JP2017092295A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017092295A JP2017092295A JP2015221944A JP2015221944A JP2017092295A JP 2017092295 A JP2017092295 A JP 2017092295A JP 2015221944 A JP2015221944 A JP 2015221944A JP 2015221944 A JP2015221944 A JP 2015221944A JP 2017092295 A JP2017092295 A JP 2017092295A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- jig
- substrate
- semiconductor device
- solder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Abstract
Description
前記第1基板及び第2基板の対向面上にそれぞれ対応して形成される第1電極及び第2電極、並びに
前記第1電極と第2電極との間に該第1電極側の第1ハンダ接合部及び該第2電極側の第2ハンダ接合部をそれぞれ介して架設される半導体素子
を備える半導体装置の製造方法であって、
前記第1基板上に形成された前記第1電極と前記半導体素子の一端とを前記第1ハンダ接合部を介して加熱接合する工程A、及び
前記工程Aの後、前記第2基板上に形成された前記第2電極と前記半導体素子の他端とを前記第2ハンダ接合部を介して加熱接合する工程B
を含み、
前記工程Bを、前記第1基板の前記対向面とは反対側の面に第1治具を配置し、前記第2基板の前記対向面とは反対側の面に前記第1治具より熱伝導率が高い第2治具を配置して行う半導体装置の製造方法に関する。
前記複数の第1電極と第2電極との間に、対応する前記第1ハンダ接合部及び第2ハンダ接合部をそれぞれ介して前記半導体素子が交互に複数架設され、
前記複数の半導体素子が、電気的に直列接続された構成を有していてもよい。
図1Aは、本発明の一実施形態に係る半導体装置を示す断面模式図である。図1Bは、本発明の一実施形態に係る第1基板及び第1電極を示す平面模式図である。図1Cは、本発明の一実施形態に係る第2基板及び第2電極を示す平面模式図である。半導体装置10は、対向して配置される第1基板11及び第2基板12、第1基板11及び第2基板12の対向面11a、12a上にそれぞれ対応して形成される第1電極21及び第2電極22、並びに第1電極21と第2電極22との間に第1電極21側の第1ハンダ接合部31及び第2電極22側の第2ハンダ接合部32をそれぞれ介して架設される半導体素子4a、4b(以下、区別することなく「半導体素子4」と称することがある。)を備える。
以下、図2A〜図2Fを参照しつつ、本実施形態の半導体装置の製造方法を説明する。図2A〜図2Fは、それぞれ、本発明の一実施形態に係る半導体装置の製造工程の一工程を示す断面模式図である。
工程Aでは、第1基板11上に形成された第1電極21と半導体素子4の一端とを第1ハンダ接合部31を介して加熱接合する(図2A〜図2D参照)。
次に、前記工程Aの後、第2基板12上に形成された第2電極22と半導体素子4の他端とを第2ハンダ接合部32を介して加熱接合する工程Bを行う(図2E及び図2F参照)。
厚さ12.5μmの銅箔が接着剤層を介して貼り合わされた厚さ12μmのポリイミドフィルムを第1基板として準備した。フォトリソグラフィー工程を経て銅箔をエッチングし、図1Bに示すような平面視略矩形(3mm×7mm)の第1銅電極をアレイ状に複数形成した(電極間距離1mm)。ポリイミドフィルムの第1銅電極側とは反対側の面に接着フィルムを介して厚さ500μmのアルミニウム板を補強材として貼り合わせた。Sn−Ag−Cu系ハンダペースト(日本フィラーメタルズ社製、「CS/PBF111−WA11−EPS90」、融点217℃)を第1銅電極上の半導体素子配置予定位置にマスクを用いる印刷方式にて厚さ125μmで塗工した。次に、ハンダペースト上に直方体状(2mm×2mm×高さ3mm)の半導体素子(p型熱電変換素子及びn型熱電変換素子)をピンセットを用いて人手により交互に118個配設し、仮固定した。このとき、半導体装置の配置位置に対応した開口を有する格子状の治具(厚さ2mm)を設置し、その開口に半導体素子を挿入するようにして配設した。仮固定した半導体素子上にアルミニウム板と重りを載せ、これをリフロー炉に投入して半導体素子の一端と第1銅電極との第1次ハンダ接合を行った。リフロー炉の設定温度は294℃であり、ハンダ接合部の温度は約235℃であった。
第2次ハンダ接合の際に、第1治具として厚さ3mmのジルコニア板(熱伝導率:3W/m・K)を用いたこと以外は、実施例1と同様に半導体装置を作製した。
第2次ハンダ接合の際に、第1治具として厚さ2mmのアルミニウム板(熱伝導率:230W/m・K)用い、第2治具として厚さ6mmの板状のガラスエポキシ複合材(熱伝導率:0.4W/m・K)を用いたこと以外は、実施例1と同様に半導体装置を作製した。
第2次ハンダ接合の際に、第1治具及び第2治具として厚さ2mmのアルミニウム板(熱伝導率:230W/m・K)用いたこと以外は、実施例1と同様に半導体装置を作製した。
実施例及び比較例で作製した半導体装置について以下の評価を行った。
半導体素子の位置ズレが生じているか否かを目視にて確認した。半導体素子の位置ズレがなかったか、ほぼなかったと判断された場合を「○」、隣接する半導体素子に接触していたか、又は電極から外れていた場合を「×」として評価した。結果を表1に示す。
半導体素子のハンダ接合が適切に行われているか否かを目視にて確認した。半導体素子が所定の電極と接合していた場合を「○」、所定の電極と接合していなかった場合を「×」として評価した。結果を表1に示す。
半導体装置が電気回路として機能し得るか否かについて導通検査を行った。図1Bに示すような半導体装置の上流側の端部に位置する電極と下流側の端部に位置する電極とにそれぞれリード線をハンダ付けし、これらのリード線と、デジタルマルチメータ((株)ADVANTEST製、「R6552 DIGITAL MULTIMETER」)とを接続し、4端子抵抗モードにて、導通の有無をデジタルマルチメータの抵抗値に基づいて確認した。導通有りの場合には、デジタルマルチメータの液晶表示部に何らかの数値(数字)が表示される。一方、導通無しの場合、デジタルマルチメータの液晶表示部に「.OL」(OverLoadの意)と表示される。導通が確認された場合を「○」、導通が確認されなかった場合を「×」として評価した。結果を表1に示す。
実施例1及び比較例2において、第2次ハンダ接合の際のリフロー炉に投入してからハンダ接合が完了するまでの温度履歴を第1ハンダ接合部及び第2ハンダ接合部のそれぞれについて熱電対を用いて経時的に測定した。その際のピーク温度(℃)とハンダの融点を超過していた時間を求めた。結果を表2に示す。
10 半導体装置
11 第1基板
11a 第1基板の対向面
11b 第1基板の対向面とは反対側の面
12 第2基板
12a 第2基板の対向面
12b 第2基板の対向面とは反対側の面
21 第1電極
22 第2電極
31 第1ハンダ接合部
31’ ハンダペースト
32 第2ハンダ接合部
32’ ハンダペースト
J1 第1治具
J2 第2治具
W 重り
Claims (6)
- 対向して配置される第1基板及び第2基板、
前記第1基板及び第2基板の対向面上にそれぞれ対応して形成される第1電極及び第2電極、並びに
前記第1電極と第2電極との間に該第1電極側の第1ハンダ接合部及び該第2電極側の第2ハンダ接合部をそれぞれ介して架設される半導体素子
を備える半導体装置の製造方法であって、
前記第1基板上に形成された前記第1電極と前記半導体素子の一端とを前記第1ハンダ接合部を介して加熱接合する工程A、及び
前記工程Aの後、前記第2基板上に形成された前記第2電極と前記半導体素子の他端とを前記第2ハンダ接合部を介して加熱接合する工程B
を含み、
前記工程Bを、前記第1基板の前記対向面とは反対側の面に第1治具を配置し、前記第2基板の前記対向面とは反対側の面に前記第1治具より熱伝導率が高い第2治具を配置して行う半導体装置の製造方法。 - 前記第2治具の熱伝導率が、前記第1治具の熱伝導率の1.5倍以上である請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2治具の熱伝導率と前記第1治具の熱伝導率との差が50W/m・K以上である請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1治具の熱伝導率が0.1〜5W/m・kであり、前記第2治具の熱伝導率が60W/m・K以上である請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1電極及び前記第2電極がそれぞれ複数形成され、
前記複数の第1電極と第2電極との間に、対応する前記第1ハンダ接合部及び第2ハンダ接合部をそれぞれ介して前記半導体素子が交互に複数架設され、
前記複数の半導体素子が、電気的に直列接続される請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記半導体素子は熱電変換素子である請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015221944A JP6586352B2 (ja) | 2015-11-12 | 2015-11-12 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015221944A JP6586352B2 (ja) | 2015-11-12 | 2015-11-12 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017092295A true JP2017092295A (ja) | 2017-05-25 |
JP6586352B2 JP6586352B2 (ja) | 2019-10-02 |
Family
ID=58770932
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015221944A Active JP6586352B2 (ja) | 2015-11-12 | 2015-11-12 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6586352B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019169702A (ja) * | 2018-03-21 | 2019-10-03 | アールエムティー リミテッド | 熱電マイクロ冷却器(変形)を製造する方法 |
WO2020203611A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | リンテック株式会社 | 熱電変換材料のチップへのハンダ受理層形成方法 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0410674A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-14 | Komatsu Ltd | 熱電モジュールの製造方法 |
JP2000058930A (ja) * | 1998-08-06 | 2000-02-25 | Morikkusu Kk | 熱電素子およびその製造方法 |
JP2001257389A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Morix Co Ltd | 熱電素子の製造方法 |
JP2002164585A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-06-07 | Hitachi Ltd | 熱電変換モジュール |
JP2003017766A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-17 | Seiko Instruments Inc | 熱電素子の製造方法 |
JP2004207486A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Okano Electric Wire Co Ltd | 熱電変換モジュールの製造方法 |
JP2005136075A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Kyocera Corp | 熱電変換モジュール及びその製造方法 |
JP2006041243A (ja) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Kyocera Corp | 熱電モジュール及びその製造方法並びに冷却装置 |
JP2006066822A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Denso Corp | 熱電変換装置 |
JP2011029295A (ja) * | 2009-07-23 | 2011-02-10 | Fujitsu Ltd | 熱電変換モジュール及びその製造方法 |
JP2014078663A (ja) * | 2012-10-12 | 2014-05-01 | Hitachi Chemical Co Ltd | 熱電変換素子組立体及び熱電変換モジュール及びその製造方法 |
WO2014199541A1 (ja) * | 2013-06-11 | 2014-12-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 熱電変換モジュール |
-
2015
- 2015-11-12 JP JP2015221944A patent/JP6586352B2/ja active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0410674A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-14 | Komatsu Ltd | 熱電モジュールの製造方法 |
JP2000058930A (ja) * | 1998-08-06 | 2000-02-25 | Morikkusu Kk | 熱電素子およびその製造方法 |
JP2001257389A (ja) * | 2000-03-10 | 2001-09-21 | Morix Co Ltd | 熱電素子の製造方法 |
JP2002164585A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-06-07 | Hitachi Ltd | 熱電変換モジュール |
JP2003017766A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-17 | Seiko Instruments Inc | 熱電素子の製造方法 |
JP2004207486A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Okano Electric Wire Co Ltd | 熱電変換モジュールの製造方法 |
JP2005136075A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Kyocera Corp | 熱電変換モジュール及びその製造方法 |
JP2006041243A (ja) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Kyocera Corp | 熱電モジュール及びその製造方法並びに冷却装置 |
JP2006066822A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Denso Corp | 熱電変換装置 |
JP2011029295A (ja) * | 2009-07-23 | 2011-02-10 | Fujitsu Ltd | 熱電変換モジュール及びその製造方法 |
JP2014078663A (ja) * | 2012-10-12 | 2014-05-01 | Hitachi Chemical Co Ltd | 熱電変換素子組立体及び熱電変換モジュール及びその製造方法 |
WO2014199541A1 (ja) * | 2013-06-11 | 2014-12-18 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 熱電変換モジュール |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019169702A (ja) * | 2018-03-21 | 2019-10-03 | アールエムティー リミテッド | 熱電マイクロ冷却器(変形)を製造する方法 |
WO2020203611A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | リンテック株式会社 | 熱電変換材料のチップへのハンダ受理層形成方法 |
JPWO2020203611A1 (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6586352B2 (ja) | 2019-10-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6602480B2 (ja) | 半導体装置 | |
CN104040742B (zh) | 热电元件及具备该热电元件的热电模块 | |
TWI600094B (zh) | Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device | |
JP2010109132A (ja) | 熱電モジュールを備えたパッケージおよびその製造方法 | |
JP6041262B2 (ja) | 半導体モジュール | |
JP5214936B2 (ja) | 半導体装置 | |
WO2018025571A1 (ja) | パワー半導体装置 | |
JP2007109942A (ja) | 熱電モジュール及び熱電モジュールの製造方法 | |
CN115274465A (zh) | 电力用半导体装置 | |
JP5243823B2 (ja) | 熱電モジュール | |
JP2012074433A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP6586352B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
EP3933914A1 (en) | Packaging structure, electric vehicle and electronic device | |
JP2017050477A (ja) | 熱電変換モジュール及びその製造方法 | |
JP6690017B2 (ja) | 熱電モジュール | |
JP2009147123A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP6471241B2 (ja) | 熱電モジュール | |
JP6972174B2 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP6011410B2 (ja) | 半導体装置用接合体、パワーモジュール用基板及びパワーモジュール | |
JP7166490B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US20170323801A1 (en) | Method of generating a power semiconductor module | |
WO2022209786A1 (ja) | 熱電変換モジュール | |
JP2015060899A (ja) | 熱電変換モジュールの製造方法 | |
JP2002353522A (ja) | 熱電素子 | |
JP2015167983A (ja) | 接合方法及び接合材料並びに半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180921 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190719 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190813 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190909 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6586352 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |