JP2017085081A - 分布ブラッグ反射器を有する発光ダイオードチップ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】DBRは、交互に積層された低屈折率を有する第1材料層および高屈折率を有する第2材料層を含み、可視領域の中心波長(λ:554nm)に対して、0.25λ+10%より大きい光学厚さを有する第1群の第1材料層と、0.25λ+10%より小さく0.25λ-10%より大きい光学厚さを有する第2群の第1材料層とが交互に配置された第1領域と、0.25λ-10%より小さい光学厚さを有し連続して配置された第3群の第1材料層を含む第2領域と、第1領域と第2領域との間に位置し、0.25λ-10%より小さい光学厚さを有する第1材料層、および0.25λより大きい光学厚さを有する第1材料層を含む第3領域と、を含む。これにより、入射角が増加してもストップバンドにリップルが発生しないDBRを提供できる。
【選択図】図5
Description
第1領域は、中心波長(λ)付近および中心波長より長波長のスペクトル領域での反射率を高めるために設けられる。よって、第1領域の第1材料層および第2材料層の光学厚さは、大体0.25λ付近または0.25λより大きい。
第2領域は、中心波長(λ)より短波長のスペクトル領域での反射率を高めるために設けられる。よって、第2領域の第1材料層および第2材料層の光学厚さは、大体0.25λより小さい。
第3領域は、第1領域と第2領域との間に配置され、互いに異なる反射帯域を有するDBRを互いに重畳するときに発生するリップルを除去するために配置される。
Claims (20)
- 活性層を含む発光構造体と、
前記発光構造体から放出された光を反射するように前記発光構造体の一側に配置された分布ブラッグ反射器(DBR)と、を含み、
前記DBRは、
交互に積層された低屈折率を有する第1材料層および高屈折率を有する第2材料層を含み、可視領域の中心波長(λ:554nm)に対して、
0.25λ+10%より大きい光学厚さを有する第1群の第1材料層と、0.25λ+10%より小さく0.25λ-10%より大きい光学厚さを有する第2群の第1材料層とが交互に配置された第1領域と、
0.25λ-10%より小さい光学厚さを有し連続して配置された第3群の第1材料層を含む第2領域と、
前記第1領域と第2領域との間に位置し、0.25λ-10%より小さい光学厚さを有する第1材料層および0.25λより大きい光学厚さを有する第1材料層を含む第3領域と、を含み、
前記第1領域が、前記第2領域より前記発光構造体により近くに位置する発光ダイオードチップ。 - 前記第1群の第1材料層は、0.3λ+10%より小さい光学厚さを有する第1材料層を含み、
前記第3群の第1材料層は、0.2λ-10%より大きい光学厚さを有する、請求項1に記載の発光ダイオードチップ。 - 前記第1領域内の第1材料層の光学厚さ偏差が、前記第2領域内の第1材料層の光学厚さ偏差より大きい、請求項2に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記第1領域内の第2材料層は、0.25λ+10%より大きい光学厚さを有する第1群の第2材料層、および0.25λ-10%より大きく0.25λ+10%より小さい光学厚さを有する第2群の第2材料層を含み、
前記第2領域内の第2材料層は、0.25λ-10%より小さい光学厚さを有し連続して配置された第3群の第2材料層を含み、
前記第3領域内の第2材料層は、0.25λ-10%より小さい第2材料層、および0.25λより大きく0.25λ+10%より小さい光学厚さを有する第2材料層を含む、請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の発光ダイオードチップ。 - 前記第1群の第2材料層は、0.25λ+20%より小さい光学厚さを有する、請求項4に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記第1群の第2材料層の光学厚さの平均値は、前記第1群の第1材料層の光学厚さの平均値より小さい、請求項5に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記第1領域内の第2材料層の光学厚さ偏差が、前記第2領域内の第2材料層の光学厚さ偏差より大きい、請求項4に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記第3領域内の第2材料層は、0.25λ+10%より大きい光学厚さを有する第2材料層をさらに含む、請求項4に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記DBRは、前記第3領域内に位置し、0.25λ-10%より大きく0.25λより小さい光学厚さを有する第1材料層をさらに含む、請求項8に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記発光構造体と前記DBRとの間に配置された基板をさらに含む、請求項1に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記基板は、パターニングされたサファイア基板(PSS)である、請求項10に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記基板と前記DBRとの間に前記DBR内の第1材料層と同一材料で形成され、前記第1材料層より相対的にさらに分厚い界面層をさらに含む、請求項10に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記界面層に対向して前記DBRの最終層上に位置するが、前記DBR内の第1材料層と同一材料で形成され、前記第1材料層より相対的にさらに分厚い表面層をさらに含む、請求項12に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記発光構造体を間に置き、前記DBRに対向して配置された基板をさらに含む、請求項1に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記活性層は、青色光を生成する、請求項1に記載の発光ダイオードチップ.
- 前記第1材料層は、SiO2層で、
前記第2材料層は、TiO2層である、請求項1に記載の発光ダイオードチップ。 - 第1波長の光を放出する活性層を含む発光構造体と、
前記発光構造体から放出された光を反射するように前記発光構造体の一側に配置された分布ブラッグ反射器(DBR)と、を含み、
前記DBRは、
交互に積層された低屈折率を有する第1材料層および高屈折率を有する第2材料層を含み、前記第1波長より75nmないし125nm範囲内の長さほど長い第2波長(λ)に対して、
0.25λ+10%より大きい光学厚さを有する第1群の第1材料層と、0.25λ+10%より小さく0.25λ-10%より大きい光学厚さとを有する第2群の第1材料層とが交互に配置された第1領域と、
0.25λ-10%より小さい光学厚さを有し連続して配置された第3群の第1材料層を含む第2領域と、
前記第1領域と第2領域との間に位置し、0.25λ-10%より小さい光学厚さを有する第1材料層、および0.25λより大きい光学厚さを有する第1材料層を含む第3領域と、を含み、
前記第1領域が、前記第2領域より前記発光構造体により近くに位置する発光ダイオードチップ。 - 前記第1群の第1材料層は、0.3λ+10%より小さい厚さを有する第1材料層を含み、
前記第3群の第1材料層は、0.2λ-10%より大きい厚さを有する、請求項17に記載の発光ダイオードチップ。 - 前記第1領域内の第1材料層の光学厚さ偏差が、前記第2領域内の第1材料層の光学厚さ偏差より大きい、請求項17に記載の発光ダイオードチップ。
- 前記第1領域内の第2材料層は、0.25λ+10%より大きい光学厚さを有する第1群の第2材料層、および0.25λ-10%より大きく0.25λ+10%より小さい光学厚さを有する第2群の第2材料層を含み、
前記第2領域内の第2材料層は、0.25λ-10%より小さい光学厚さを有し連続して配置された第3群の第2材料層を含み、
前記第3領域内の第2材料層は、0.25λ-10%より小さい第2材料層、および0.25λより大きく0.25λ+10%より小さい光学厚さを有する第2材料層を含む、請求項15乃至請求項17のいずれか1項に記載の発光ダイオードチップ。
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