JP2017090429A - 電気化学センシング試験片の製作方法 - Google Patents
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Abstract
Description
20 電極層
21 検知部
22 読取り部
23 第一電極層
24 第二電極層
30 絶縁部
40 酵素層
50 絶縁層
51 開口
S1 工程
S2 工程
S3 工程
S4 工程
S5 工程
S1A 工程
S1B 工程
Claims (7)
- 電極層を基板上に形成する工程S1と、
検知部及び前記検知部に隣接する読取り部を有する前記電極層に対してエッチングを行うことで、前記電極層の面積を前記基板の面積より小さくする工程S2と、
前記検知部の周縁を被覆するための絶縁部を前記検知部の周囲に形成する工程S3と、
酵素層を前記検知部の上方に形成する工程S4と、
局部を前記酵素層に露出する開口を有する絶縁層を前記酵素層の上方及び前記読取り部の周囲に形成する工程S5と、を包括することを特徴とする電気化学センシング試験片の製作方法。 - 前記工程S1において、前記基板の材質は、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、三酢酸セルロース、ポリ乳酸或いはこれ等をの組合せからなる群のいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の電気化学センシング試験片の製作方法。
- 前記工程S1は、第一電極層を前記基板上に形成する工程S1Aと、第二電極層を前記基板から離れた前記第一電極層の一方に形成することで、前記第一電極層と前記第二電極層とが積層して前記電極層を形成する工程S1Bと、をさらに包括することを特徴とする請求項1に記載の電気化学センシング試験片の製作方法。
- 前記工程S1Aにおいて、前記第一電極層の材質は、チタン、銅、ニッケル、銀、アルミニウム、クロム或いはこれ等の組合せからなる群のいずれかとし、その厚さは、20ナノメートルから3000ナノメートルの間に介し、また、前記工程S1Bにおいて、前記第二電極層の材質は、金、白金、イリジウム、パラジウム或いはこれ等の組合せからなる群のいずれかとし、その厚さは、10ナノメートルから1000ナノメートルの間に介し、且つ前記第二電極層の生物学的感度は前記第一電極層より高いことを特徴とする請求項3に記載の電気化学センシング試験片の製作方法。
- 前記工程S1において、前記電極層の材質は、チタン、銅、ニッケル、銀、アルミニウム、クロム、金、白金、イリジウム、パラジウム或いはこれ等の組合せからなる群のいずれかとすることを特徴とする請求項1に記載の電気化学センシング試験片の製作方法。
- 工程S3において、前記絶縁部の材質は、絶縁インク、フォトレジスト、ドライ式レジストフィルム或いは紫外光硬化インクからなる群のいずれかとし、また、前記工程S5において、前記絶縁層の材質は、絶縁インク、フォトレジスト、ドライ式レジストフィルム或いは紫外光硬化インクからなる群のいずれかとすることを特徴とする請求項1に記載の電気化学センシング試験片の製作方法。
- 工程S3において、前記絶縁部は、リソグラフィエッチングを利用して形成することを特徴とする請求項1に記載の電気化学センシング試験片の製作方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW104137252 | 2015-11-11 | ||
TW104137252A TWI579562B (zh) | 2015-11-11 | 2015-11-11 | Method of Making Electrochemistry Test Specimen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017090429A true JP2017090429A (ja) | 2017-05-25 |
JP6158368B2 JP6158368B2 (ja) | 2017-07-05 |
Family
ID=58663346
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016009358A Expired - Fee Related JP6158368B2 (ja) | 2015-11-11 | 2016-01-21 | センシング試験片の製作方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9823584B2 (ja) |
JP (1) | JP6158368B2 (ja) |
CN (1) | CN106680335A (ja) |
TW (1) | TWI579562B (ja) |
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- 2015-11-11 TW TW104137252A patent/TWI579562B/zh not_active IP Right Cessation
- 2015-12-17 CN CN201510953094.9A patent/CN106680335A/zh active Pending
-
2016
- 2016-01-21 JP JP2016009358A patent/JP6158368B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2016-01-27 US US15/007,577 patent/US9823584B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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TWI579562B (zh) | 2017-04-21 |
JP6158368B2 (ja) | 2017-07-05 |
US9823584B2 (en) | 2017-11-21 |
CN106680335A (zh) | 2017-05-17 |
US20170131639A1 (en) | 2017-05-11 |
TW201716775A (zh) | 2017-05-16 |
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