JP2017079273A - プラズマ処理方法 - Google Patents
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前記反応室の内部に保護膜形成ガスを供給しながら、プラズマを発生させて、前記基板の表面に保護膜を形成する第1工程と、
前記反応室の内部に第1エッチングガスを供給しながら、プラズマを発生させて、前記保護膜の一部をエッチングにより除去する第2工程と、
前記反応室の内部に第2エッチングガスを供給しながら、プラズマを発生させて、前記基板をエッチングする第3工程と、を備え、
前記第1工程、前記第2工程、および前記第3工程が、この順序で複数回繰り返され、
少なくとも一回の前記第2工程において、前記反応室内の圧力P2は、直後の前記第3工程における前記反応室内の圧力P3よりも小さい、プラズマ処理方法に関する。
基板1の表面には、所定のパターンで開口部が形成されたレジストマスク2が配されている。レジストマスク2のパターンに応じて、レジストマスク2の開口部から露出した基板1の表面には、プラズマが照射され、エッチングされる。図2に示すように、従来の方法では、まず、第1工程s1で、基板1のマスクの開口部に形成された溝の表面(底部5および側壁4)に保護膜3が形成される。次に、第2工程s2で、基板1にプラズマを照射して溝の底部5の保護膜3を除去する。そして、第3工程s3で、プラズマを照射して保護膜3が除去された領域において、基板1をエッチングする。深掘り加工する際には、エッチングで形成される溝の底部5上に形成された保護膜3を選択的に除去する必要がある。
(基板1の搭載工程)
基板1のプラズマ処理は、プラズマ処理装置が備える反応室(または処理室)内で行われる。反応室内には基板1を載置するためのステージが配されている。プラズマ処理に先立って、基板1は、ステージ上に載置される。基板1のステージ上への載置は、公知の方法により行うことができる。
第1工程では、反応室内に保護膜形成ガスを原料ガスとするプラズマを発生させて、ステージ上に載置された基板1の表面に保護膜を形成する。基板1の表面には、通常、エッチングする領域が露出するように、レジストマスク2が配される。そして、保護膜形成ガスを反応室の内部に供給しながら、基板1のプラズマ処理を行う。より具体的には、保護膜形成ガスを反応室内部に導入しつつ、上部電極(アンテナ)13に対して、第1高周波電源17Aから高周波電力を供給して、反応室内にプラズマを発生させて、基板1にプラズマを照射する。
第1工程では、必要に応じて、第2高周波電源17Bからステージ12が備える電極部にバイアス電圧(高周波電力)を印加してもよい。
第1工程において、反応室内の圧力P1は、例えば、10〜45Paであり、10〜30Paであることが好ましい。第1工程において、反応室内に供給される保護膜形成ガスの流量F1は、例えば、50〜500sccmであり、200〜400sccmであることが好ましい。圧力P1および/または流量F1がこのような範囲であることで、溝の底部5および側壁4に保護膜を形成し易くなる。
第2工程では、反応室内に保護膜除去用ガスを原料ガスとするプラズマを発生させて、第1工程で形成された保護膜の一部を除去する。より具体的には、エッチングガス(第1エッチングガス)を反応室内部に導入しながら、上部電極に対して、第1高周波電源17Aから高周波電力を供給して、反応室内にプラズマを発生させる。そして、基板1の表面に形成された保護膜3にプラズマを照射し、エッチングすることにより、保護膜3の一部を除去する。第2工程において、溝の底部5を被覆する保護膜3は、プラズマ中のラジカルとイオンの物理化学的作用によって除去されるのに対し、溝の側壁4を被覆する保護膜3は残存する。第2工程では、圧力制御バルブ22の開度を制御することにより、反応室内の圧力P2が所定値に維持される。また、第2高周波電源17Bからステージ12が備える電極部にバイアス電圧(高周波電力)を印加することが好ましい。バイアス電圧を印加することにより、基板に入射するイオンの垂直性を高め、溝の側壁4の保護膜3のエッチングを抑制しながら、溝の底部5の保護膜3を除去することができる。
第2工程において、反応室内の圧力P2は、例えば、3〜15Paであり、5〜8Paであることが好ましい。圧力P2がこのような範囲である場合、側壁4の荒れがさらに抑制される。
流量F2は、流量F3の75%以下であることが好ましく、25〜70%または33〜65%であることがさらに好ましい。
高周波電力E3は、高周波電力E2の70%以下であることが好ましく、30〜50%であることが好ましい。
高周波電力E1は、高周波電力E2の80%以下であることが好ましく、50%以下(例えば、0〜50%)であることが好ましい。
第3工程では、反応室内に基板エッチング用ガスを原料ガスとするプラズマを発生させて、基板1をエッチングする。より具体的には、エッチングガス(第2エッチングガス)を反応室内部に導入しながら、上部電極に対して、第1高周波電源から高周波電力を供給して、反応室内にプラズマを発生させる。そして、第2工程で保護膜3が除去された部分(溝の底部5)にプラズマを照射し、この部分の基板1をエッチングする。この時、溝の側壁4は保護膜3で覆われているため、エッチングは基板の面方向と平行またはそれに近い方向には進行せず、基板の深さ方向に進行する。
第3工程では、必要に応じて、第2高周波電源からステージが備える電極部にバイアス電圧(高周波電力E3)を印加してよい。
プラズマ処理の後、アッシングが実行される。反応室内にアッシング用のプロセスガス(例えば、酸素ガス)を導入しつつ、圧力制御バルブ22の開度を制御することにより反応室内を所定圧力に維持する。その後、上部電極に対して第1高周波電源から高周波電力を供給して反応室内にプラズマを発生させ、基板1に照射する。酸素プラズマの照射により、基板1の表面からレジストマスクが除去される。
(1)基板の搭載
シリコン基板を保持した搬送キャリアを、プラズマ処理装置が備える反応室内に搬入して、反応室内に設けられたステージ上に載置した。搬送キャリアは、シリコン基板を保持している面を反応室の頂部に設けられた上部電極に向けた状態でステージ上に載置した。シリコン基板上には、エッチング領域に対応する開口部を備えるレジストマスクを配した。
(a)保護膜形成工程(第1工程)
反応室内に、保護膜形成ガスとしてのC4F8を供給しながら、プラズマを発生させて、シリコン基板の表面に保護膜を形成した。より具体的には、反応室内にC4F8を流量200sccmで導入しつつ、圧力制御バルブ22の開度を制御することで、反応室内の圧力を10Paに維持した。その後、第1高周波電源から2000Wの高周波電力を供給して、反応室内にプラズマを発生させ、シリコン基板の表面をプラズマに10秒間晒すことにより表面に保護膜を形成した。この時、レジストマスクの開口部に形成された溝の底部および側壁にも保護膜が形成される。保護膜を形成する際には、バイアス電圧は印加しなかった。
第1工程後、反応室内に、第1エッチングガスとしてのSF6を供給しながら、プラズマを発生させて、一部の保護膜を除去した。より具体的には、反応室内にSF6を流量100sccmで導入しつつ、圧力制御バルブの開度を制御することで、反応室内の圧力を5Paに維持した。その後、第1高周波電源から2000Wの高周波電力を供給して、反応室内にプラズマを発生させ、シリコン基板の表面をプラズマに5秒間晒すことにより、溝の底部を被覆する保護膜を除去するとともに、溝の側壁を被覆する保護膜は残存させた。このとき、第2高周波電源からステージが備える電極部に300Wのバイアス電圧を印加した。
第2工程後、反応室内に、第2エッチングガスとしてのSF6を供給しながら、プラズマを発生させて、保護膜が除去された領域において、シリコン基板をエッチングした。より具体的には、反応室内にSF6を流量160sccmで導入しつつ、圧力制御バルブの開度を制御することで、反応室内の圧力を8Paに維持した。その後、2000Wの高周波電力を供給して、反応室内にプラズマを発生させ、シリコン基板の表面をプラズマに15秒間晒すことにより、シリコン基板をエッチングした。溝の側壁は保護膜で覆われているため、エッチングは基板の面方向に平行またはそれに近い方向には進行せず、基板の深さ方向に進行した。このとき、ステージが備える電極部に300Wのバイアス電圧を印加した。
第1工程、第2工程および第3工程を、この順序で、100回繰り返した。シリコン基板1のレジストマスクから露出している部分(ストリート)は、プラズマ中のラジカルとイオンの物理化学的作用によって表面から裏面まで除去され、複数のチップに個片化された。
工程(d)の後、すなわち、プラズマダイシングの完了後、アッシングを行った。より具体的には、反応室内に酸素ガスを導入しつつ、圧力制御バルブの開度を調節して、反応室内の圧力を1Paに維持した。次いで、上部電極に高周波電力2000Wを供給して反応室内にプラズマを発生させ、基板に照射した。酸素プラズマの照射により、シリコン基板の表面からレジストマスクを除去した。
保護膜除去工程(第2工程)および基板エッチング工程(第3工程)の双方において、SF6の流量を200sccmに変更し、反応室内の圧力を10Paにした。これら以外は、実施例1と同様にして、プラズマダイシングおよびアッシングを行うことで、個片化されたチップを形成した。
表1に実施例1および比較例1の第1工程〜第3工程の条件をまとめた。
Claims (13)
- 内部にステージを備える反応室において、前記ステージ上に載置された基板をプラズマエッチングするプラズマ処理方法であって、
前記反応室の内部に保護膜形成ガスを供給しながら、プラズマを発生させて、前記基板の表面に保護膜を形成する第1工程と、
前記反応室の内部に第1エッチングガスを供給しながら、プラズマを発生させて、前記保護膜の一部をエッチングにより除去する第2工程と、
前記反応室の内部に第2エッチングガスを供給しながら、プラズマを発生させて、前記基板をエッチングする第3工程と、を備え、
前記第1工程、前記第2工程、および前記第3工程が、この順序で複数回繰り返され、
少なくとも一回の前記第2工程において、前記反応室内の圧力P2は、直後の前記第3工程における前記反応室内の圧力P3よりも小さい、プラズマ処理方法。 - 前記圧力P2は、前記圧力P3の75%以下である、請求項1に記載のプラズマ処理方法。
- 前記圧力P2は、前記圧力P3の33〜70%である、請求項1または2に記載のプラズマ処理方法。
- 前記圧力P2は、直前の前記第1工程における前記反応室内の圧力P1よりも小さい、請求項1に記載のプラズマ処理方法。
- 前記圧力P2は、前記圧力P1の10〜70%である、請求項4に記載のプラズマ処理方法。
- 少なくとも一回の前記第2工程において、前記第1エッチングガスの流量F2は、直後の前記第3工程における前記第2エッチングガスの流量F3よりも少ない、請求項1〜5のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
- 前記流量F2は、前記流量F3の25〜70%である、請求項6に記載のプラズマ処理方法。
- 前記流量F2は、直前の前記第1工程における前記保護膜形成ガスの流量F1よりも小さい、請求項6または7に記載のプラズマ処理方法。
- 前記流量F2は、前記流量F1の10〜70%である、請求項8に記載のプラズマ処理方法。
- 前記ステージは、前記ステージに電気的に接続された高周波電源を備え、
少なくとも一回の前記第2工程およびその直後の前記第3工程では、それぞれ、前記高周波電源より高周波電力E2および高周波電力E3が印加され、
前記第2工程で印加される前記高周波電力E2は、前記第3工程で印加される前記高周波電力E3よりも大きい、請求項1〜9のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。 - 前記少なくとも一回の前記第2工程の直前の前記第1工程では、前記高周波電源より高周波電力E1が印加され、
前記高周波電力E2は、前記高周波電力E1よりも大きい、請求項10に記載のプラズマ処理方法。 - 前記第1エッチングガスおよび前記第2エッチングガスは、それぞれ、フッ素含有ガスを含む、請求項1〜11のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
- 前記保護膜形成ガスは、フッ化炭素を含む、請求項1〜12のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
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