JP2017067683A - 異物検査装置 - Google Patents
異物検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017067683A JP2017067683A JP2015195905A JP2015195905A JP2017067683A JP 2017067683 A JP2017067683 A JP 2017067683A JP 2015195905 A JP2015195905 A JP 2015195905A JP 2015195905 A JP2015195905 A JP 2015195905A JP 2017067683 A JP2017067683 A JP 2017067683A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- cover
- case
- inspection
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 141
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 81
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 81
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 78
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims abstract description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical group [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 76
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 22
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 22
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 19
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000012905 input function Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Description
カバーの第1変形例について説明する。第1変形例に係るカバーは、実施形態におけるカバー24に対して大きさが異なるだけで同じ特性を有している。図7に示すように本変形例に係るカバー24Aは、基板ケース23の外側に設けられている。また、カバー24Aは、基板ケース23の外側からスリット23aを覆っている。カバー24Aは、スリット23aが設けられている部分及びその周囲のみを覆っている。すなわち、カバー24Aは、実施形態に係るカバー24のように基板ケース23の全体を覆っていない。カバー24Aは、基板ケース23の外面に両面テープなどで貼り付けられることによって基板ケース23に固定されていてもよい。
カバーの第2変形例について説明する。第2変形例に係るカバーは、実施形態におけるカバー24に対して大きさ及び設けられる位置が異なるだけで同じ特性を有している。図8に示すように本変形例に係るカバー24Bは、基板ケース23の内側に設けられている。また、カバー24Bは、基板ケース23の内面全体を覆っている。すなわち、カバー24Bは、スリット23aを基板ケース23の内側から覆っている。カバー24Bは、基板ケース23の内面に両面テープなどで貼り付けられることによって基板ケース23に固定されていてもよい。また、カバー24Bが基板ケース23の内面全体を覆うことによって、X線検出器22の全体がカバー24によって覆われる。
カバーの第3変形例について説明する。第3変形例に係るカバーは、実施形態におけるカバー24に対して大きさ及び設けられる位置が異なるだけで同じ特性を有している。図9に示すように本変形例に係るカバー24Cは、基板ケース23の内側に設けられている。また、カバー24Cは、基板ケース23の内側からスリット23aを覆っている。カバー24Cは、スリット23aが設けられている部分及びその周囲のみを覆っている。すなわち、カバー24Cは、第2変形例に係るカバー24Bのように、基板ケース23の内面全体を覆っていない。カバー24Cは、基板ケース23の内面に両面テープなどで貼り付けられることによって基板ケース23に固定されていてもよい。
カバーの第4変形例について説明する。第4変形例に係るカバーは、実施形態におけるカバー24に対して大きさ及び設けられる位置が異なるだけで同じ特性を有している。図10に示すように本変形例に係るカバー24Dは、スリット23a内に嵌め込まれている。すなわち、カバー24Dは、スリット23a内に嵌め込まれることによって、スリット23aを覆っている。
Claims (6)
- 被検査物を搬送する搬送部と、
X線の透過性を利用して、前記搬送部で搬送されている前記被検査物に含まれる異物を検出するX線検査部と、
磁界と金属との相互作用を利用して、前記搬送部で搬送されている前記被検査物に含まれる異物を検出する金属検出部と、
前記搬送部の少なくとも一部、前記X線検査部、及び前記金属検出部を内部に収容する筐体と、
を備え、
前記X線検査部は、
前記X線を発生させるX線発生器と、
前記X線発生器で発生した前記X線を検出するX線検出器と、
前記X線検出器を収容すると共に、前記X線発生器で発生した前記X線を前記X線検出器に到達させる開口部を有するケースと、
前記ケースの前記開口部を覆うカバーと、
を有し、
前記カバーは、前記ケースよりもX線の透過率が高く且つ導電性を有する、異物検査装置。 - 前記カバーは、前記ケースの外側に設けられている、請求項1に記載の異物検査装置。
- 前記カバーは、前記ケースの外面全体を覆っている、請求項2に記載の異物検査装置。
- 前記カバーは、前記ケースの内側に設けられている、請求項1に記載の異物検査装置。
- 前記カバーは、前記ケースの内面全体を覆っている、請求項4に記載の異物検査装置。
- 前記カバーは、アルミニウムを主成分とする金属からなる、請求項1から5のいずれか一項に記載の異物検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015195905A JP6794101B2 (ja) | 2015-10-01 | 2015-10-01 | 異物検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015195905A JP6794101B2 (ja) | 2015-10-01 | 2015-10-01 | 異物検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017067683A true JP2017067683A (ja) | 2017-04-06 |
JP6794101B2 JP6794101B2 (ja) | 2020-12-02 |
Family
ID=58494514
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015195905A Active JP6794101B2 (ja) | 2015-10-01 | 2015-10-01 | 異物検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6794101B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004037204A (ja) * | 2002-07-02 | 2004-02-05 | Hamamatsu Photonics Kk | X線検出器及びこれを備えた検査システム |
JP2004177250A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Canon Inc | X線撮影装置 |
WO2005043149A1 (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-12 | Tok Engineering Co., Ltd. | ハイブリッド型異物検知装置とそのトレサビリティ用システム |
JP2008051626A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Toshiba Corp | ラインセンサ、ラインセンサユニット及び放射線非破壊検査システム |
JP2015028465A (ja) * | 2013-06-25 | 2015-02-12 | 日新電子工業株式会社 | 異物検査装置 |
JP2015121479A (ja) * | 2013-12-24 | 2015-07-02 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | X線分析装置 |
-
2015
- 2015-10-01 JP JP2015195905A patent/JP6794101B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004037204A (ja) * | 2002-07-02 | 2004-02-05 | Hamamatsu Photonics Kk | X線検出器及びこれを備えた検査システム |
JP2004177250A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Canon Inc | X線撮影装置 |
WO2005043149A1 (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-12 | Tok Engineering Co., Ltd. | ハイブリッド型異物検知装置とそのトレサビリティ用システム |
JP2008051626A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Toshiba Corp | ラインセンサ、ラインセンサユニット及び放射線非破壊検査システム |
JP2015028465A (ja) * | 2013-06-25 | 2015-02-12 | 日新電子工業株式会社 | 異物検査装置 |
JP2015121479A (ja) * | 2013-12-24 | 2015-07-02 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | X線分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6794101B2 (ja) | 2020-12-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6040190B2 (ja) | 異物検査装置 | |
JP5156487B2 (ja) | X線検査装置 | |
WO2017213146A1 (ja) | 異物検査装置 | |
JP6157775B1 (ja) | 異物検査装置及び異物検査システム | |
JP6122926B2 (ja) | 異物検査装置 | |
JP6285987B2 (ja) | 異物検査装置 | |
JP6654392B2 (ja) | 異物検査装置 | |
JP6794101B2 (ja) | 異物検査装置 | |
JP6122925B2 (ja) | 異物検査装置 | |
JP6654393B2 (ja) | 異物検査装置 | |
JP6123005B2 (ja) | 異物検査装置 | |
WO2017057740A1 (ja) | 異物検査装置 | |
EP4060330B1 (en) | X-ray inspection apparatus | |
JP6677996B2 (ja) | 異物検査装置 | |
WO2017057738A1 (ja) | 異物検査装置 | |
KR20190109374A (ko) | 스테이지 배출 구조의 엑스레이 검사 장치 | |
JP2017072585A (ja) | X線検査装置 | |
JP6438260B2 (ja) | 物品検査装置 | |
JP4888504B2 (ja) | X線防護箱及びこのx線防護箱を使用するx線検査装置 | |
JP2010071669A (ja) | 計量装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180927 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190628 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190709 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190909 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191010 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200324 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20201104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20201111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6794101 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |