JP2017092569A - 圧電振動片の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(圧電振動子)
図1は、実施形態に係る圧電振動子の外観斜視図である。図2は、実施形態に係る圧電振動子の内部構成図である。図3は、図2のIII−III線における断面図である。図4は、実施形態に係る圧電振動子の分解斜視図である。
なお、圧電振動子1は、平面視直方体状に形成されており、本実施形態では平面視において圧電振動子1の長手方向を長手方向Lといい、短手方向を幅方向Wといい、これら長手方向Lおよび幅方向Wに対して直交する方向を厚さ方向Tという。
パッケージ本体5は、互いに重ね合わされた状態で接合された第1ベース基板10および第2ベース基板11と、第2ベース基板11上に接合されたシールリング12と、を備えている。
第2ベース基板11は、第1ベース基板10に重ねられており、第1ベース基板10に対して焼結などにより結合されている。すなわち、第2ベース基板11は、第1ベース基板10と一体化されている。
図5は、実施形態に係る圧電振動片の平面図である。
図5に示すように、圧電振動片3は、圧電板30と、圧電板30上に形成された電極41〜48と、を主に備える。なお、圧電振動子1の長手方向L、幅方向Wおよび厚さ方向Tは、圧電振動片3の長手方向、幅方向および厚さ方向と一致している。したがって、以下の説明では、圧電振動片3の長手方向、幅方向および厚さ方向の各方向について、圧電振動子1の長手方向L、幅方向Wおよび厚さ方向Tの各方向と同一の符号を付して説明する。
具体的に、第1振動腕部31の溝部37上と、第2振動腕部32の両側面上と、に第1励振電極41が主に形成されている。また、第1振動腕部31の両側面上と、第2振動腕部32の溝部37上と、に第2励振電極42が主に形成されている。
各支持腕部33,34は、平面視でL字状に形成され、基部35および各振動腕部31,32(本体部31A,32A)を幅方向Wの外側から取り囲んでいる。具体的に、各支持腕部33,34は、基部35における幅方向Wの両側面から幅方向Wの外側に向けて突設された後、長手方向Lに沿って各振動腕部31,32と平行に延在している。
各励振電極41,42、各マウント電極43,44および各引き回し電極45,46は、例えば厚さ方向Tから見た平面視形状が一致するように圧電板30の両主面上に形成されている。
次に、本実施形態の圧電振動片3の製造方法について説明する。なお、以下の説明における各構成部品の符号については、図5を参照されたい。
図6は、実施形態に係る圧電振動片の製造方法を示すフローチャートである。図7から図9は、実施形態に係る圧電振動片の製造方法を説明するための工程図であって、図7および図8はウエハを一方主面側から見た部分平面図であり、図9はウエハの連結部を第2支持腕部側から見た斜視図である。なお、図8および図9では、励振電極41,42、マウント電極43,44、引き回し電極45,46および重り金属膜50の図示を省略している。
図6に示すように、本実施形態の圧電振動片3の製造方法は、外形形成工程S10と、電極形成工程S20と、重り金属膜形成工程S30と、周波数調整工程S40と、個片化工程S50と、を有する。
まず外形形成工程S10を行う。図7に示すように、外形形成工程S10では、ウエハ60に、複数の圧電板30と、連結部61を介して各圧電板30を支持するフレーム部62と、を形成する。
具体的には、フォトリソグラフィ技術によってウエハ60の両面に、圧電板30、連結部61およびフレーム部62の外形形状に対応する形状のマスク(外形マスク)を形成する。次いで、ウエハ60をウェットエッチング加工する。これにより、外形マスクにマスクされていない領域を選択的に除去して、複数の圧電板30、連結部61およびフレーム部62の外形形状が形成される。このとき、各圧電板30は、幅方向Wに並んで配置され、それぞれ連結部61を介してフレーム部62に連結された状態となっている。また、ウエハ60の外表面のうち、ウェットエッチングにより形成された端面(側面)は、水晶の自然結晶面となっている。
次に、各振動腕部31,32に対してエッチング加工を施し、各振動腕部31,32の両主面に溝部37を形成する。
続いて電極形成工程S20を行う。電極形成工程S20は、ウエハ60に電極膜をパターニングして、圧電板30に対して励振電極41,42、マウント電極43,44および引き回し電極45,46を形成するとともに、各圧電板30から連結部61を通ってフレーム部62まで延出する各延出電極47,48を形成する。
具体的には、ウエハ60の主面上および側面上にスパッタリング法や蒸着法などにより電極膜を成膜する。電極膜は、金等の金属の単層膜や、クロム等の金属を下地層とし、金等の金属を上地層とした積層膜などで形成されている。
次いで、電極膜をエッチング加工し、電極マスクにマスクされていない領域の電極膜を選択的に除去する。これにより、圧電板30に対して励振電極41,42、マウント電極43,44および引き回し電極45,46が形成される。また、図8および図9に示すように、圧電板30から連結部61を通ってフレーム部62に至る領域に、各延出電極47,48が形成される。
続いて重り金属膜形成工程S30を行う。重り金属膜形成工程S30では、各振動腕部31,32の錘部31B,32Bの表面に周波数調整用の重り金属膜50を形成する。重り金属膜50は、例えば蒸着等により形成することができる。なお、重り金属膜50は、電極形成工程S20において各電極41〜48と同時に形成されてもよい。
