JP2017090429A - 電気化学センシング試験片の製作方法 - Google Patents

電気化学センシング試験片の製作方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2017090429A
JP2017090429A JP2016009358A JP2016009358A JP2017090429A JP 2017090429 A JP2017090429 A JP 2017090429A JP 2016009358 A JP2016009358 A JP 2016009358A JP 2016009358 A JP2016009358 A JP 2016009358A JP 2017090429 A JP2017090429 A JP 2017090429A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode layer
layer
insulating
test piece
forming
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016009358A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6158368B2 (ja
Inventor
國誠 許
Kuo Chen Hsu
國誠 許
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Cheeshin Tech Co Ltd
CHEESHIN TECHNOLOGY CO Ltd
Original Assignee
Cheeshin Tech Co Ltd
CHEESHIN TECHNOLOGY CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cheeshin Tech Co Ltd, CHEESHIN TECHNOLOGY CO Ltd filed Critical Cheeshin Tech Co Ltd
Publication of JP2017090429A publication Critical patent/JP2017090429A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6158368B2 publication Critical patent/JP6158368B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/704162.5D lithography
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/28Electrolytic cell components
    • G01N27/30Electrodes, e.g. test electrodes; Half-cells
    • G01N27/327Biochemical electrodes, e.g. electrical or mechanical details for in vitro measurements
    • G01N27/3271Amperometric enzyme electrodes for analytes in body fluids, e.g. glucose in blood
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N60/00Superconducting devices
    • H10N60/01Manufacture or treatment
    • H10N60/0268Manufacture or treatment of devices comprising copper oxide
    • H10N60/0661After-treatment, e.g. patterning
    • H10N60/0688Etching

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)

Abstract

【課題】有効反応面積を固定した測定の精確性を向上させた電気化学センシング片を提供する。【解決手段】電極層を基板上に形成し、検知部及び前記検知部に隣接する読取り部を有する電極層に対してエッチングを行うことで、電極層の面積を基板の面積より小さくし、さらに、検知部の周縁を被覆するための絶縁部を検知部の周囲に形成し、酵素層を検知部の上方に形成し、最後に、局部を酵素層に露出する開口を有する絶縁層を酵素層の上方及び前記読取り部の周囲に形成しており、絶縁部を設置することで、被測定物に反応する有効反応面積を固定する。【選択図】図1

Description

本発明は、センシング試験片、特に電気化学センシング試験片の製作方法に関するものである。
医療科学の進歩に伴い、治療し難く且つ発作を繰り返す慢性疾患が人間の死亡の主因となり、さらに現代人は多忙な生活を送り、病院に出向いて精密な健康検査を行う時間が取り辛いため、疾患の予防や早期診断及び早期治療等の目的を達成させるための、病因の判断や生理状態のモニタリングを補助することができる在宅型検出用具が次々と出現している。
一般的な在宅型検出用具は、主に、検出マシーンと、検出マシーンで検出させるための試験片とに分けることができ、被測定物質を試験片に接触させると、検出マシーンはすぐさま検出を行うことができ、この試験片の製作方法として、例えば、特許文献1にある「Method of fabricating test strip of biological fluid」があり、その製作方法は、まず、金属イオンをインクプリントで導電しないシート材にプリントしてプリント金属配線を形成し、次に、前記プリント金属配線に対して表面処理を行うことで前記金属イオンを露出し、さらに、露出した金属イオンに対して化学メッキを行い、前記プリント金属配線上に電極エリアを形成し、且つ前記電極エリア上に誘導層を形成し、最後に、中間層を前記プリント金属配線上に被覆し、且つ前記誘導層及び前記電極エリアを露出させ、被測定物質を受け入れるために用いる開口を有している。
しかし、インクプリントを利用する方法は、コストを低減することができるものの、電極、即ちプリント金属配線の側辺が不規則なエッジを形成してしまい、被測定物質に接触する有効反応面積を固定することができず、測定の精確性に影響を及ぼし、さらに、前記誘導層を形成する時、前記誘導層は前記電極エリア層の側面と空隙を形成し易く、有効反応面積が固定できないという問題も引き起こすことから、測定の精確性を向上させるためにどのように有効反応面積を固定するかが課題となっている。
米国特許公開第US20140284304号
本発明の主な目的は、有効反応面積を固定することができず、測定の精確性が低いという問題を解決することにある。
上述した目的を達成するため、本発明は、電極層を基板上に形成する工程S1と、検知部及び前記検知部に隣接する読取り部を有する前記電極層に対してエッチングを行うことで、前記電極層の面積を前記基板の面積より小さくする工程S2と、前記検知部の周縁を被覆するための絶縁部を前記検知部の周囲に形成する工程S3と、酵素層を前記検知部の上方に形成する工程S4と、局部を前記酵素層に露出する開口を有する絶縁層を前記酵素層の上方及び前記読取り部の周囲に形成する工程S5と、を包括する電気化学センシング試験片の製作方法を提供している。
上述したことから、本発明は以下のような利点を有している。
第一に、前記絶縁部が被覆した前記検知部の周縁によって、前記被測定物が前記検知部に接触する有効反応面積を固定することができ、測定の精確性を向上することができる。
第二に、前記絶縁部及び前記絶縁層を前記電極層の周囲に設置することによって、前記電極層の側辺が露出して測定の精確性に影響を及ぼすという問題を防ぐことができる。
本発明に係る第一実施例を示すフローチャートである。 本発明に係る第一実施例を示す斜視図である。 図2AにあるA−A線断面図である。 本発明に係る第一実施例の局部を示す斜視図である。 本発明に係る第一実施例の一連の製作工程を示す模式図である。 本発明に係る第一実施例の一連の製作工程を示す模式図である。 本発明に係る第一実施例の一連の製作工程を示す模式図である。 本発明に係る第一実施例の一連の製作工程を示す模式図である。 本発明に係る第一実施例の一連の製作工程を示す模式図である。 本発明に係る第一実施例の一連の製作工程を示す模式図である。 本発明に係る第二実施例を示すフローチャートである。
本発明の詳細な説明及び技術的内容について、図面を参照しつつ以下において説明する。
図1乃至図4Fを参照すると、本発明は、電気化学センシング試験片の製作方法であって、下記のような工程を包括している。
まず、工程S1は、電極層20を基板10上に形成しており、そのうち、前記基板10の材質は、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、三酢酸セルロース、ポリ乳酸或いはこれ等の組合せとすることができる。また、本実施例において、前記工程S1は、後述のような工程をさらに包括している。
工程S1Aは、図4Aのように、第一電極層23を前記基板10上に形成しており、そのうち、前記第一電極層23の材質は、チタン、銅、ニッケル、銀、アルミニウム、クロム或いはこれ等を組合せた金属合金等とすることができ、且つその厚さは、20ナノメートルから3000ナノメートルの間に介している。
工程S1Bは、図4Bのように、第二電極層24を前記基板10から離れた前記第一電極層23の一方に形成しており、前記第二電極層24の材質は、金、白金、イリジウム、パラジウム或いはこれ等の組合せ等とすることができ、その厚さは、10ナノメートルから1000ナノメートルの間に介し、且つ前記第二電極層24は被測定物に接触する必要があるため、前記第二電極層24の生物学的感度は前記第一電極層23より高く、測定上の精確性を向上することができ、また、前記第二電極層24の単価が高価なことから、同様の厚さでも、二層にした方が前記第二電極層24だけ設置したものより低価で、コストを有効的に低減することができ、そのうち、前記第二電極層24は、電気メッキやスパッタリング等によって前記第一電極層23上に形成することができる。
次に、工程S2は、図4Cのように、検知部21及び前記検知部21に隣接してマシーン(図示されていない)に読み取らせるために用いる読取り部22を有する前記電極層20の四周に対してエッチングを行うことで、前記電極層20の面積を前記基板10の面積より小さくしており、つまり、図3のように、前記第二電極層24は、一括に延在して前記読取り部22の位置に設置しているが、前記読取り部22の位置では被測定物に直接接触することができないため、前記第二電極層24を前記検知部21の設置することとなり、前記読取り部22の位置は前記第一電極層23だけが形成することとなることから、コストをさらに低減することができる。
次に、工程S3は、図3及び図4Dのように、前記検知部21の周縁を被覆するための絶縁部30を前記検知部21の周囲に形成しており、その製作工程は、まず前記電極層20の前記検知部21の周囲及び前記検知部21の上方に前記絶縁部30を形成し、リソグラフィエッチングを利用して前記検知部21に形成する前記絶縁部30の一部分をエッチングし、前記絶縁部30を前記検知部21の周縁だけ被覆するようにしているが、これに限定するものではない。また、前記絶縁部30の材質は、絶縁インク、フォトレジスト、ドライ式レジストフィルム或いは紫外光硬化インク等とすることができる。
次に、工程S4は、酵素層40を前記検知部21の上方に形成しており、図4Eのように、前記酵素層40の一部分は、前記絶縁部30の周囲に形成することもある。
最後に、工程S5は、図4Fのように、局部を前記酵素層40に露出する開口51を有する絶縁層50を前記酵素層40の上方及び前記読取り部22の周囲に形成しており、前記開口51の形成方法は、先程のリソグラフィエッチングを利用することが可能であるが、これに限定するものではない。前記絶縁層50の材質は、絶縁インク、フォトレジスト、ドライ式レジストフィルム或いは紫外光硬化インク等とすることができる。
本実施例を上述した工程のとおりに製作を完了すると、その外観は、図2Aのように図示され、そのA−A線断面は、図2Bのように図示され、検出する際、被測定物を前記開口51から入れて前記酵素層40と前記検知部21とに接触させ、且つもう一つの電気化学センシング試験片を参考電極として使用するだけで、検出を行うことができる。また、前記絶縁部30は、前記電極層20の周囲及び前記電極層20の前記検知部21の周縁上に形成するため、被測定物が前記読取り部22に蔓延することを防止し、且つ被測定物と前記検知部21とが接触する有効反応面積を固定することができることから、測定上の精確性を向上することができ、また、前記絶縁部30と前記絶縁層50とは、前記電極層20の側辺の露出を防ぐため、前記電極層20の側辺が外部の空気に接触することを低減し、且つ前記電極層20の側辺が被測定物と前記酵素層40とに接触して測定の精確性に影響を及すという問題を防いでいる。
また、図5のように、本発明に係る第二実施例であって、第一実施例と比較すると、前記工程S1A及び前記工程S1Bを包括しておらず、前記電極層20を一層だけ形成していることから、工程の複雑性を低減することができ、また、前記電極層20の材質は、チタン、銅、ニッケル、銀、アルミニウム、クロム、金、白金、イリジウム、パラジウム或いはこれ等の組合せ等とすることができる。
以上のことから、本願発明は、以下のような特徴を有している。
第一に、前記第二電極層の生物学的感度が前記第一電極層より高いため、測定上の精確性を向上することができ、且つ、前記第二電極層の単価が高価なことから、二層とすることでコストを低減することができる。
第二に、リソグラフィエッチングを利用して前記絶縁部を前記検知部の周囲に形成し、前記検知部の周縁上に被覆することで、被測定物が前記読取り部に蔓延することを防止し、且つ被測定物と前記検知部とが接触する有効反応面積を固定することができることから、測定上の精確性を向上することができる。
第三に、前記絶縁部と前記絶縁層とを設置することで、前記電極層の側辺の露出によって測定の精確性に影響を及すという問題を防いでいる。
10 基板
20 電極層
21 検知部
22 読取り部
23 第一電極層
24 第二電極層
30 絶縁部
40 酵素層
50 絶縁層
51 開口
S1 工程
S2 工程
S3 工程
S4 工程
S5 工程
S1A 工程
S1B 工程

