JP2017073442A - 加工装置 - Google Patents
加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017073442A JP2017073442A JP2015198570A JP2015198570A JP2017073442A JP 2017073442 A JP2017073442 A JP 2017073442A JP 2015198570 A JP2015198570 A JP 2015198570A JP 2015198570 A JP2015198570 A JP 2015198570A JP 2017073442 A JP2017073442 A JP 2017073442A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding
- processing
- axis direction
- workpiece
- holding means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 20
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 abstract description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 41
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 38
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 9
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Abstract
Description
また、複数の被加工物を、タイムロスを経ることなく連続して加工できるので、生産効率が向上し、実質的に加工装置を安価に提供することができる。すなわち、保持手段を複数設けることにより被加工物を連続的に加工することにより、高額なレーザー発振器のコストを、備えられた保持手段の数に応じて低下させることができる。
図1には、本発明の実施形態におけるレーザー加工装置によって加工される半導体ウエーハWが示されている。当該半導体ウエーハWは、環状のフレームFに対し環状のフレームFの空間部を覆う保護テープTを介して保持されている。
図3に示すレーザー加工装置1´は、図1に示すレーザー加工装置1に対応するものであり、図3に示すレーザー加工装置1´においては、上記レーザー加工装置1の構成部材と同一部材には同一符号を付してその説明は省略する。
2:静止基台
3a〜3c:チャックテーブル機構(第一〜第三の保持手段)
4:レーザー光線照射ユニット
5:レーザー光線照射手段
6、6a〜6c:撮像手段
31、31:案内レール
32a〜32c:第一の滑動ブロック
33a〜33c:第二の滑動ブロック
36a〜36c:チャックテーブル(保持テーブル)
W:半導体ウエーハ
T:保護テープ
F:環状フレーム
Claims (3)
- 加工装置であって、
被加工物を保持する保持テーブルを有する第一の保持手段と、
被加工物を保持する保持テーブルを有する第二の保持手段と、
該第一の保持手段および該第二の保持手段をX軸方向に加工送りするX軸送り手段と、
該第一の保持手段のX軸方向に直交するY軸方向に加工送りする第一のY軸送り手段と、
該第二の保持手段のX軸方向に直交するY軸方向に加工送りする第二のY軸送り手段と、
該第一の保持手段に保持された被加工物と該第二の保持手段に保持された被加工物に加工を施す加工手段と、
該第一の保持手段および該第二の保持手段に保持された被加工物を撮像し加工すべき領域を検出するアライメント手段と、を少なくとも備え、
該第一、第二の保持手段が、該X軸方向に対する保持テーブルの角度を角度調整可能に構成されているとともに、
該X軸送り手段によって該第一の保持手段と該第二の保持手段を順次該加工手段に位置付けて被加工物を順次加工する加工装置。 - 該第一の保持手段および該第二の保持手段に対応してアライメント手段が配設される請求項1に記載の加工装置。
- 該加工手段は被加工物にレーザー光線を照射する集光器を備えたレーザー光線照射手段である請求項1又は2に記載された加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015198570A JP6574125B2 (ja) | 2015-10-06 | 2015-10-06 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015198570A JP6574125B2 (ja) | 2015-10-06 | 2015-10-06 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017073442A true JP2017073442A (ja) | 2017-04-13 |
JP6574125B2 JP6574125B2 (ja) | 2019-09-11 |
Family
ID=58538336
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015198570A Active JP6574125B2 (ja) | 2015-10-06 | 2015-10-06 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6574125B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019009269A (ja) * | 2017-06-23 | 2019-01-17 | 東京エレクトロン株式会社 | ダイシング装置およびダイシング方法 |
JP2020171961A (ja) * | 2019-04-09 | 2020-10-22 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11534862B2 (en) * | 2019-04-09 | 2022-12-27 | Disco Corporation | Laser processing apparatus |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56155534A (en) * | 1980-03-10 | 1981-12-01 | Far Fab Assortiments Reunies | Planar material cutting facility and handing device therefor |
JPH02229451A (ja) * | 1984-12-27 | 1990-09-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハダイシング装置 |
JPH10189496A (ja) * | 1996-12-24 | 1998-07-21 | Toshiba Corp | ウェーハ切断方法およびその装置 |
JPH11284277A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-15 | Toshiba Corp | レーザダイオードの製造装置および製造方法 |
JP2008110383A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
JP2009125934A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-11 | Canon Machinery Inc | 基板切断装置 |
JP2015077622A (ja) * | 2013-10-18 | 2015-04-23 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
-
2015
- 2015-10-06 JP JP2015198570A patent/JP6574125B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56155534A (en) * | 1980-03-10 | 1981-12-01 | Far Fab Assortiments Reunies | Planar material cutting facility and handing device therefor |
JPH02229451A (ja) * | 1984-12-27 | 1990-09-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体ウェーハダイシング装置 |
JPH10189496A (ja) * | 1996-12-24 | 1998-07-21 | Toshiba Corp | ウェーハ切断方法およびその装置 |
JPH11284277A (ja) * | 1998-03-27 | 1999-10-15 | Toshiba Corp | レーザダイオードの製造装置および製造方法 |
JP2008110383A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
JP2009125934A (ja) * | 2007-11-19 | 2009-06-11 | Canon Machinery Inc | 基板切断装置 |
JP2015077622A (ja) * | 2013-10-18 | 2015-04-23 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019009269A (ja) * | 2017-06-23 | 2019-01-17 | 東京エレクトロン株式会社 | ダイシング装置およびダイシング方法 |
JP2020171961A (ja) * | 2019-04-09 | 2020-10-22 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
CN111805076A (zh) * | 2019-04-09 | 2020-10-23 | 株式会社迪思科 | 激光加工装置 |
JP7449097B2 (ja) | 2019-04-09 | 2024-03-13 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6574125B2 (ja) | 2019-09-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5043630B2 (ja) | レーザー加工機 | |
JP5036276B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP5221254B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
TWI680821B (zh) | 雷射加工裝置 | |
KR20160065766A (ko) | 레이저 가공 장치 | |
KR20150050357A (ko) | 레이저 가공 장치 | |
JP2009262219A (ja) | レーザー加工装置 | |
CN104867842B (zh) | 加工装置的晶片中心检测方法 | |
CN103128441B (zh) | 激光加工装置 | |
JP6574125B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2012161861A (ja) | 加工装置 | |
JP2009113052A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2006247674A (ja) | レーザー加工装置 | |
TW200936340A (en) | Dicing device and dicing method | |
JP2007275962A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP5902490B2 (ja) | レーザー光線のスポット形状検出方法およびスポット形状検出装置 | |
KR102008532B1 (ko) | 가공 장치 | |
KR20160030365A (ko) | 레이저 가공 장치 | |
JP5833359B2 (ja) | レーザー光線照射装置 | |
JP2016034659A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2010029906A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2013237097A (ja) | 改質層形成方法 | |
JP2015213927A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2015093304A (ja) | レーザ加工装置 | |
JP6224462B2 (ja) | レーザー加工装置における加工送り機構の作動特性検出方法およびレーザー加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180816 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190513 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190521 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190710 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190723 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190815 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6574125 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |