JP2017063088A - 温度調整装置及び基板処理装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 27
- 239000012267 brine Substances 0.000 description 167
- HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M sodium;chloride;hydrate Chemical compound O.[Na+].[Cl-] HPALAKNZSZLMCH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 167
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 13
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 11
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 11
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N chloro(fluoro)methane Chemical compound F[C]Cl KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N Aspirin Chemical compound CC(=O)OC1=CC=CC=C1C(O)=O BSYNRYMUTXBXSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32715—Workpiece holder
- H01J37/32724—Temperature
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/3244—Gas supply means
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- H—ELECTRICITY
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32697—Electrostatic control
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/324—Thermal treatment for modifying the properties of semiconductor bodies, e.g. annealing, sintering
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67109—Apparatus for thermal treatment mainly by convection
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67248—Temperature monitoring
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- H—ELECTRICITY
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
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- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
- H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
Description
(基板処理装置)
まず、本発明の一実施形態に係る温度調整装置1の一例について、図1を参照しながら説明する。本実施形態では、温度調整装置1により基板処理装置100の温度制御が実行される。
本実施形態に係る温度調整装置1は、低温温調ユニット30及び高温温調ユニット40に接続される。低温温調ユニット30及び高温温調ユニット40は、流体を貯蔵可能な大型のタンクと循環ポンプを有し、各タンクへ貯蔵される流体の量は、常に温度の安定性を担保できる所定量を満たすことができる。
ここで、次式(2)で求められる値を成績係数(COP:Coefficient Of Performance)と定義する。ヒートポンプ構造10のCOPの値は常に1よりも大きい値となる。
COP=Q2/W=Q2/(Q2−Q1)=T2/(T2−T1)・・・(2)
ここで、T1は低温ブラインの温度、T2は高温ブラインの温度である。
次に、ヒートポンプ構造10の具体的動作とブライン温度の一例について、図2〜図9を参照しながら説明する。前提として、載置台111の温度が10℃に安定しているとき、図1の流路R3、入口流路171、載置台流路170、出口流路172及び流路R3の循環流路には、低温温調ユニット30を介して低温ブラインが流れる。三方弁21,22により流路R4及び流路R2には高温ブラインが存在する閉回路となっている。
まず、本実施形態にかかるヒートポンプ構造10を使用していない場合の低温ブライン及び高温ブラインの温度について説明する。図2は、本実施形態に係るヒートポンプ構造10を使用しない場合の温度センサの検出値の一例を示す。温度センサS3は、低温温調ユニット30から出力され、行きの流路R3を流れる低温ブラインの温度T3を検出する。低温温調ユニット30は、低温ブラインを10℃に制御している。温度センサS2は、低温温調ユニット30への戻り流路R1を流れる低温ブラインの温度T2を検出する。
次に、本実施形態にかかるヒートポンプ構造10を使用している場合の低温ブライン及び高温ブラインの温度について説明する。図3は、本実施形態に係るヒートポンプ構造10を使用した場合の温度センサの検出値の一例を示す。ヒートポンプ構造10をオン(稼働)するまで、温度センサS2、S3、S5、S6の温度は図2に示す温度を保持する。また、戻りの流路R1の蒸発器12の前後に設けられた温度センサS1、S2が検出する温度T1、T2は、ヒートポンプ構造10をオン(稼働)するまで同じ温度である。同様に、戻りの流路R2の凝縮器13の前後に設けられた温度センサS4、S5が検出する温度T4、T5は、ヒートポンプ構造10をオンするまで同じ温度である。
次に、載置台111の温度を低温から高温へ切り替えるときの低温ブライン及び高温ブラインの温度について、本実施形態にかかるヒートポンプ構造10をオフしている場合とオンしている場合とを比較して説明する。図4は、本実施形態に係るヒートポンプ構造10をオフしているときの切替時(低温→高温)の温度の一例を示す。図5は、本実施形態に係るヒートポンプ構造10をオンしているときの切替時(低温→高温)の温度の一例を示す。
次に、載置台111の温度を高温から低温へ切り替えるときの低温ブライン及び高温ブラインの温度について、本実施形態にかかるヒートポンプ構造10をオフしている場合とオンしている場合とを比較して説明する。図6は、本実施形態に係るヒートポンプ構造10をオフしているときの切替時(高温→低温)の温度の一例を示す。図7は、本実施形態に係るヒートポンプ構造10をオンしているときの切替時(高温→低温)の温度の一例を示す。
次に、上記に説明したヒートポンプ構造10によっても、切替時(低温→高温)の高温ブラインの加熱能力、及び切替時(高温→低温)の低温ブラインの冷却能力が不足する場合がある。この場合、ヒートポンプ構造10と冷却水(例えば水道水)との熱交換を行うことで、低温温調ユニット30及び高温温調ユニット40に戻るブラインによる熱負荷をより低減することができる。
最後に、本実施形態の変形例に係る温度調整装置1について、図10を参照しながら説明する。図10の本実施形態の変形例に係る温度調整装置1は、図1の本実施形態に係る温度調整装置1と比較して、2系統の循環流路を有する。一の循環経路は、低温温調ユニット30、高温温調ユニット40→流路R3a、R4a→(三方弁21a)→入口流路171a→周縁部載置台流路170a→出口流路172a→(三方弁22a)→流路R1a、R2a→ヒートポンプ構造10a→低温温調ユニット30、高温温調ユニット40で示される。
10:ヒートポンプ構造
12:蒸発器(熱交換器)
13:凝縮器(熱交換器)
14:膨張弁(第1バルブ)
15:圧縮器
16:膨張弁(第2バルブ)
17:膨張弁(第3バルブ)
18:蒸発器(熱交換器)
19:凝縮器(熱交換器)
20:切替ユニット
21,22:三方弁
30:低温温調ユニット
40:高温温調ユニット
100:基板処理装置
110:処理容器
111:載置台
112:静電チャック
170:載置台流路
171:入口流路
172:出口流路
S1〜S6:温度センサ
R1〜R4:流路
Claims (6)
- 被処理基板を載置する載置台と、
第1温度調整媒体の温度を第1温度に制御する第1温度制御部と、
第2温度調整媒体の温度を第1温度よりも高い第2温度に制御する第2温度制御部と、
前記載置台の内部に設けられ、前記第1温度調整媒体と前記第2温度調整媒体とが切り替えて流される載置台流路と、
前記載置台流路から流出した前記第1温度調整媒体が流れる第1流路と、
前記載置台流路から流出した前記第2温度調整媒体が流れる第2流路と、
前記第1流路及び前記第2流路に接続され、前記第1温度調整媒体と前記第2温度調整媒体との間における熱の授受を行うヒートポンプ構造と、
を有する被処理基板の温度調整装置。 - 前記第1温度は−30℃以上であり、前記第2温度は、70℃以下である、
請求項1に記載の温度調整装置。 - 前記ヒートポンプ構造は、前記第1流路に蒸発器を有し、前記第2流路に凝縮器を有する、
請求項1又は2に記載の温度調整装置。 - 前記ヒートポンプ構造は、前記第1流路及び前記第2流路のそれぞれに設けられた温度センサにより得た温度に基づき温度制御を行う温度制御部を有する、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の温度調整装置。 - 前記第1温度調整媒体が流れる複数の前記第1流路と、前記第2温度調整媒体が流れる複数の前記第2流路と、前記第1温度調整媒体と前記第2温度調整媒体との間の熱の授受を行う複数の前記ヒートポンプ構造とを有し、
複数の前記第1流路、複数の前記第2流路及び複数の前記ヒートポンプ構造は複数の系統の流路を構成し、前記複数の系統の流路は、前記載置台の内部に分離して複数設けられた載置台流路に接続される、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の温度調整装置。 - 被処理基板を処理する処理容器と、
前記処理容器の内部に設けられ、被処理基板を載置する載置台と、
第1温度調整媒体の温度を第1温度に制御する第1温度制御部と、
第2温度調整媒体の温度を第1温度よりも高い第2温度に制御する第2温度制御部と、
前記載置台の内部に設けられ、前記第1温度調整媒体と前記第2温度調整媒体とが切り替えて流れる載置台流路と、
前記載置台流路から流出した前記第1温度調整媒体が流れる第1流路と、
前記載置台流路から流出した前記第2温度調整媒体が流れる第2流路と、
前記第1温度調整媒体と前記第2温度調整媒体との間の熱の授受を行うヒートポンプ構造と、
を有する基板処理装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015186728A JP6570390B2 (ja) | 2015-09-24 | 2015-09-24 | 温度調整装置及び基板処理装置 |
US15/267,246 US10903057B2 (en) | 2015-09-24 | 2016-09-16 | Temperature adjustment device and substrate processing apparatus |
KR1020160121208A KR102568025B1 (ko) | 2015-09-24 | 2016-09-22 | 온도 조정 장치 및 기판 처리 장치 |
TW105130542A TWI746460B (zh) | 2015-09-24 | 2016-09-22 | 溫度調整裝置及基板處理裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015186728A JP6570390B2 (ja) | 2015-09-24 | 2015-09-24 | 温度調整装置及び基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017063088A true JP2017063088A (ja) | 2017-03-30 |
JP6570390B2 JP6570390B2 (ja) | 2019-09-04 |
Family
ID=58409844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015186728A Active JP6570390B2 (ja) | 2015-09-24 | 2015-09-24 | 温度調整装置及び基板処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10903057B2 (ja) |
JP (1) | JP6570390B2 (ja) |
KR (1) | KR102568025B1 (ja) |
TW (1) | TWI746460B (ja) |
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TW201727736A (zh) | 2017-08-01 |
JP6570390B2 (ja) | 2019-09-04 |
KR102568025B1 (ko) | 2023-08-17 |
KR20170036629A (ko) | 2017-04-03 |
TWI746460B (zh) | 2021-11-21 |
US10903057B2 (en) | 2021-01-26 |
US20170092471A1 (en) | 2017-03-30 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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