Claims (7)

  1. 電極層を基板上に形成する工程S1と、
    検知部及び前記検知部に隣接する読取り部を有する前記電極層に対してエッチングを行うことで、前記電極層の面積を前記基板の面積より小さくする工程S2と、
    前記検知部の周縁を被覆するための絶縁部を前記検知部の周囲に形成する工程S3と、
    酵素層を前記検知部の上方に形成する工程S4と、
    局部を前記酵素層に露出する開口を有する絶縁層を前記酵素層の上方及び前記読取り部の周囲に形成する工程S5と、を包括することを特徴とする電気化学センシング試験片の製作方法。
  2. 前記工程S1において、前記基板の材質は、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、三酢酸セルロース、ポリ乳酸或いはこれ等をの組合せからなる群のいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の電気化学センシング試験片の製作方法。
  3. 前記工程S1は、第一電極層を前記基板上に形成する工程S1Aと、第二電極層を前記基板から離れた前記第一電極層の一方に形成することで、前記第一電極層と前記第二電極層とが積層して前記電極層を形成する工程S1Bと、をさらに包括することを特徴とする請求項1に記載の電気化学センシング試験片の製作方法。
  4. 前記工程S1Aにおいて、前記第一電極層の材質は、チタン、銅、ニッケル、銀、アルミニウム、クロム或いはこれ等の組合せからなる群のいずれかとし、その厚さは、20ナノメートルから3000ナノメートルの間に介し、また、前記工程S1Bにおいて、前記第二電極層の材質は、金、白金、イリジウム、パラジウム或いはこれ等の組合せからなる群のいずれかとし、その厚さは、10ナノメートルから1000ナノメートルの間に介し、且つ前記第二電極層の生物学的感度は前記第一電極層より高いことを特徴とする請求項3に記載の電気化学センシング試験片の製作方法。
  5. 前記工程S1において、前記電極層の材質は、チタン、銅、ニッケル、銀、アルミニウム、クロム、金、白金、イリジウム、パラジウム或いはこれ等の組合せからなる群のいずれかとすることを特徴とする請求項1に記載の電気化学センシング試験片の製作方法。
  6. 工程S3において、前記絶縁部の材質は、絶縁インク、フォトレジスト、ドライ式レジストフィルム或いは紫外光硬化インクからなる群のいずれかとし、また、前記工程S5において、前記絶縁層の材質は、絶縁インク、フォトレジスト、ドライ式レジストフィルム或いは紫外光硬化インクからなる群のいずれかとすることを特徴とする請求項1に記載の電気化学センシング試験片の製作方法。
  7. 工程S3において、前記絶縁部は、リソグラフィエッチングを利用して形成することを特徴とする請求項1に記載の電気化学センシング試験片の製作方法。
JP2016009358A 2015-11-11 2016-01-21 センシング試験片の製作方法 Expired - Fee Related JP6158368B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW104137252 2015-11-11
TW104137252A TWI579562B (zh) 2015-11-11 2015-11-11 Method of Making Electrochemistry Test Specimen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017090429A true JP2017090429A (ja) 2017-05-25
JP6158368B2 JP6158368B2 (ja) 2017-07-05

Family

ID=58663346

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016009358A Expired - Fee Related JP6158368B2 (ja) 2015-11-11 2016-01-21 センシング試験片の製作方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9823584B2 (ja)
JP (1) JP6158368B2 (ja)
CN (1) CN106680335A (ja)
TW (1) TWI579562B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022552666A (ja) * 2019-10-23 2022-12-19 東友ファインケム株式会社 バイオセンサー

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01284748A (ja) * 1988-05-11 1989-11-16 Omron Tateisi Electron Co センサ接続用コネクタ
JPH0894573A (ja) * 1994-09-20 1996-04-12 Toppan Printing Co Ltd 酵素電極
JP2002189012A (ja) * 2000-12-20 2002-07-05 Sankyo Co Ltd 酵素電極用白金電極及びその製造方法
JP2003315302A (ja) * 2002-04-24 2003-11-06 Tama Electric Co Ltd バイオセンサ及びその製造方法
WO2005043146A1 (ja) * 2003-10-30 2005-05-12 Arkray, Inc. バイオセンサおよびその製造方法
JP2005345243A (ja) * 2004-06-02 2005-12-15 Toshiba Corp 核酸検出基板および該装置を使用する核酸検出方法
JP2006308458A (ja) * 2005-04-28 2006-11-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd バイオセンサ
US20090095625A1 (en) * 2007-10-12 2009-04-16 Forrow Nigel J Mediator-Stabilized Reagent Compositions for Use in Biosensor Electrodes
JP2014153279A (ja) * 2013-02-12 2014-08-25 Dainippon Printing Co Ltd バイオセンサ用電極の製造方法、バイオセンサの製造方法およびバイオセンサ用転写箔

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1563970A (zh) * 2004-03-22 2005-01-12 中国科学院电子学研究所 电化学传感器胆固醇试条和所用试剂的制备方法
US20080020452A1 (en) * 2006-07-18 2008-01-24 Natasha Popovich Diagnostic strip coding system with conductive layers
WO2008040997A1 (en) * 2006-10-05 2008-04-10 Lifescan Scotland Limited A test strip comprising patterned electrodes
US8696917B2 (en) * 2009-02-09 2014-04-15 Edwards Lifesciences Corporation Analyte sensor and fabrication methods
KR20120049723A (ko) * 2010-11-09 2012-05-17 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 캄파니 전기화학적 바이오 센서용 전극 스트립 및 그 제조방법
KR101466222B1 (ko) * 2012-06-01 2014-12-01 주식회사 아이센스 정확도가 향상된 전기화학적 바이오센서
WO2014070383A1 (en) * 2012-10-30 2014-05-08 Edwards Lifesciences Corporation Analyte sensor and fabrication methods
TW201437636A (zh) 2013-03-22 2014-10-01 Ichia Tech Inc 生物液體的測試片製作方法及其結構
KR101489154B1 (ko) * 2014-06-26 2015-02-03 국민대학교산학협력단 잔류응력을 이용한 나노갭 센서의 제조방법 및 이에 의해 제조되는 나노갭 센서
US10473611B2 (en) * 2014-10-22 2019-11-12 Arkray, Inc. Electrochemical sensor and method for producing electrochemical sensor