続いて周波数調整工程S40を行う。周波数調整工程S40では、各延出電極47,48間に所定の駆動電圧を印加して、圧電板30の各振動腕部31,32を振動させることにより圧電振動片3(圧電板30)の周波数を調整する。
具体的には、フレーム部62上の各パッド部47a,48aに駆動電圧を印加するための測定器のプローブ等を押し当てる。この状態で、各延出電極47,48を介して各励振電極41,42間に所定の駆動電圧を印加し、各振動腕部31,32を振動させる。このときに測定された周波数と、予め定められた圧電振動片3の目標周波数と、の差に応じて、各振動腕部31,32上の重り金属膜50を部分的に除去する。これにより、各振動腕部31,32の質量が変化するので、各振動腕部31,32の振動の周波数(圧電振動片3の周波数)が変化する。よって、圧電振動片3の周波数の目標周波数に近付けることができる。
続いて個片化工程S50を行う。個片化工程S50では、連結部61を切断して、圧電板30を個片化する。
具体的には、各圧電板30をフレーム部62に対して折り曲げるようにして、各連結部61を切断する。このとき、連結部61の幅は境界部61aにおいて最も狭くなっているので、連結部61は境界部61aにおいて切断される。
以上により、1枚のウエハ60から、複数の圧電振動片3を一度に複数製造することができる。
図10は、実施形態の第1変形例に係る圧電振動片の製造方法を説明するための工程図であって、ウエハを一方主面側から見た部分平面図である。
図10に示すように、各延出電極47,48のうちいずれか一方(図示の例では第1延出電極47)がウエハ60の一方主面上のみに形成され、他方(図示の例では第2延出電極48)が連結部61の側面61b上に形成されていてもよい。
例えば、図11および図12に示す例では、異形部63は、連結部61と圧電板30の基部35との境界部61aにおける幅方向W両側の2箇所の隅部に形成されている。異形部63の表面は、ウエハ60の主面に対して傾斜した面となっている。この場合には、電極形成工程S20において、各延出電極47,48を異形部63に形成する。これにより、一対の延出電極47,48が連結部61の主面上において近接した位置に形成されることを防止できる。よって、一対の延出電極47,48が短絡することを防止しつつ、従来技術と比較して連結部61の幅を狭く形成することができる。したがって、連結部61を容易に切断することが可能となり、個片化時に圧電振動片3が損傷することを防止できる。
また、図13に示す例では、連結部61が長手方向Lに沿ってフレーム部62から圧電板30の基部35に向かって一定の幅で延びている。異形部63は、連結部61と基部35との境界部61aにおける幅方向W両側の2箇所の隅部、および連結部61とフレーム部62との境界部61cにおける幅方向W両側の2箇所の隅部に形成されている。この場合であっても、電極形成工程S20において、各延出電極47,48を異形部63に形成することで、第2変形例と同様に、一対の延出電極47,48が連結部61の主面上において近接した位置に形成されることを防止できる。よって、一対の延出電極47,48が短絡することを防止しつつ、従来技術と比較して連結部61の幅を狭く形成することができる。したがって、連結部61を容易に切断することが可能となり、個片化時に圧電振動片3が損傷することを防止できる。
例えば、上記実施形態において、圧電振動片3は、各支持腕部33,34が各振動腕部31,32の外側に配置された、いわゆるサイドアーム型の振動片であった。しかしながらこれに限定されず、圧電振動片は、例えば1つの支持腕部が一対の振動腕部の間に配置された、いわゆるセンターアーム型の振動片や、支持腕部を備えていない振動片であってもよい。また、各振動腕部に溝部が形成されていない構成であってもよい。
Claims (3)
- 圧電板と、前記圧電板上に形成され、所定の駆動電圧が印加されたときに前記圧電板を振動させる一対の励振電極と、を有する圧電振動片を、圧電材料からなるウエハを利用して製造する圧電振動片の製造方法であって、
前記ウエハに、前記圧電板と、連結部を介して前記圧電板を支持するフレーム部と、を形成する外形形成工程と、
前記ウエハの主面上および側面上に電極膜をパターニングして、前記圧電板に対して前記一対の励振電極を形成するとともに、前記圧電板から前記連結部を通って前記フレーム部まで延出し、前記一対の励振電極に対してそれぞれ電気的に接続する一対の延出電極を形成する電極形成工程と、
前記連結部を切断して、前記圧電板を個片化する個片化工程と、
を備え、
前記電極形成工程では、前記一対の延出電極のうち少なくともいずれか一方の延出電極を、前記連結部の側面上に形成する、
ことを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 前記外形形成工程では、前記連結部の側面に、前記ウエハの主面に対して傾斜した面を有する異形部が形成され、
前記電極形成工程では、前記一対の延出電極のうち少なくともいずれか一方の延出電極を前記異形部に形成する、
ことを特徴とする請求項1に記載の圧電振動片の製造方法。 - 前記外形形成工程では、前記フレーム部から前記圧電板に向かって幅が狭くなるように前記連結部を形成し、
前記電極形成工程では、前記連結部のうち幅が最も狭くなる幅狭部の側面に、前記一対の延出電極のうち少なくともいずれか一方の延出電極を形成する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の圧電振動片の製造方法。
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