JP2017083253A

JP2017083253A - 測定用治具

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Publication number: JP2017083253A
Application number: JP2015210667A
Authority: JP
Inventors: 康海中島; Yasumi Nakajima; 宏太西村; Kota Nishimura
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2015-10-27
Filing date: 2015-10-27
Publication date: 2017-05-18
Anticipated expiration: 2035-10-27
Also published as: JP6602640B2

Abstract

【課題】測定対象についての被測定量を正確に測定する。【解決手段】チップ部品１００を載置可能な載置面３ａを有する載置部３と、操作部８に対する操作によって第１の向きに移動可能に構成されたスライド部４と、第１の向きへのスライド部４の移動に応じてプローブ部７ａを第２の向きに移動させて載置面３ａに載置されているチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂにプローブ部７ａ，７ｂをそれぞれ接触させて電極１０１ａ，１０１ｂを押圧させる第１移動機構５とを備え、第１移動機構５は、電極１０１ａ，１０１ｂに対するプローブ部７ａ，７ｂの押圧力によってチップ部品１００を保持可能に構成され、プローブ部７ａ，７ｂによってチップ部品１００が保持されている保持状態においてチップ部品１００から載置面３ａが離間する第３の向きＤ３に載置部３を移動させる第２移動機構６を備えている。【選択図】図１１

Description

本発明は、測定対象を載置する載置部と、測定対象の一対の被接触部に一対のプローブ部を接触させる第１移動機構とを備えた測定用治具に関するものである。

この種の測定用治具として、下記特許文献１において出願人が開示した測定治具が知られている。この測定治具は、基台および電極スライド機構を備えて構成されている。電極スライド機構は、被測定物を保持する保持台部と、プローブ部として機能する電極板を支持すると共に基台に固定された固定電極支持体と、電極板を支持すると共に固定電極支持体に対して接離する方向に移動可能に基台に配設された可動電極支持体と、可動電極支持体を固定電極支持体に向けて付勢する付勢バネとを備えている。この測定治具を用いて被測定物の測定を行う際には、可動電極支持体に取り付けられている操作用ノブを把持し、次いで、付勢バネの付勢力に抗して、可動電極支持体を固定電極支持体から離間する向きにスライドさせる。この際に、固定電極支持体に支持されている電極板の先端部と可動電極支持体に支持されている電極板の先端部との間隔が広がる。続いて、各電極板の先端部の間に被測定物が位置するようにして、保持台部における受け台の上に被測定物を載置する。次いで、操作用ノブを把持した状態を維持しつつ、付勢バネの付勢力に抗する力を緩めて可動電極支持体を固定電極支持体に近接する向きにスライドさせる。この際に、付勢バネの付勢力によって各電極板の先端部が被測定物の電極に押し付けられて接触する。次いで、測定を開始する。

特開２０１４−２０８１９号公報（第５−１１頁、第１−５図）

ところが、出願人が開示している上記の測定治具には、改善すべき以下の課題が存在する。すなわち、この測定治具では、被測定物を受け台の上に載置した状態で電極板を被測定物の電極に接触させて測定を行っている。ここで、被測定物の絶縁抵抗を測定する際には、電極板を介して被測定物の電極に直流電圧を印加し、被測定物に流れる電流を検出し、その電流値に基づいて絶縁抵抗を算出する。この場合、上記の測定治具では、被測定物が受け台の上に載置され、被測定物と受け台とが接触している。このため、この測定治具には、被測定物と受け台とが接触していることに起因して被測定物から受け台に流れる微小な漏れ電流の影響によって、被測定物の絶縁抵抗を正確に測定するのが困難となるおそれがあるという課題が存在する。

本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、測定対象についての被測定量を正確に測定し得る測定用治具を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく、請求項１記載の測定用治具は、測定対象を載置可能な載置面を有する載置部と、操作部に対する操作によって予め決められた第１の向きに移動可能に構成されたスライド部と、前記第１の向きへの前記スライド部の移動に応じて一対のプローブ部の少なくとも一方を移動対象として予め決められた第２の向きに当該移動対象のプローブを移動させて前記載置面に載置されている前記測定対象における対向する一対の被接触部に当該各プローブ部をそれぞれ接触させて当該被接触部を押圧させる第１移動機構とを備えた測定用治具であって、前記第１移動機構は、前記被接触部に対する前記各プローブ部の押圧力によって前記測定対象を保持可能に構成され、前記各プローブ部によって前記測定対象が保持されている保持状態において当該測定対象から前記載置面が離間する第３の向きに前記載置部を移動させる第２移動機構を備えている。

また、請求項２記載の測定用治具は、請求項１記載の測定用治具において、前記第２移動機構は、前記第１の向きへの前記スライド部の移動に応じて前記載置部を移動させる。

また、請求項３記載の測定用治具は、請求項２記載の測定用治具において、前記第１移動機構は、前記スライド部が前記第１の向きに沿って基準位置から第１位置に移動したときに前記接触状態となるように前記移動対象のプローブを前記第２の向きに移動させ、前記第２移動機構は、前記スライド部が前記第１の向きに沿って前記第１位置からさらに移動したときに前記第３の向きに前記載置部を移動させる。

また、請求項４記載の測定用治具は、請求項３記載の測定用治具において、前記第２移動機構は、前記スライド部に取り付けられて当該スライド部の移動に伴って移動すると共に前記第３の向きに傾斜する傾斜面を有する当接部と、前記載置部を支持する支持部と、当該支持部に取り付けられて、前記スライド部が前記第１位置に位置したときに前記傾斜面に当接して前記第３の向きに押圧される被当接部とを備えて構成されている。

また、請求項５記載の測定用治具は、請求項１から４のいずれかに記載の測定用治具において、前記第１移動機構は、前記移動対象のプローブを保持して前記第２の向きに移動する保持部と、前記各プローブ部同士を任意の離間距離だけ離間させた状態で前記第２の向きへの前記保持部の移動を規制する移動規制部とを備えている。

請求項１記載の測定用治具によれば、被接触部に対する各プローブ部の押圧力によって測定対象を保持可能に第１移動機構を構成し、各プローブ部によって測定対象が保持されている保持状態において測定対象から載置面が離間する第３の向きに載置部を移動させる第２移動機構を備えたことにより、載置部と測定対象とを離間させた状態で測定対象の被測定量の測定を行うことができるため、測定対象から載置部に流れる漏れ電流による影響を低減することができる結果、被測定量を正確に測定することができる。

また、請求項２記載の測定用治具によれば、第１の向きへのスライド部の移動に応じて載置部を移動させるように第２移動機構を構成したことにより、例えば、スライド部を移動させるための操作部とは別に第２移動機構の専用の操作部を設ける構成と比較して、測定用治具の構成を簡略化することができる。

また、請求項３記載の測定用治具では、スライド部が第１の向きに沿って基準位置から第１位置に移動したときに接触状態となるように移動対象のプローブを第２の向きに移動可能に第１移動機構が構成され、スライド部が第１の向きに沿って第１位置からさらに移動したときに第３の向きに載置部を移動可能に第２移動機構が構成されている。このため、この測定用治具によれば、第２の向きへの移動対象のプローブの移動（被接触部に対する各プローブ部の接触）と、第３の向きへの載置部の移動（測定対象からの載置部の離間）とを、操作部に対する操作によって第１の向きにスライド部を移動させる１つの動作で連続的に行うことができる結果、操作性を十分に向上させることができる。

また、請求項４記載の測定用治具によれば、スライド部の移動に伴って移動すると共に第３の向きに向けて傾斜する傾斜面を有する当接部と、載置部を支持する支持部と、支持部に取り付けられて、スライド部が第１位置に位置したときに傾斜面に当接して第３の向きに押圧される被当接部とを備えて第２移動機構を構成したことにより、簡易な構成でありながら載置部を第３の向きに確実に移動させることができる。

また、請求項５記載の測定用治具によれば、各プローブ部同士を任意の離間距離だけ離間させた状態で第２の向きへの保持部の移動を規制する移動規制部を備えたことにより、測定対象の被当接部がプローブ部によって過度に押圧されて損傷する事態を確実に防止することができる。

測定用治具１の斜視図である。本体部２の外カバー２ｃを取り外した測定用治具１の斜視図である。本体部２の外カバー２ｃ、内カバー２ｈおよびプレート２ｉを取り外した測定用治具１の斜視図である。図３の測定用治具１を他の視点から見た斜視図である。測定用治具１の平面図である。測定用治具１の分解斜視図である。測定用治具１を下側から見た斜視図である。測定用治具１の背面図である。測定用治具１の動作を説明する第１の説明図である。測定用治具１の動作を説明する第２の説明図である。測定用治具１の動作を説明する第３の説明図である。測定用治具１の動作を説明する第４の説明図である。

以下、測定用治具の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、測定用治具の一例としての図１に示す測定用治具１の構成について説明する。測定用治具１は、図１〜図５に示すように、本体部２、載置部３、スライド部４、第１移動機構５、第２移動機構６、プローブ部７ａ，７ｂ（図５参照：以下、区別しないときには「プローブ部７」ともいう）、および操作部８を備えて、例えば、図９に示す測定対象の一例としてのチップ部品１００を保持すると共に、保持した状態のチップ部品１００に対してプローブ部７を接触可能に構成されている。なお、図２では、本体部２の外カバー２ｃ（図１参照）を取り外した状態で図示し、図３〜図１１では、本体部２の外カバー２ｃ、プレート２ｉ（図２参照）および内カバー２ｈ（同図参照）を取り外した状態で図示している。