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01284748A (ja) * 1988-05-11 1989-11-16 Omron Tateisi Electron Co センサ接続用コネクタ
JPH0894573A (ja) * 1994-09-20 1996-04-12 Toppan Printing Co Ltd 酵素電極
JP2002189012A (ja) * 2000-12-20 2002-07-05 Sankyo Co Ltd 酵素電極用白金電極及びその製造方法
JP2003315302A (ja) * 2002-04-24 2003-11-06 Tama Electric Co Ltd バイオセンサ及びその製造方法
WO2005043146A1 (ja) * 2003-10-30 2005-05-12 Arkray, Inc. バイオセンサおよびその製造方法
JP2005345243A (ja) * 2004-06-02 2005-12-15 Toshiba Corp 核酸検出基板および該装置を使用する核酸検出方法
JP2006308458A (ja) * 2005-04-28 2006-11-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd バイオセンサ
US20090095625A1 (en) * 2007-10-12 2009-04-16 Forrow Nigel J Mediator-Stabilized Reagent Compositions for Use in Biosensor Electrodes
JP2014153279A (ja) * 2013-02-12 2014-08-25 Dainippon Printing Co Ltd バイオセンサ用電極の製造方法、バイオセンサの製造方法およびバイオセンサ用転写箔

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022552666A (ja) * 2019-10-23 2022-12-19 東友ファインケム株式会社 バイオセンサー
JP7352022B2 (ja) 2019-10-23 2023-09-27 東友ファインケム株式会社 バイオセンサー

Also Published As

Publication number Publication date
TWI579562B (zh) 2017-04-21
JP6158368B2 (ja) 2017-07-05
US9823584B2 (en) 2017-11-21
CN106680335A (zh) 2017-05-17
US20170131639A1 (en) 2017-05-11
TW201716775A (zh) 2017-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5782582B1 (ja) 感圧素子、圧力センサ、および感圧素子製造方法
TWI543035B (zh) 觸控螢幕面板及其製造方法
JP5624939B2 (ja) 露光領域間のパターンシフト量に対する測定方法及び測定マーク
JP4418030B2 (ja) 電気化学測定装置を用いて目的物質を検出または定量する方法、電気化学測定装置、および電気化学測定用電極板
TWI466658B (zh) 生物感測試紙的製造方法、生物感測試紙電極圖案的製造方法以及生物感測試紙
JP5861652B2 (ja) 金めっき層を有するステンレス基板
US7348772B2 (en) Printed circuit board having weak magnetic field sensor and method of manufacturing the same
JP6158368B2 (ja) センシング試験片の製作方法
JP2007067272A (ja) Tab用テープキャリアおよびその製造方法
JP2007158249A (ja) 配線回路基板およびその製造方法
KR20220027835A (ko) 생체의료 센서용 밴드 제조 공정 및 그 공정에 따라 생산된 밴드
JP4914403B2 (ja) 細胞外マイクロ電極及びその製造方法
JP5925365B1 (ja) 光学式エンコーダ用格子板および光学式エンコーダ用格子板の製造方法
JP2018128439A (ja) エッチング液を使用せずに製造されたバイオセンサー試験紙及びその製造方法
JP6443979B2 (ja) リードフレーム及びその製造方法
CN114710887A (zh) 一种用于改善线路顶部狗牙缺陷的方法
Perumal et al. Mask design and fabrication of Micro/Nanowire biochip for reliable and repeatability pattern transfer
JP2004093406A (ja) 溶液測定用微小電極、電気化学測定用装置、電極の製造方法、及び溶液測定方法
KR20210112137A (ko) 전기화학센서 및 이의 제조방법
JP2005223272A (ja) 薄膜型チップ抵抗器の製造方法
TW201243339A (en) Light board for checking a flat display device and manufacture method of the same
TWI611182B (zh) 生物感測試片的基底結構及生物感測試片的製作方法
JP2005337811A (ja) 配線回路基板の導通検査方法
TWI412748B (zh) 探針及其製作方法
JP5405361B2 (ja) 平面型生物測定シートの製造方法及びその製品

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170412

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170516

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170607

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6158368

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees