JPH07325108A - 電子部品の測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電子部品の外部電極にプローブを接触させて
電気的特性を測定する測定装置において、プローブの上
下動により容易に側面の外部電極とプローブの先端とを
接触させる。 【構成】 部品載置台５上に電子部品１ａの側面の外部
電極２ａ、２ｂに対向した対向傾斜面６ａ、６ｂを具備
させるとともに、プローブ７ａ、７ｂの先端に、対向傾
斜面６ａ、６ｂと摺動する摺動部位８ａ、８ｂと外部電
極に接触する接触部位９ａ、９ｂとを有する接触子を設
ける。プローブ７ａ、７ｂを電子部品１ａに対して上下
動して接触子の摺動部位８ａ、８ｂを対向傾斜面６ａ、
６ｂに沿って案内させることにより、接触子の接触部位
９ａ、９ｂを水平方向に移動させて外部電極２ａ、２ｂ
と接触及び分離させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は電子部品の測定装置に関
し、詳しくは、端面に電極を有する表面実装用電子部品
等の電気的特性を測定するためのプローブ電極構造に特
徴を有する電子部品の測定装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、産業用あるいは民生用の各種電子
機器が小型化、薄型化、軽量化を指向するのに伴い、そ
れらに搭載される回路素子としての電子部品にも小型
化、薄型化、軽量化、大集積化の要求が高まっている。
それに応じて、例えばチップ抵抗やチップコンデンサ
等、電子回路基板への表面実装用に外部電極を有する形
状のものが多く用いられるようになり、その需要はます
ます高まりつつある。

【０００３】しかし、これらチップ型電子部品は、その
製造工程が複雑であるために必ずしも全ての製品で所望
の特性が得られるとは限らないことから、製造後あるい
は回路基板への実装前にその特性を全数検査して、所望
する規格範囲内のものを選別する必要がある。また、チ
ップ抵抗あるいはハイブリッド（混成）集積回路中の抵
抗素子等のように、レーザートリミングによって抵抗値
等の素子定数の調節を行なうものの場合には、その素子
定数を測定しながらトリミングする必要もある。そのた
めに、抵抗値や静電容量値などの電気的特性の測定及び
選別に測定装置が広く使用されており、そのような測定
装置は、電子部品の外部電極に接触させる測定用電極端
子としてのプローブを備えている。

【０００４】このプローブを電子部品の外部電極に接触
させる方式の代表的な例を、図７により説明する。図７
は、測定装置の測定部における、プローブの動作及び電
子部品との位置関係を示す正面図である。同図によれ
ば、測定される電子部品１ａは対向する端面に外部電極
２ａ、２ｂを有している。この電子部品１ａは測定部に
おいて部品載置台３上に載置され、測定部には水平方向
に可動なプローブ４ａ、４ｂが、外部電極２ａ、２ｂの
各々に対向して配置されている。プローブ４ａ、４ｂ
は、部品載置台３上に電子部品１ａが搬送されてきて載
置されると、各々が外部電極２ａ、２ｂに向かって水平
方向に移動して接触し、プローブ４ａ、４ｂを介して電
圧や電流などが外部電極２ａ、２ｂに印加されて、電子
部品１ａの所望の電気的特性が測定される。そして測定
が終わると、プローブ４ａ、４ｂは外部電極２ａ、２ｂ
から水平方向に復帰して離れ、電子部品１ａが搬送され
て次の電子部品１ａと入れ替わり、同様にして測定が繰
り返される。

【０００５】これに対し、プローブを外部電極へ容易に
接触させる目的で、実開昭62-18670号には、根元側アー
ムと先端側アームの水平方向でなす角度を調整する機構
を備えることにより、先端側アームが任意の方向から素
子即ち測定する電子部品に接近できるように構成された
プローブが提案されている。このプローブによれば、多
数のプローブカードを使用したり、トリミングの分割回
数を増加させる必要がなくなり、装置全体が簡易にな
り、作業能率も向上するという効果を奏するというもの
である。

【０００６】また、実開平2-75571 号には、低コストで
量産性の良いプローブを提供する目的で、接触子となる
針部と、この針部を一体的に備えた導電性樹脂により成
形したフレームと、フレームの外側に一体的に配設され
た金属の取付板とから構成したプローブが提案されてい
る。更に、実開平2-103273号にも、同じく低コストで量
産性の良いプローブを提供する目的で、接触子となる針
部を備えたフレームと、このフレームと別体に形成され
た調整ネジを有するスクリューブロックとから構成した
プローブが提案されている。

【０００７】

【従来技術の問題点】しかしながら、上記図７のような
従来のプローブ並びに実開昭62-18670号や実開平2-7557
1 号、実開平2-103273号に提案されたプローブには、次
のような問題点があった。即ち、 電子部品の外部電極が、部品本体の側面や上面も含め
て３面もしくはそれ以上に設けられているときは、それ
らに同時にプローブを接触させることが、機構的に複雑
となり困難である。

【０００８】のような３面以上の外部電極にプロー
ブを接触させるには、各プローブが接触する強度やプロ
ーブ間の接触強度のバランスを調整することが難しい。

【０００９】電子部品の形状が直方体と異なったり、
複雑な異型形状である場合には、外部電極にプローブを
適正に接触させることが出来なくなる。

【００１０】シート状あるいは短冊状に多連になって
いる電子部品に対してレーザートリミングに伴って測定
を行なうような場合、外部電極の数に応じて多数のプロ
ーブを取り付けないと効率的なトリミングが行なえない
が、水平方向に可動のプローブを多数使用することは、
機構が複雑となって困難である。

【００１１】垂直方向にプローブを移動して外部電極
に接触させる方式では、電子部品の垂直面（側面）にあ
る外部電極にプローブを接触させることか出来ないの
で、測定不能である。 というような問題点があった。

【００１２】本発明は上記の問題点を解決すべく完成さ
れたもので、電子部品の測定装置において、プローブを
電子部品に対して上下方向に移動して、電子部品側面の
外部電極に容易に接触させて測定することができるプロ
ーブを備えた測定装置を提供することを目的とする。

【００１３】また本発明は、任意の外形形状の電子部品
の外部電極、あるいは電子部品の側面及び上面も含めて
３面以上に設けられた多数の外部電極に対しても、容易
に接触させて測定することができるプローブを備えた測
定装置を提供することを目的とする。

【００１４】また本発明は、多連の電子部品の各々の外
部電極に対して、プローブを順次移動するだけで容易に
接触させて測定することができるプローブを備えた測定
装置を提供することを目的とする。

【００１５】

【問題点を解決するための手段】本発明の電子部品の測
定装置は、部品載置台上に電子部品を配し、その電子部
品の少なくとも側面に形成された外部電極にプローブを
接触させて電気的特性を測定する電子部品の測定装置に
おいて、上記部品載置台上に電子部品の外部電極との距
離が順次短くなる対向傾斜面を具備させるとともに、上
記プローブの先端に接触子を設け、その接触子を対向傾
斜面に沿って案内させることにより上記外部電極に接触
せしめることを特徴とするものである。

【００１６】

【作用】本発明の電子部品の測定装置によれば、電子部
品の側面に形成された外部電極に対しては、部品載置台
上に電子部品の外部電極と対向して、その外部電極との
距離がプローブが進入するに従って順次短くなる対向傾
斜面を具備させる。一方、プローブの先端には、対向傾
斜面に沿って摺動し案内される摺動部位と外部電極に接
触する接触部位とを有する接触子を設け、更にバネ性
（弾性）を持たせる。そして、このプローブの先端を、
略垂直方向に電子部品の外部電極と対向傾斜面との間で
上下動して対向傾斜面に案内させ、即ちプローブを対向
傾斜面に接触させつつそれに沿って滑らせて移動させる
ことによって、プローブの先端を略水平方向に変位させ
ることができ、それによりプローブの接触子と電子部品
側面の外部電極との接触及び分離が容易に行なえる。こ
の時、プローブを下げてその接触部位を外部電極と接触
させると、プローブ先端の持つ剛性によって摺動部位を
介して対向傾斜面への反発力が生じ、これがプローブを
下げることへの抵抗力となるので、この抵抗力を適当な
手段で検知することにより、プローブを必要以上に押し
下げてプローブを破損したり電子部品を損傷したりする
ことを防止できる。

【００１７】このようにして、複数の側面に１つずつあ
るいは複数個の外部電極が形成された電子部品や、１つ
の側面に複数個の外部電極が形成された電子部品、１つ
の側面と上面に１つずつあるいは複数個の外部電極が形
成された電子部品等に対しても、側面の外部電極に対応
してプローブと対向傾斜面とを配置することで、それら
外部電極とプローブとの接触及び分離が容易にかつ確実
に行なえる。

【００１８】また、電子部品の上面に形成された外部電
極に対しては、先端を曲折させ、あるいは伸縮機構によ
りバネ性を持たせた上面用プローブを、上面の外部電極
の位置に対応させて配置して略垂直方向に上下すること
により、プローブの接触部位と外部電極とを直接に接触
及び分離させることが容易に行なえるので、側面と上面
に共に外部電極が形成された電子部品に対しては、上記
の側面用プローブと対向傾斜面並びに上面用プローブを
組み合わせればよい。それにより、それぞれのプローブ
を連動させながら上下動するだけで、それぞれのプロー
ブの接触部位と全ての外部電極との接触及び分離が容易
にかつ確実に行なえる。なお、側面及び下面に外部電極
が形成された電子部品については、上下を反転して部品
載置台に載置すれば、同様に測定できることは言うまで
もない。

【００１９】従って、本発明の測定装置によれば、プロ
ーブを電子部品に対して上下方向に移動するだけで、任
意の外形形状の電子部品の外部電極、あるいは電子部品
の側面及び上面も含めて３面以上に設けられた多数の外
部電極に対しても、プローブの接触子を容易に接触及び
分離させて、電気的特性を効率的に、また連続的に測定
することができる。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の電子部品の測定装置を、実施
例により詳細に説明する。図１は、本発明の測定装置に
係る一実施例の概略構成を示す、電子部品を載置した状
態の測定装置の正面図である。同図は、対向する２つの
側面に外部電極が形成された電子部品が載置された測定
装置の例であり、同図（ａ）はプローブを電子部品の外
部電極に接触させる前の状態を、同図（ｂ）は接触させ
た状態を示している。

【００２１】図１において、１ａは測定される電子部品
であり、その対向する２つの側面に外部電極２ａ、２ｂ
が形成されている。５は部品載置台であり、この例にお
いては電子部品１ａが載置される箇所が、外部電極２
ａ、２ｂとの距離がプローブか進入するに従って順次短
くなるように対向する対向傾斜面６ａ、６ｂを具備する
ように、凹状に形成されている。なお、この対向傾斜面
６ａ、６ｂは、同様の対向傾斜面を有するガイド体を独
立に形成もしくは設置することにより設けてもよい。７
ａ及び７ｂはプローブであり、その先端にそれぞれ対向
傾斜面６ａ、６ｂと摺動し案内される摺動部位８ａ、８
ｂ及び外部電極２ａ、２ｂに接触する接触部位９ａ、９
ｂを有するように曲折形状とすることによって接触子を
設けてあり、その形状により更にバネ性（弾性）を持た
せている。そして、電子部品１ａに対してほぼ垂直方向
に上下動するように、図示しない取付ヘッドあるいは保
持部に保持されて、測定機器に接続されている。

【００２２】このような構成で同図（ａ）に矢印で示す
ようにプローブ７ａ、７ｂを電子部品１ａに向けて垂直
方向に下方に移動すると、まずプローブ７ａ、７ｂ先端
の接触子の摺動部位８ａ、８ｂが、部品載置台５の対向
傾斜面６ａ、６ｂに接触する。その状態から更に対向傾
斜面６ａ、６ｂに沿って摺動させながら下方に移動する
ことにより、摺動部位８ａ、８ｂが対向傾斜面６ａ、６
ｂに接触しつつ移動して案内され、摺動部位８ａ、８ｂ
に外部電極２ａ、２ｂに向かう水平方向の力が加わるた
め、プローブ７ａ、７ｂ先端の接触子が外部電極２ａ、
２ｂに向けて水平方向に押されてバネ性のためにたわん
で電子部品１ａ側に変位するので、同図（ｂ）に示すよ
うに、プローブ７ａ、７ｂの接触子先端の接触部位９
ａ、９ｂと外部電極２ａ、２ｂとがそれぞれ接触する。
その状態で測定を行なった後、プローブ７ａ、７ｂを垂
直方向に上方に移動させると、その移動に伴って、摺動
部位８ａ、８ｂを対向傾斜面６ａ、６ｂに押されて外部
電極２ａ、２ｂに接触していたプローブ７ａ、７ｂの接
触部位９ａ、９ｂが、プローブ７ａ、７ｂのバネ性によ
り復帰して外部電極２ａ、２ｂから離れる。そして、測
定が済んだ電子部品１ａを搬送して次の電子部品と入れ
替えることができ、連続して測定を繰り返すことができ
る。

【００２３】また、図１（ｂ）のように各プローブ７
ａ、７ｂの接触子の接触部位９ａ、９ｂと外部電極２
ａ、２ｂとが接触すると、各プローブ７ａ、７ｂの接触
子が持つ剛性によって、摺動部位８ａ、８ｂを介して対
向傾斜面６ａ、６ｂへの反発力が生じ、これがプローブ
７ａ、７ｂを更に下方へ移動させることへの抵抗力とな
る。従って、この抵抗力をプローブ保持部等において適
当な手段で検知することにより、プローブ７ａ、７ｂの
移動を自動的に停止させることができ、プローブ７ａ、
７ｂを必要以上に更に押し下げて破損したり、電子部品
１ａ本体や外部電極２ａ、２ｂを損傷したりすることを
防止できる。

【００２４】次に、側面及び上面に外部電極が形成され
た電子部品が載置された場合についての、本発明の測定
装置に係る他の実施例の概略構成を図２に示す。同図
（ａ）は、左右の側面と上面に１つの外部電極を有する
電子部品を載置した例、同図（ｂ）は、上面に２つの外
部電極を有する電子部品を載置した例の正面図であり、
いずれもプローブを各外部電極に接触させた状態を示し
ている。

【００２５】図２（ａ）において、電子部品１ｂには、
対向する２つの側面に外部電極２ａ、２ｂが、また上面
にも外部電極２ｃが形成されている。この電子部品１ｂ
が載置される部品載置台５は、この例でも図１と同様
に、外部電極２ａ、２ｂとの対向傾斜面６ａ、６ｂを具
備するように凹状に形成されているが、この対向傾斜面
６ａ、６ｂも、同様の対向傾斜面を有するガイド体を独
立に形成もしくは設置することにより設けてもよい。７
ａ及び７ｂは側面の外部電極２ａ、２ｂに接触する側面
用プローブであり、その先端にそれぞれ対向傾斜面６
ａ、６ｂと摺動する摺動部位８ａ、８ｂ及び外部電極２
ａ、２ｂに接触する接触部位９ａ、９ｂを有するように
曲折形状とした接触子を設けてあり、その形状により更
にバネ性を持たせている。また、７ｃは上面の外部電極
２ｃに接触する上面用プローブであり、その先端に外部
電極２ｃに接触する接触部位10ｃを具備するように接触
子を設けることにより、あるいは伸縮機構により、上方
にたわむようにバネ性を持たせている。また上面用プロ
ーブ７ｃは、下方に移動したときにその接触部位10ｃが
外部電極２ｃに接触するように、外部電極２ｃの位置に
対応して配置する。そして、これらのプローブ７ａ、７
ｂ、７ｃが、電子部品１ｂに対してほぼ垂直方向に上下
動するように、図示しない取付ヘッドあるいは保持部に
保持されて、測定機器に接続されている。

【００２６】また、図２（ｂ）の電子部品１ｃには、上
面に更に外部電極２ｄが形成されていて、その外部電極
２ｄに接触する上面用プローブ７ｄを、外部電極２ｄに
対応させて更に設けている。

【００２７】この例においても、各プローブを電子部品
に向けて垂直方向に下方に移動すると、側面用プローブ
７ａ、７ｂの接触子の接触部位９ａ、９ｂと外部電極２
ａ、２ｂとが、図１の場合と同様にしてそれぞれ接触す
る。一方、上面用プローブ７ｃ並びに７ｄは、その先端
の接触部位10ｃ、10ｄがそれぞれ外部電極２ｃ並びに２
ｄに押し付けられることになり、バネ性のためにたわみ
つつ接触する。

【００２８】そして、この状態での測定後、各プローブ
を垂直方向に上方に移動させることにより、側面用及び
上面用プローブ先端の接触部位が共にバネ性によって復
帰しつつ各外部電極から離れるので、測定が済んだ電子
部品を搬送して次の電子部品と入れ替えることができ、
連続して測定を繰り返すことができる。

【００２９】なお、上面の外部電極が更に多数形成され
ていても、それに対応して上面用プローブを設置するこ
とにより、同様にして容易に測定できる。

【００３０】また、このように上面用プローブも備えた
場合、プローブの移動を停止させるための抵抗力の検知
には、上述の側面用プローブに加えて、上面用プローブ
からの反発力も利用できる。

【００３１】次いで、側面及び上面に更に多くの外部電
極が形成された電子部品に対する、本発明の測定装置に
係る他の実施例の概略構成を図３に、電子部品とプロー
ブとの配置関係を示す斜視図により例示する。同図
（ａ）は左右の側面に２つずつの外部電極２ａ、２ｂ、
２ｅ、２ｆを有する電子部品１ｄに側面用プローブ７
ａ、７ｂ、７ｅ、７ｆを接触させた例であり、同図
（ｂ）は３方の側面に１つずつの外部電極２ａ、２ｂ、
２ｇを有する電子部品１ｅに側面用プローブ７ａ、７
ｂ、７ｇを接触させた例、同図（ｃ）は４方の側面に１
つずつの外部電極２ａ、２ｂ、２ｇ、２ｈを有する電子
部品１ｆに側面用プローブ７ａ、７ｂ、７ｇ、７ｈを接
触させた例である。また、同図（ｄ）は４方の側面に１
つずつの外部電極２ａ、２ｂ、２ｇ、２ｈ及び上面に１
つの外部電極２ｃを有する電子部品１ｇに側面用プロー
ブ７ａ、７ｂ、７ｇ、７ｈ及び上面用プローブ７ｃを接
触させた例であり、同図（ｅ）は左右の側面に１つずつ
の外部電極２ａ、２ｂ及び上面に２つの外部電極２ｃ、
２ｄを有する電子部品１ｈに側面用プローブ７ａ、７ｂ
及び上面用プローブ７ｃ、７ｄを接触させた例である。
これらの例の他に、側面あるいは上面に更に多数の外部
電極を有する電子部品に対しても、同様に対応するプロ
ーブを増設することで測定が可能である。更に、多連の
電子部品に対しても、１群の複数の電子部品に対応して
複数組のプローブを設置したり、１組のプローブに対し
て電子部品を測定位置で順次移動させることによって、
同様に測定が可能である。

【００３２】上記のようなプローブ配置例においては、
レーザー光線等を使うファンクショントリミングを行な
うために電子部品の上空をプローブが横切らないように
配慮する必要がある場合、側面用プローブのみを用いる
ときは、電子部品上部の空間確保が容易であることは当
然である。また、電子部品の上面に外部電極が形成され
ていて上面用プローブが必要なときであっても、図２
（ｂ）に示した上面用プローブを傾けて設置すれば、電
子部品上部の空間確保が容易に可能であり、あるいは図
３（ｅ）に示すように上面用プローブ７ｃ、７ｄを電子
部品の横方向から突き出すように設置すれば、やはり容
易に空間確保ができる。従って、レーザー光線等を使う
ファンクショントリミング作業を妨げるようなことはな
くなる。

【００３３】なお、これらの図では、側面用プローブに
対応する対向傾斜面あるいは対向傾斜面を有するガイド
体は示していないが、３方あるいは４方の側面に外部電
極を有する電子部品を測定する場合、部品載置台を上記
対向傾斜面を有する凹状に形成して、その凹部に電子部
品を出し入れするようにしてもよいし、電子部品の搬送
経路に当たる対向傾斜面を独立したガイド体に形成し
て、そのガイド体を部品載置台上でスライドさせたり突
出・格納させたりするようにして、電子部品の保持・搬
送を行なうようにするとよい。

【００３４】そのようなガイド体を部品載置台上でスラ
イドさせる例ならびに異型形状の電子部品に対する例
を、図４並びに図５に示す。

【００３５】図４は、図１と同様の測定装置において、
対向傾斜面を有するガイド体を部品載置台上でスライド
させる例を示した正面図である。同図において、１ａは
測定される電子部品であり、その対向する２つの側面に
外部電極２ａ、２ｂが形成されている。５は部品載置台
であり、この例においては電子部品１ａが載置される箇
所に、部品１ａを固定できるようにその大きさに合わせ
た凹状部11が形成されている。また、凹状部11のほぼ中
央部には、電子部品１ａの押し上げ機構12が設けられて
いる。外部電極２ａ、２ｂと対向する位置の一方には、
対向傾斜面６ａを有するガイド体13ａが固定され、もう
一方には、対向傾斜面６ｂを有するガイド体13ｂが、ピ
ストンシリンダー等の駆動機構14により部品載置台５上
をスライドできるように設置されている。なお、15は部
品載置台５に設けられた駆動機構14の保持部である。ま
た、ガイド体13ａも可動としてもよい。７ａ及び７ｂは
プローブであり、その先端にそれぞれ摺動部位８ａ、８
ｂ及び接触部位９ａ、９ｂを有するように曲折形状とし
た接触子を設けてあり、その形状により更にバネ性（弾
性）を持たせている。そして、電子部品１ａに対してほ
ぼ垂直方向に上下動するように、図示しない取付ヘッド
あるいは保持部に保持されて、測定機器に接続されてい
る。

【００３６】上記構成においては、電子部品１ａが搬送
されてくると、押し上げ機構12が部品載置台５の内部に
引き込まれて、電子部品１ａが凹状部11に載置される。
次いで、ガイド体13ｂが駆動機構14により電子部品１ａ
側にスライドして、測定時の位置にセットされる。そし
て、プローブ７ａ、７ｂを電子部品１ａに向けて垂直方
向に下方に移動すると、それらの接触子の摺動部位８
ａ、８ｂが対向傾斜面６ａ、６ｂに接触して案内され、
先端の接触部位９ａ、９ｂと外部電極２ａ、２ｂとがそ
れぞれ接触して、測定が行なわれる。測定終了後、プロ
ーブ７ａ、７ｂを垂直方向に上方に移動して電子部品１
ａから離し、それに伴ってガイド体13ｂが駆動機構14に
よりスライドして電子部品１ａから離れる。それに連動
して押し上げ機構12が部品載置台５の内部から突き出さ
れて電子部品１ａを押し上げ、電子部品１ａの取り出し
及び搬送を容易にする。そして、測定が済んだ電子部品
１ａが搬送され次の電子部品と入れ替わって、連続して
測定が繰り返される。

【００３７】図５は、異型形状として八角形の電子部品
に対する測定装置の例を示した平面図である。同図で
は、部品載置台（図示せず）上に載置された八角形の電
子部品１ｉの各側面に形成された外部電極２ｉに対し
て、対向傾斜面６ｃを有するガイド体13ｃを設置してい
る。これらガイド体13ｃは、電子部品１ｉの外部電極２
ｉに対応して必要な箇所のみ設置すればよく、電子部品
１ｉの搬送に伴い、外部電極２ｉに向かって矢印方向に
往復移動可能に設けられている。そして、電子部品１ｉ
が載置され、ガイド体13ｃがセットされると、外部電極
２ｉに対応して配置されたプローブ（図示せず）が移動
してきて各外部電極２ｉに接触し、測定が行なわれる。
なお、ガイド体13ｃは、部品載置台から突き出したり引
き込まれたりするように移動可能に設けられてもよい。
また、図４と同様に電子部品１ｉの押し上げ機構を設け
てもよい。

【００３８】本発明の測定装置によって測定を行なう電
子部品は、表面実装用の電子部品であって、側面あるい
は上面に実装用の外部電極が形成されている。このよう
な電子部品としては、チップ抵抗やチップコンデンサ、
チップコイル等のチップ型電子部品、セラミックあるい
はプリント基板を基材とする表面実装用電子部品、セラ
ミックあるいはプリント基板を基材として樹脂モールド
された表面実装用電子部品、プラスチック樹脂モールド
でＪリードを使った表面実装部品、電子部品を実装した
混成集積回路で表面実装型になっているもの等があり、
回路素子としての単一機能を持つもので、内部に電子回
路が形成されているもの、端面電極構造のものであって
もよい。

【００３９】また、電子部品の側面あるいは上面に形成
される実装用の外部電極は、電子部品 内部の回路素子
あるいは電子回路と、実装回路基板の接続ランドとの導
通のために形成される導電部である。外部電極は電子部
品の端面に導電膜として一体的に形成されていてもよい
し、リード線状の電極として形成されていてもよい。外
部電極の材質は、金属膜、メッキ膜、半田膜、導電性ペ
ーストあるいはそれを乾燥・焼結した導電膜、金属を線
状や板状に加工したもの等、導電性を有するものであれ
ばよい。

【００４０】プローブは、測定装置内の測定機器からの
電圧や電流等の電気信号を電子部品の外部電極に印加
し、それに応答する電子部品の特性を測定するための測
定用電極端子である。本発明におけるプローブの材質
は、導電性と適度なバネ性とを有していればどのような
ものを用いてもよく、例えば、銅（Ｃｕ）、アルミニウ
ム（Ａｌ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、銀（Ａｇ）、
タングステン（Ｗ）、鉄（Ｆｅ）、ステンレス（ＳＵ
Ｓ）、ニッケル（Ｎｉ）、クロム（Ｃｒ）、スズ（Ｓ
ｎ）、鉛（Ｐｂ）、マンガン（Ｍｎ）、それらの合金、
例えばベリリウム銅やリン青銅など、あるいは複合材、
メッキ材等の金属材料や、Ａｇ、Ｃｕ、パラジウム（Ｐ
ｄ）、炭素（Ｃ）等の導電性粒子を熱可塑性樹脂や熱硬
化性樹脂またはゴムと混ぜ合わせた導電性プラスチック
スや導電性ゴム等が挙げられる。また、これらを組み合
わせたものでもよく、導電性の先端部とリード線をバネ
性の支持体で保持した構成のように、バネ性材料と導電
性材料とを組み合わせたものであってもよい。中でも、
金属に金メッキ処理された材料を用いると、プローブと
電子部品または回路部品の電極との間の接触抵抗を減少
できるといった点で好ましい。

【００４１】プローブの先端の接触子は、ガイド体ある
いは部品載置台の対向傾斜面に摺動部位が接触して押さ
れることにより先端が水平方向に変位し、接触部位が外
部電極に接触するようになっていれば、必ずしも図１〜
図４に示したような屈曲した曲折形状でなくともよい。
例えば側面用プローブであれば、これら屈曲部分に対応
する箇所あるいは摺動部位や接触部位が、図６（ａ）〜
（ｇ）に示すように湾曲した形状もしくは円弧状であっ
てもよく、同図（ｈ）のように一部が逆に反った形状で
あってもよい。接触部位が円弧状であると、電極との接
触範囲が広くなって、接触状態が安定する。また、同図
（ｉ）のように接触部位が電極と点接触するようにする
と、狭いポイントも狙える。

【００４２】更に、同図（ｊ）〜（ｌ）に示したよう
に、球状あるいは三角形や四角形等の多角形状、円錐状
あるいは三角錐や四角錐等の多角錐状、そろばん玉のよ
うな形状等であってもよく、その他、糸玉状、ブラシ状
等の形状であってもよい。これらのようなブロック（か
たまり）状の接触子の場合は、外部電極との接触部位を
一部平坦化しておくと、接触状態が安定しやすくなって
好ましいが、周方向に一様な形状とすると、その一部が
磨耗した場合に先端を回転させて対向傾斜面や外部電極
との接触箇所をずらすことによって、安定した接触状態
を保てるという利点もある。接触子がこれらのような形
状の場合は、接触子を支持するプローブのアーム部にバ
ネ性を持たせることで、接触子が対向傾斜面に沿ってス
ムーズに案内される。

【００４３】また、上面用プローブであれば、図６
（ｍ）〜（ｏ）に示すような、接触部位がバネ性を持っ
て外部電極に接触する形状であればよく、同図（ｐ）に
示すような伸縮性のある本体部の先端に接触部位を備え
たようなものであってもよい。

【００４４】そして、図６（ａ）〜（ｉ）及び（ｍ）〜
（ｏ）のような曲折形状による接触子の場合、プローブ
の断面形状は、円形あるいは楕円形の他に、同図（ｑ）
に示すような平板状であってもよいし、同図（ｒ）に示
すような円弧状や同図（ｓ）に示すようなＶ字状であっ
てもよい。これらのような形状であれば、プローブが接
触する箇所の外部電極が凹状になっていても、その奥に
安定して接触することができる。

【００４５】プローブの大きさは、例えば小型の電子部
品に対しては、太さは 0.5〜1.0 ｍｍ、全体の長さは１
〜３ｃｍ、先端の接触子の長さは数ｍｍ程度とするとよ
い。しかし、これらはあくまでも測定する電子部品に応
じて適宜設定される。また、ガイド体もしくは外部電極
との接触部は、それらとの接触や対向傾斜面での移動を
確実にし、あるいは耐久性を高めるために、他の部分に
比べて幅広の形状としてもよい。

【００４６】そして、プローブを配置する位置は、電子
部品の側面の外部電極に接触させる場合には、外部電極
位置の外側でガイド体との間にくるように配置し、電子
部品の上面の外部電極に接触させる場合には、電子部品
の上側から見て外部電極に対応した位置に配置するとよ
い。これにより、異型形状の電子部品や、側面と上面と
の３面以上に外部電極を持つ電子部品についても、プロ
ーブを上下動するだけで各プローブ先端の接触子と全て
の外部電極とを容易に接触及び分離させることができ、
次々に搬送されてくる電子部品の電気的特性を連続的に
効率良く測定することができる。

【００４７】このようなプローブは、測定装置において
はプローブ取付ヘッド等に取り付けて使用すると、測定
する電子部品に応じてプローブあるいはプローブ取付ヘ
ッドを交換したり配置を変えることによって、種々の電
子部品の測定に対応できて好ましい。

【００４８】対向傾斜面は、プローブの接触子が接触し
てこの面に沿って移動することにより、プローブの先端
に水平方向の変位を与える役割を持つ。この対向傾斜面
は、図１〜図３のように部品載置台に形成される凹状部
の側壁として形成してもよく、平らな部品載置台から電
子部品の周囲に突き出すようにガイド体として設けても
よい。また、電子部品の位置決めのためにその周囲に突
き出すストッパーを利用して、その外部電極と対向する
面に傾斜を持たせることによって、ガイド体を兼ねるも
のとしてもよい。更に、ガイド体は、図４及び図５のよ
うに、部品載置台に一体的に形成あるいは固定されてい
るものであってもよいし、測定する電子部品に応じて部
品載置台の上で前後左右や上下に可動であってもよく、
脱着あるいは交換が可能なものであってもよい。また、
プローブを部品載置台５側から突き出させるようにし
て、対向傾斜面を図１〜図５とは逆向きの傾斜面として
もよい。

【００４９】対向傾斜面の大きさは、これに接触するプ
ローブの形状や大きさ、あるいは測定する電子部品の形
状や大きさに応じて適宜設定すればよい。例えば小型電
子部品に対しては、対向傾斜面の長さは、外部電極の高
さとプローブが移動する分とを考慮して１〜３ｍｍ位と
し、対向傾斜面の幅は、外部電極の幅以上（数ｍｍ〜数
ｃｍ）とするとよい。また、対向傾斜面の角度は、通常
は15〜45°位の範囲とすると、プローブの摺動部位が適
度に対向傾斜面の上を滑るとともに、接触部位が水平方
向に適度に変位するようになるので好ましい。

【００５０】対向傾斜面の材料としては、電気的な絶縁
性と適度な滑り性及び耐磨耗性を有していれば、各種の
材料が使用可能である。例えば、各種のセラミックス、
ガラス、石英、マイカ等の無機材料や、テフロン樹脂、
エポキシ樹脂、フェノール樹脂（ベークライト）、メラ
ミン樹脂、シリコーン樹脂等の各種高分子樹脂材料など
がある。

【００５１】以下、具体例について述べる。図１に示し
た構成の本発明の測定装置を用いて、測定する電子部品
として表面実装型のＬＬＳハイブリッド回路（低温焼成
基板混成集積回路）に対して、表面の抵抗体のレーザー
トリミングを行なった。

【００５２】ハイブリッド回路は側面に４カ所の銅電極
が形成されており、それに対応して、図１に示した形状
の長さ１ｃｍ、幅１ｍｍの銅製プローブを４本配置し
た。対向傾斜面には、幅１ｃｍ、高さ５ｍｍのアルミナ
製のセラミック板を用い、ベークライト材を用いて45°
の角度になるように部品載置台上に固定した。この対向
傾斜面としてのセラミック板を、セラミック板の下端が
ハイブリッド回路の側面電極の下端と同一平面上にあっ
て、下端同士の距離が約１ｍｍとなるように、各側面電
極に対向するように配置した。

【００５３】そして、プローブの上下動の移動距離を約
１ｃｍとすることにより、プローブ先端の接触子の摺動
部位がセラミック板上を摺動して案内されるのに伴って
接触子が水平方向に移動して、接触部位とハイブリッド
回路の側面電極とが確実に接触し、あるいは十分な距離
に分離した。

【００５４】この測定装置により、測定機器として周波
数カウンタを用い、ハイブリッド回路の出力周波数を測
定しながら、ハイブリッド回路表面の抵抗体のレーザー
トリミングを行なった。このようにして、出力周波数を
所定値に調整した。

【００５５】その結果、本発明の測定装置によれば、測
定対象である回路上部の空間にプローブが存在しないた
め、レーザートリミングを効率良く行なうことができ
た。また、プローブの上下動のみでその接触部位と各側
面電極とを確実に接触させることができ、安定した測定
を行なうことができた。そして、同様の測定及びレーザ
ートリミングを繰り返し行なったところ、プローブの接
触不良も発生せず、正確で効率の良い作業を行なうこと
ができた。

【００５６】更に、本発明の測定装置によって、チップ
コンデンサやチップ抵抗等の小型電子部品の特性測定を
行なったところ、同様に正確で効率の良い測定を繰り返
し行なうことができた。

【００５７】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、複
数のプローブを電子部品に対して上下方向に移動するだ
けで、それらを電子部品側面の外部電極に容易に接触さ
せて電気的特性を測定できる、電子部品の測定装置を提
供することができた。

【００５８】また本発明によれば、任意の外形形状の電
子部品の外部電極、あるいは電子部品の側面及び上面も
含めて３面以上に設けられた多数の外部電極に対して
も、複数のプローブを電子部品に対して連動させながら
上下方向に移動するだけで、それぞれのプローブと外部
電極とを容易に接触させて電気的特性を測定できる、電
子部品の測定装置を提供することができた。

【００５９】また本発明によれば、多連の電子部品の各
々の外部電極に対しても、電子部品またはプローブを順
次移動するだけで、プローブの上下動によりプローブと
外部電極とを容易に接触させて電気的特性を測定でき
る、電子部品の測定装置を提供することができた。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の測定装置に係る
一実施例の概略構成を示す正面図である。

【図２】（ａ）及び（ｂ）は、本発明の測定装置に係る
他の実施例の概略構成を示す正面図である。

【図３】（ａ）〜（ｅ）は、本発明の測定装置に係る他
の実施例の概略構成を示す斜視図である。

【図４】本発明の測定装置に係る他の実施例の概略構成
を示す正面図である。

【図５】本発明の測定装置に係る他の実施例の概略構成
を示す平面図である。

【図６】（ａ）〜（ｓ）は、本発明の測定装置のプロー
ブの接触子の形状及び断面形状の例を示す図である。

【図７】従来の電子部品の測定装置における、プローブ
の動作及び電子部品との位置関係を示す正面図である。

【符号の説明】

１ａ〜１ｉ・・・・・・・・・電子部品 ２ａ〜２ｉ・・・・・・・・・外部電極 ３、５・・・・・・・・・・・部品載置台 ４ａ、４ｂ、７ａ〜７ｈ・・・プローブ ６ａ、６ｂ、６ｃ・・・・・・対向傾斜面 ８ａ、８ｂ・・・・・・・・・摺動部位 ９ａ、９ｂ、10ｃ、10ｄ・・・接触部位

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 部品載置台上に電子部品を配し、該電子
   部品の少なくとも側面に形成された外部電極にプローブ
   を接触させて電気的特性を測定する電子部品の測定装置
   において、上記部品載置台上に電子部品の外部電極との
   距離が順次短くなる対向傾斜面を具備させるとともに、
   上記プローブの先端に接触子を設け、該接触子を対向傾
   斜面に沿って案内させることにより上記外部電極に接触
   せしめることを特徴とする電子部品の測定装置。