JP2017069386A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
この基板処理装置1は、基板の一例としての半導体ウエハW(以下、単に「基板W」という。)を1枚ずつ処理する枚葉型の装置である。基板処理装置1は、概略、複数枚のウエハWが格納されたカセットCを載置する複数のカセット載置台2、カセット載置台2に載置されたカセットCとの間で基板Wの搬出および搬入を行うインデクサロボットIRが配置されたインデクサエリア3、基板Wに対して洗浄処理・乾燥処理等の処理を行う複数の処理ユニット4および処理ユニット4に向けて基板Wを搬送するセンタロボットCRが配置された処理エリア5、並びに、インデクサエリア4と処理エリア5との間で基板Wの受渡しを行う受渡しエリア6を備えている。
2 カセット載置台
3 インデクサエリア
4 処理ユニット
5 処理エリア
5 インデクサエリア
6 受渡エリア
10 開閉部材
11 カメラ
21 ハンド
22 ハンド
23 IR進退機構
24 IR移動機構
31 ハンド
32 ハンド
33 CR進退機構
34 CR移動機構
50 制御部
51 形状認識部
52 判定部
53 データ補正部
54 搬送計画部
55 搬送制御部
60 記憶部
61 基準配置位置データ
62 基準基板形状データ
63 閾値データ
64 基準ティーチングデータ
65 補正ティーチングデータ
W 基板
C カセット
CR センターロボット
IR インデクサロボット
Claims (4)
- 基板を保持するカセットと、前記基板を処理する処理ユニットと、前記カセットから搬出された前記基板を前記処理ユニットに搬入する基板搬送機構と、を備えた基板処理装置において、
前記カセットに保持された前記基板の形状を判定する判定手段と、
前記判定手段により判定された基板の形状に基づいて、前記基板搬送機構が前記処理ユニットに前記基板を搬送する際の搬送軌跡を補正する補正手段と、を備えた基板処理装置。 - 前記カセットに保持された基板を撮像する撮像手段をさらに有し、前記判定手段は前記撮像手段により撮像された基板の撮像画像に基づいて前記基板の形状を判定する、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記カセットは、前記カセット内部において前記基板を基準位置に保持する基板保持手段を有し、前記判定手段は、前記基板の撮像画像に基づいて、前記基板が前記基準位置に保持されているか否かを判定する、請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記基板搬送機構は、前記カセットから基板を搬出するインデクサロボットと前記カセットから搬出された基板を前記処理ユニットに搬入するセンタロボットとを含み、
前記各ロボットが前記カセット内の基準位置に配置された基準形状の基板を搬送する際に適用される基準ティーチングデータを記憶する記憶部をさらに有し、
前記判定手段によって基準形状を有する基板が前記基準位置に保持されていると判定された場合には、前記補正手段は、前記インデクサロボット用の基準ティーチングデータを補正するが、前記センタロボット用の基準ティーチングデータは補正せず、
前記判定手段によって基準形状とは異なる形状の基板が前記カセット内に保持されていると判定された場合には、前記補正手段は、前記インデクサロボット用の基準ティーチングデータと前記センタロボット用の基準ティーチングデータとを補正する、請求項3に記載の基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015193289A JP6571475B2 (ja) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | 基板処理装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2015
- 2015-09-30 JP JP2015193289A patent/JP6571475B2/ja active Active
Patent Citations (6)
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