本体部２は、図１〜図４に示すように、底面パネル２ａ、正面パネル２ｂ、外カバー２ｃ、内カバー２ｈ、プレート２ｉ、ベースパネル２ｍおよびプローブ保持部２ｎを備えて直方体の箱状に形成され、測定用治具１を構成する各部（載置部３、スライド部４、第１移動機構５、第２移動機構６およびプローブ部７）を収容可能に構成されている。この場合、外カバー２ｃは、天面パネル２ｄ、側面パネル２ｅ，２ｆおよび背面パネル２ｇを備えて構成されている。また、図１に示すように、外カバー２ｃを構成する天面パネル２ｄおよび背面パネル２ｇ、並びに内カバー２ｈには、載置部３にチップ部品１００を保持させる際に、チップ部品１００を出し入れするための開口部２ｊ，２ｋが形成されている。また、天面パネル２ｄには、操作部８を本体部２の外側に突出させる開口部２ｌが形成されている。また、プレート２ｉは、図５に示す第２の向きＤ２および第６の向きＤ６にスライド可能に構成されて、第２の向きＤ２にスライドさせた状態において内カバー２ｈの開口部２ｋを覆うカバーとして機能する。また、プレート２ｉの中央部は、光透過性材料（例えば、光透過性樹脂）で形成されて、開口部２ｋを覆った状態において、載置部３、および載置部３に載置されたチップ部品１００（図９参照）をプレート２ｉの外側から見ることが可能となっている。なお、光透過性材料をレンズ状に形成して、載置部３に載置されたチップ部品１００を拡大して見やすくする構成を採用することもできる。

載置部３は、チップ部品１００を載置するための部材であって、図３〜図６に示すように、第２移動機構６の支持部６３に固定されている。また、図５，９に示すように、載置部３におけるチップ部品１００を載置する載置面３ａには、チップ部品１００を位置決めするための溝部３ｂが形成されている。また、載置面３ａには、載置したチップ部品１００を溝部３ｂに移動させる（誘導する）際の作業性を向上させるための凹部３ｃが形成されている。この場合、凹部３ｃは、図９に示すように、チップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂにプローブ部７ａ，７ｂがそれぞれ接触するときにチップ部品１００が位置する溝部３ｂ内の測定位置Ｐｍよりも同図における左側の部分に連続するようにして形成されている。また、溝部３ｂおよび凹部３ｃは、各々の底面同士が面一となるように形成されている。

スライド部４は、図３〜図６に示すように、レール４１、スライダ４２およびプレート４３を備え、操作部８に対する操作によって第１の向きＤ１（図５参照）に移動可能に構成されている。レール４１は、同図に示すように、長さ方向が第１の向きＤ１に沿うように配置されて本体部２のベースパネル２ｍに固定されている。スライダ４２は、レール４１に配置されて、レール４１上を第１の向きＤ１に沿ってスライド可能に構成されている。プレート４３は、スライダ４２の上に固定されている。また、プレート４３には、図５に示すように、第１の向きＤ１および第２の向きＤ２（この例では、第１の向きＤ１に直交する向き）に対して傾斜する傾斜部４３ａ、並びに第１の向きＤ１に平行な平行部４３ｂが設けられている。

第１移動機構５は、図９に示すように、第１の向きＤ１へのスライド部４の移動に応じて、プローブ部７ａ（移動対象としてのプローブ部７ａ，７ｂの少なくとも一方の一例）を第２の向きＤ２に移動させ、載置部３に載置されているチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂ（対向する一対の被接触部）にプローブ部７ａ，７ｂをそれぞれ接触させて電極１０１ａ，１０１ｂを押圧すると共に、電極１０１ａ，１０１ｂに対するプローブ部７ａ，７ｂの押圧力によってチップ部品１００を保持可能に構成されている。具体的には、第１移動機構５は、図３〜図６に示すように、レール５１、スライダ５２、プレート５３、ベアリング５４、プローブ保持部５５、スプリング５６、バー５７および移動規制部５８（図１，１２参照）を備えて構成されている。

レール５１は、図６に示すように、長さ方向が第２の向きＤ２に沿うように配置されて本体部２のベースパネル２ｍに固定されている。スライダ５２は、レール５１に配置されて、レール５１上を第２の向きＤ２に沿ってスライド可能に構成されている。プレート５３は、スライダ５２の上に固定される。ベアリング５４は、プレート５３に回転可能に取り付けられる。プローブ保持部５５は、プローブ部７ａを保持可能に構成されて、プレート５３に固定される。スプリング５６は、プローブ部７ａ，７ｂが互いに近接する向きにプレート５３を付勢する（引っ張る向きの付勢力を作用させる）。バー５７は、後述する移動規制部５８のスピンドル８３に当接する部材であって、プレート５３に固定されている。

移動規制部５８は、図１，１２に示すように、本体部２の外カバー２ｃにおける天面パネル２ｄの上に配設されて、プローブ部７ａ，７ｂの各先端部同士を任意の離間距離Ｌａ（図９参照）だけ離間させた状態で、第２の向きＤ２へのプローブ保持部５５（プローブ保持部５５が固定されているプレート５３）の移動を規制する。具体的には、移動規制部５８は、図１，１２に示すように、支持部８１、スリーブ８２、スピンドル８３およびシンブル８４を備えて構成されている。

支持部８１は、図１，１２に示すように、本体部２の外カバー２ｃにおける天面パネル２ｄに取り付けられている。スリーブ８２は、支持部８１に固定されている。スピンドル８３は、スリーブ８２によって回転可能に支持されると共に、回転量に応じて支持部８１からのスピンドル８３の突出量Ｌｂ（図１２参照）が変化（増減）するように形成されている。シンブル８４は、図１，１２に示すように、スリーブ８２の基端部（両図における右側の端部）に取り付けられている。この移動規制部５８では、両図に示すように、スピンドル８３の先端部（両図における左側の端部）が、第１移動機構５のバー５７に当接することにより、図９に示す第２の向きＤ２（プローブ部７ａ，７ｂが互いに近接する向き）へのプローブ保持部５５の移動を規制する。したがって、スピンドル８３における先端部の突出量Ｌｂを調節することで、プローブ部７ａ，７ｂの各先端部同士を任意の離間距離Ｌａだけ離間させた状態に維持することが可能となっている。

第２移動機構６は、プローブ部７ａ，７ｂによってチップ部品１００が保持されている保持状態において、載置部３の載置面３ａに載置されたチップ部品１００から離間する第３の向きＤ３（ベースパネル２ｍに近接する向き：図７，８参照）に載置部３を移動可能に構成されている。具体的には、第２移動機構６は、図３〜図８に示すように、当接部６１、複数（この例では、３つ）のガイドピン６２、支持部６３、ベアリング６４、スプリングプランジャ６５およびストッパ６６を備えて構成されている。

当接部６１は、図３〜図６に示すように、スライド部４のプレート４３に固定されて、スライド部４の移動に伴って移動する。また、図７に示すように、当接部６１の下面は、傾斜面６１ａに形成されている。この場合、傾斜面６１ａは、第１の向きＤ１（図５参照）の下流側から上流側（図７における右側から左側）に向かうに従ってベースパネル２ｍに近接するように傾斜している（第３の向きＤ３に傾斜している）。

各ガイドピン６２は、図３〜図６に示すように、本体部２のベースパネル２ｍに立設されている。支持部６３は、載置部３を固定可能に構成されている。また、支持部６３には、各ガイドピン６２をそれぞれ挿通させる図外の３つの挿通孔が形成されている。この場合、支持部６３は、図８に示すように、各挿通孔に挿通された各ガイドピン６２によって第３の向きＤ３に沿って移動することが可能に構成されている。ベアリング６４は、被当接部に相当し、支持部６３に取り付けられている。また、ベアリング６４は、スライド部４（スライド部４に取り付けられている操作部８）が図１０に示す第２位置Ｐ２に位置したときに、図１１に示すように、当接部６１の傾斜面６１ａに当接して、当接部６１によって第３の向きＤ３に押圧される。

スプリングプランジャ６５は、図８に示すように、本体部２のベースパネル２ｍに立設されて、第３の向きＤ３とは逆の第４の向きＤ４（プローブ部７ａ，７ｂによって保持されているチップ部品１００に近接する向き）に支持部６３を付勢する。ストッパ６６は、同図に示すように、本体部２のベースパネル２ｍに立設されて、図８，１１に示す初期位置Ｐ３よりも第４の向きＤ４への支持部６３の移動を規制する。

プローブ部７ａ，７ｂは、一例として、弾性力を有する材料によって細い棒状に形成されて、先端部から基端部に向かって力が加わったときにやや撓んで基端部から先端部に向かう向きに弾性力が生じるように構成されている。また、プローブ部７ａは、本体部２の正面パネル２ｂに配設されているコネクタ１０ａに図外の線材によって接続され、プローブ部７ｂは、正面パネル２ｂに配設されているコネクタ１０ｂに図外の線材によって接続されている。この場合、プローブ部７ａは、図５，９に示すように、プローブ保持部５５によって保持されて、第１移動機構５によるプローブ保持部５５の移動に伴って第２の向きＤ２に移動させられる。また、プローブ部７ｂは、両図に示すように、本体部２のベースパネル２ｍに立設されているプローブ保持部２ｎによって保持されて、本体部２に対して移動しない状態に維持される。つまり、この測定用治具１では、プローブ部７ａ，７ｂの一方だけが第１の向きＤ１に移動可能な構成となっている。

操作部８は、図３〜図６に示すように、スライド部４のプレート４３に固定されている。また、操作部８は、図１に示すように、本体部２の外カバー２ｃを取り付けた状態において、外カバー２ｃの天面パネル２ｄに形成されている開口部２ｌから先端部が突出し、この突出部分を掴んで操作（直線的な移動操作）をすることで、スライド部４を第１の向きＤ１（図５参照）および第５の向きＤ５（図９参照）に移動させることが可能となっている。

この測定用治具１では、図５に示すように、スライド部４（スライド部４に取り付けられている操作部８）が基準位置Ｐ０に位置しているときには、プレート４３の平行部４３ｂが第１移動機構５のベアリング５４に当接している。この状態では、第１移動機構５のプレート５３およびプローブ保持部５５が同図における左側（図１に示す側面パネル２ｅ側）に位置して、図５に示すように、プローブ部７ａ，７ｂの先端部同士が離間している。

また、図９に示すように、スライド部４（スライド部４に取り付けられている操作部８）が第１位置Ｐ１に位置しているときには、プレート４３の傾斜部４３ａの先端部側がベアリング５４に当接している。この状態では、第１移動機構５のプレート５３およびプローブ保持部５５が同図における右側（図１に示す側面パネル２ｆ側）に位置して、プローブ部７ａ，７ｂの先端部同士が近接し、図９に示すように、プローブ部７ａ，７ｂの各先端部がチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂにそれぞれ接触する接触状態となる。つまり、第１移動機構５は、スライド部４が第１の向きＤ１（第１の向き）に沿って基準位置Ｐ０から第１位置Ｐ１に移動したときに接触状態となるようにプローブ部７ａを移動させる。

また、この測定用治具１では、スライド部４が第２位置Ｐ２（図１０参照）よりも本体部２の正面パネル２ｂ側（図５に示す基準位置Ｐ０側）に位置しているときには、図７，８に示すように、第２移動機構６の当接部６１とベアリング６４とが接触しない状態に維持される。この状態では、当接部６１のベアリング６４が押圧されないため、載置部３が初期位置Ｐ３（図８参照）に位置している状態に維持される。

また、図１０に示すように、スライド部４が第１の向きＤ１に沿って第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２までさらに移動したときには、図１１に示すように、第２移動機構６の当接部６１とベアリング６４とが接触して、ベアリング６４が当接部６１によって第３の向きＤ３に押圧され、これによって、載置部３が第３の向きＤ３に移動させられる。

なお、図１，１２に示すように、本体部２の天面パネル２ｄには、基準位置Ｐ０を示すマークＭ０、第１位置Ｐ１を示すマークＭ１、および第２位置Ｐ２を示すマークＭ２が描かれている。このため、この測定用治具１では、各マークＭ０〜Ｍ２を目印としてスライド部４に取り付けられている操作部８を操作する（移動させる）ことで、確実かつ容易にスライド部４を各位置Ｐ０〜Ｐ２に位置させることが可能となっている。

次に、測定用治具１を用いて測定対象としてのチップ部品１００についての被測定量を測定する方法について図面を参照して説明する。

まず、測定用治具１における本体部２の正面パネル２ｂに配設されているコネクタ１０ａ，１０ｂに、図外の接続ケーブルのコネクタをそれぞれ接続して、図外の測定装置と測定用治具１とを接続する。

次いで、図５に示すように、スライド部４を基準位置Ｐ０に位置させる。この場合、第１移動機構５のプレート５３がスプリング５６によって同図に示す第２の向きＤ２に付勢されているため、プレート５３に取り付けられているベアリング５４が、スライド部４におけるプレート４３の平行部４３ｂに当接している。

この状態では、図５に示すように、第１移動機構５のプローブ保持部５５が同図における左側（図１に示す側面パネル２ｅ側）に位置して、プローブ部７ａ，７ｂの先端部同士が離間している。

