徴とする表示装置。
2. 請求項１記載の表示装置において、
   さらに、前記実行確認信号取得手段が取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを認識したときに、表示中の制御ループのループ番号とオートチューニングを実行中の制御ループのループ番号とを比較し、ループ番号が続き番号になっている場合に、重要度が高いメッセージ表示になるように前記実行確認表示制御手段に指示する表記指示手段を備え、
   前記実行確認表示制御手段は、前記表記指示手段から指示があった場合に、指示がなかった場合よりも重要度が高くなるように前記メッセージの内容または表示形式を変更して表示することを特徴とする表示装置。
3. 請求項１記載の表示装置において、
   さらに、制御対象の装置における２つの制御ループの全ての組み合わせについて、２つの制御ループに対応する２つの制御ゾーンの隣接／非隣接を示す関係情報を制御ループの組み合わせごとに予め記憶する隣接関係記憶手段と、
   前記実行確認信号取得手段が取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを認識したときに、表示中の制御ループとオートチューニングを実行中の制御ループとに対応する関係情報を前記隣接関係記憶手段から取得し、表示中の制御ループに対応する制御ゾーンとオートチューニングを実行中の制御ループに対応する制御ゾーンとが隣接する位置関係にあることを認識した場合に、重要度が高いメッセージ表示になるように前記実行確認表示制御手段に指示する表記指示手段とを備え、
   前記実行確認表示制御手段は、前記表記指示手段から指示があった場合に、指示がなかった場合よりも重要度が高くなるように前記メッセージの内容または表示形式を変更して表示することを特徴とする表示装置。
4. 制御対象の装置における複数の制御ループのうち、表示対象の制御ループに関わる表示対象の情報を表示素子に表示させるループ情報表示制御ステップと、
   制御パラメータを調整するためのオートチューニングを実行中の制御ループの情報を、情報出力装置から定期的に取得する実行確認信号取得ステップと、
   この実行確認信号取得ステップで取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを認識したときに、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニング実行中であることを示すメッセージを、前記ループ情報表示制御ステップで表示させた画像中に表示させる実行確認表示制御ステップとを含むことを特徴とする表示方法。
5. 請求項４記載の表示方法において、
   さらに、前記実行確認信号取得ステップで取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを認識したときに、表示中の制御ループのループ番号とオートチューニングを実行中の制御ループのループ番号とを比較し、ループ番号が続き番号になっている場合に、重要度が高いメッセージ表示になるように指示する表記指示ステップを含み、
   前記実行確認表示制御ステップは、前記表記指示ステップによる指示があった場合に、指示がなかった場合よりも重要度が高くなるように前記メッセージの内容または表示形式を変更して表示するステップを含むことを特徴とする表示方法。
6. 請求項４記載の表示方法において、
   さらに、前記実行確認信号取得ステップで取得した情報により、表示中の制御ループ以外の制御ループでオートチューニングを実行中であることを認識したときに、制御対象の装置における２つの制御ループの全ての組み合わせについて、２つの制御ループに対応する２つの制御ゾーンの隣接／非隣接を示す関係情報を制御ループの組み合わせごとに予め記憶する隣接関係記憶手段を参照し、この隣接関係記憶手段から取得した関係情報により、表示中の制御ループに対応する制御ゾーンとオートチューニングを実行中の制御ループに対応する制御ゾーンとが隣接する位置関係にあることを認識した場合に、重要度が高いメッセージ表示になるように指示する表記指示ステップとを含み、
   前記実行確認表示制御ステップは、前記表記指示ステップによる指示があった場合に、指示がなかった場合よりも重要度が高くなるように前記メッセージの内容または表示形式を変更して表示するステップを含むことを特徴とする表示方法。