続いて、図１２に示すように、移動規制部５８におけるスピンドル８３の突出量Ｌｂを調整する。具体的には、移動規制部５８のシンブル８４を回転させる。この際に、スピンドル８３がシンブル８４と共に回転して、これに伴ってスピンドル８３における先端部の支持部８１からの突出量Ｌｂが変化する。次いで、スリーブ８２およびシンブル８４にそれぞれ設けられている図外の目盛りを用いてシンブル８４の回転量を調節して、予め規定した突出量Ｌｂだけ先端部を突出させる。この場合、一例として、チップ部品１００をセットしていない状態（プローブ部７ａ，７ｂの各先端部に負荷が加わっていない無負荷状態）で、プローブ部７ａ，７ｂの先端部同士をスプリング５６の付勢力によって近接させたときの先端部間の離間距離Ｌａ（プローブ部７ａ，７ｂ同士がそれ以上近接しないようにする距離：図９参照）が測定対象のチップ部品１００の長さよりもやや短くなるように突出量Ｌｂを規定する。

次いで、チップ部品１００を載置部３の溝部３ｂにセットする。具体的には、載置部３の載置面３ａに形成されている凹部３ｃにチップ部品１００を載置し、続いて、棒等を用いてチップ部品１００を押すことにより、チップ部品１００を凹部３ｃから溝部３ｂに滑らせつつ移動させる。

次いで、図９に示すように、操作部８を操作してスライド部４を第１の向きＤ１に移動させて、第１位置Ｐ１に位置させる。この際に、プレート４３の傾斜部４３ａが第１の向きＤ１に移動し、これに伴い、ベアリング５４とプレート４３との当接部位が平行部４３ｂから傾斜部４３ａに移動し、続いて、傾斜部４３ａに沿って移動する。これにより、プレート５３がスプリング５６の付勢力によって第２の向きＤ２に移動し、プローブ保持部５５に保持されているプローブ部７ａが第２の向きＤ２、つまりプローブ部７ｂに近接する向きに移動させられる。

次いで、プローブ部７ａ，７ｂの各先端部が、チップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂにそれぞれ接触する。また、この際に、プレート５３に取り付けられているバー５７が移動規制部５８のスピンドル８３に当接し、これによって第２の向きＤ２へのプレート５３およびプローブ保持部５５の移動が停止する。

この場合、無負荷状態におけるプローブ部７ａ，７ｂの先端部間の離間距離Ｌａがチップ部品１００の長さよりもやや短くなるようにスピンドル８３の突出量Ｌｂが規定されている。このため、スプリング５６の大きな付勢力がチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂに加わることなく、移動規制部５８によって支えられ、プローブ部７ａ，７ｂがやや撓むことによって生じるプローブ部７ａ，７ｂ自体の小さな弾性力に起因する小さな押圧力だけが電極１０１ａ，１０１ｂに加わる。この結果、スプリング５６の大きな付勢力がプローブ部７ａ，７ｂを介して電極１０１ａ，１０１ｂに加わることによる電極１０１ａ，１０１ｂの損傷を確実に防止することが可能となっている。また、この状態では、チップ部品１００がプローブ部７ａ，７ｂの押圧力によって保持される。

続いて、図１０に示すように、操作部８を操作してスライド部４を第１位置Ｐ１から第１の向きＤ１にさらに移動させて、第２位置Ｐ２に位置させる。この際に、スライド部４のプレート４３に取り付けられている第２移動機構６の当接部６１が第１の向きＤ１に移動し、図１１に示すように、第２移動機構６における当接部６１の傾斜面６１ａがベアリング６４に当接する。この場合、傾斜面６１ａが第１の向きＤ１（図１０参照）の下流側から上流側に向かうに従ってベースパネル２ｍに近接するように形成されているため、傾斜面６１ａとベアリング６４との接触位置が、第１の向きＤ１への当接部６１の移動に伴って第３の向きＤ３（ベースパネル２ｍに近接する向き）に変位する。つまり、傾斜面６１ａによってベアリング６４が第３の向きＤ３に押圧される。これにより、スプリングプランジャ６５の付勢力に抗して支持部６３が第３の向きＤ３に移動させられ、支持部６３によって支持されている載置部３も第３の向きＤ３に移動させられる。

この場合、プローブ部７ａ，７ｂの押圧力によってチップ部品１００が保持されているため、第３の向きＤ３への載置部３の移動によって載置面３ａ（溝部３ｂ）がチップ部品１００から離間した状態においてもチップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂにプローブ部７ａ，７ｂが接触している状態が維持される。

次いで、測定装置を操作して、チップ部品１００についての被測定量を測定する。この場合、載置部３とチップ部品１００とが離間した状態（被接触状態）で測定を行うことができるため、チップ部品１００から載置部３に流れる漏れ電流による影響を低減することができる結果、被測定量を正確に測定することが可能となっている。以上により、チップ部品１００についての被測定量の測定が終了する。

続いて、測定が終了したチップ部品１００を載置部３の溝部３ｂから取り出す。この際には、図１０に示すように、操作部８を操作してスライド部４を第２位置Ｐ２から第５の向きＤ５に移動させて、図９に示すように、スライド部４を第１位置Ｐ１に位置させる。この際に、図８に示すように、支持部６３が第４の向きＤ４に移動して、チップ部品１００が載置部３の載置面３ａに接触（溝部３ｂに収容）される。次いで、図９に示すように、操作部８を操作してスライド部４を第１位置Ｐ１から第５の向きＤ５に移動させて、図５に示す基準位置Ｐ０に位置させる。この際に、同図に示すように、プレート４３の傾斜部４３ａが第５の向きＤ５に移動し、これに伴い、ベアリング５４とプレート４３との当接部位が傾斜部４３ａに沿って第５の向きＤ５に移動し、続いて、傾斜部４３ａから平行部４３ｂに移動する。

これにより、図５に示すように、プレート５３が第６の向きＤ６に移動し、プローブ保持部５５に保持されているプローブ部７ａがプローブ部７ｂから離間して、チップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂに対するプローブ部７ａ，７ｂの接触が解除される。次いで、載置部３の溝部３ｂからチップ部品１００を取り出す。以上により、チップ部品１００についての被測定量の測定が終了する。

このように、この測定用治具１によれば、電極１０１ａ，１０１ｂに対するプローブ部７ａ，７ｂの押圧力によってチップ部品１００を保持可能に第１移動機構５を構成し、プローブ部７ａ，７ｂによってチップ部品１００が保持されている保持状態においてチップ部品１００から離間する第３の向きＤ３に載置部３を移動させる第２移動機構６を備えたことにより、載置部３とチップ部品１００とを離間させた状態で被測定量の測定を行うことができるため、チップ部品１００から載置部３に流れる漏れ電流による影響を低減することができる結果、被測定量を正確に測定することができる。

また、この測定用治具１によれば、第１の向きＤ１へのスライド部４の移動に応じて載置部３を移動させるように第２移動機構６を構成したことにより、例えば、スライド部４を移動させるための操作部８とは別に第２移動機構６の専用の操作部を設ける構成と比較して、測定用治具１の構成を簡略化することができる。

また、この測定用治具１では、スライド部４が第１の向きＤ１に沿って基準位置Ｐ０から第１位置Ｐ１に移動したときに接触状態となるようにプローブ部７ａを第２の向きＤ２に移動可能に第１移動機構５が構成され、スライド部４が第１の向きＤ１に沿って第１位置Ｐ１からさらに移動したときに第３の向きＤ３に載置部３を移動可能に第２移動機構６が構成されている。このため、この測定用治具１によれば、第２の向きＤ２へのプローブ部７ａの移動（電極１０１ａ，１０１ｂに対するプローブ部７ａ，７ｂの接触）と、第３の向きＤ３への載置部３の移動（チップ部品１００からの載置部３の離間）とを、操作部８に対する操作によって第１の向きＤ１にスライド部４を移動させる１つの動作で連続的に行うことができる結果、操作性を十分に向上させることができる。

また、この測定用治具１によれば、スライド部４の移動に伴って移動すると共に第３の向きＤ３に向けて傾斜する傾斜面６１ａを有する当接部６１と、載置部３を支持する支持部６３と、支持部６３に取り付けられて、スライド部４が第１位置Ｐ１に位置したときに傾斜面６１ａに当接して第３の向きＤ３に押圧されるベアリング６４とを備えて第２移動機構６を構成したことにより、簡易な構成でありながら載置部３を第３の向きＤ３に確実に移動させることができる。

また、この測定用治具１によれば、プローブ部７ａ，７ｂの各先端部同士を任意の離間距離Ｌａだけ離間させた状態で第２の向きＤ２へのプローブ保持部５５の移動を規制する移動規制部５８を備えたことにより、チップ部品１００の電極１０１ａ，１０１ｂがプローブ部７ａ，７ｂによって過度に押圧されて損傷する事態を確実に防止することができる。

なお、測定用治具の構成は、上記の構成に限定されない。例えば、プローブ部７ｂを固定し、プローブ部７ａだけを第２の向きＤ２に移動させる構成例について上記したが、プローブ部７ａを固定し、プローブ部７ｂだけを第６の向きＤ６に移動させる構成や、プローブ部７ａ，７ｂの双方を第２の向きＤ２および第６の向きＤ６にそれぞれ移動させる構成を採用することもできる。

また、操作部８に対する操作によってスライド部４を第１の向きＤ１に移動させることで、第１移動機構５によるプローブ部７ａ，７ｂの移動と、第２移動機構６による載置部３の移動とを連続的に行う構成例について上記したが、第１移動機構５によるプローブ部７ａ，７ｂの移動の際の操作部８の操作方向（スライド部４の移動方向）と、第２移動機構６による載置部３の移動の際の操作部８の操作方向（スライド部４の移動方向）の移動方向とを異ならせる構成を採用することもできる。

また、第１移動機構５によるプローブ部７ａ，７ｂの移動、および第２移動機構６による載置部３の移動の双方を操作部８に対する操作によるスライド部４の移動によって行う構成例について上記したが、第１移動機構５によるプローブ部７ａ，７ｂの移動と、第２移動機構６による載置部３の移動とを別々の操作部を操作して行う構成を採用することもできる。

また、移動規制部の構成は、上記した移動規制部５８の構成に限定されない。例えば、本体部２の天面パネル２ｄ上において第２の向きＤ２に沿って配設されたレールと、レール上をスライド可能でかつレール上の任意の位置でスライドのロックが可能にスライド部材とを備え、スライドロックされたスライド部材にバー５７が当接したときに、プローブ保持部５５の移動を規制するように構成した移動規制部を採用することもできる。

また、引っ張りコイルバネで構成されたスプリング５６を用いる構成例について上記したが、圧縮コイルバネを用いる構成を採用することもできる。また、コイルバネ以外のバネ（例えば板バネ）や、ゴム等のバネ以外の弾性材料を用いる構成を採用することもできる。

また、第２移動機構の構成は、上記した第２移動機構６の構成に限定されない。例えば、支持部６３にレバーを取り付けて、そのレバーを第３の向きＤ３に押し込む操作をすることで、支持部６３に固定されている載置部３を第３の向きＤ３に移動させる構成を採用することもできる。

また、直線的な移動操作が可能に操作部８を構成し、この直線的な移動操作によってスライド部４を第１の向きＤ１に移動させる例について上記したが、回転操作が可能に操作部８を構成すると共に、操作部８の先端部に配設したネジ（ピニオン）と、スライド部４に配設したラックとでラックアンドピニオン機構を構成し、操作部８の回転操作によってスライド部４を第１の向きＤ１に移動させる構成を採用することもできる。

１測定用治具
３載置部
３ａ載置面
４スライド部
５第１移動機構
６第２移動機構
７ａ，７ｂプローブ部
８操作部
５５プローブ保持部
５８移動規制部
６１当接部
６１ａ傾斜面
６３支持部
６４ベアリング
１００チップ部品
１０１ａ，１０１ｂ電極
Ｄ１第１の向き
Ｄ２第２の向き
Ｄ３第３の向き
Ｐ０基準位置
Ｐ１第１位置
Ｐ２第２位置

Claims

測定対象を載置可能な載置面を有する載置部と、操作部に対する操作によって予め決められた第１の向きに移動可能に構成されたスライド部と、前記第１の向きへの前記スライド部の移動に応じて一対のプローブ部の少なくとも一方を移動対象として予め決められた第２の向きに当該移動対象のプローブを移動させて前記載置面に載置されている前記測定対象における対向する一対の被接触部に当該各プローブ部をそれぞれ接触させて当該被接触部を押圧させる第１移動機構とを備えた測定用治具であって、
前記第１移動機構は、前記被接触部に対する前記各プローブ部の押圧力によって前記測定対象を保持可能に構成され、
前記各プローブ部によって前記測定対象が保持されている保持状態において当該測定対象から前記載置面が離間する第３の向きに前記載置部を移動させる第２移動機構を備えている測定用治具。
前記第２移動機構は、前記第１の向きへの前記スライド部の移動に応じて前記載置部を移動させる請求項１記載の測定用治具。
前記第１移動機構は、前記スライド部が前記第１の向きに沿って基準位置から第１位置に移動したときに前記接触状態となるように前記移動対象のプローブを前記第２の向きに移動させ、
前記第２移動機構は、前記スライド部が前記第１の向きに沿って前記第１位置からさらに移動したときに前記第３の向きに前記載置部を移動させる請求項２記載の測定用治具。
前記第２移動機構は、前記スライド部に取り付けられて当該スライド部の移動に伴って移動すると共に前記第３の向きに傾斜する傾斜面を有する当接部と、前記載置部を支持する支持部と、当該支持部に取り付けられて、前記スライド部が前記第１位置に位置したときに前記傾斜面に当接して前記第３の向きに押圧される被当接部とを備えて構成されている請求項３記載の測定用治具。
前記第１移動機構は、前記移動対象のプローブを保持して前記第２の向きに移動する保持部と、前記各プローブ部同士を任意の離間距離だけ離間させた状態で前記第２の向きへの前記保持部の移動を規制する移動規制部とを備えている請求項１から４のいずれかに記載の測定用治具。