JP2017059590A - 積層ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
Description
13 第1ウェーハ
13a 第1面
13b 第2面
13c 領域
13d 切削溝
13e 内周
13f 外周余剰部
15 第2ウェーハ
15a 第1面
15b 第2面
15c 面取り部
15d 一部
17 接着層
17a 外周
17b 一部
2 切削装置
4 チャックテーブル
4a 保持面
6a 第1切削ユニット
6b 第2切削ユニット
8a 第1スピンドル
8b 第2スピンドル
10a 第1切削ブレード
10b 第2切削ブレード
Claims (1)
- 第1ウェーハと該第1ウェーハより厚い第2ウェーハとを金属からなる接着層で接合した積層ウェーハに切削ブレードを切り込ませて、該第1ウェーハの該接着層より外側の外周余剰部を該接着層の一部とともに除去する積層ウェーハの加工方法であって、
第1切削ブレードを該接着層の外周に対応する領域より内側で該第1ウェーハに切り込ませつつ該積層ウェーハを回転させて、該第1ウェーハを切断しない深さの環状の切削溝を形成する切削溝形成ステップと、
該切削溝形成ステップを実施した後、該第1切削ブレードに含まれる砥粒よりも粒径の大きい砥粒を含む第2切削ブレードを該切削溝の内周より外側の領域で該第1ウェーハ側から該第2ウェーハまで切り込ませつつ該積層ウェーハを回転させて、該第1ウェーハの該外周余剰部を該接着層の一部とともに除去する除去ステップと、を具備したことを特徴とする積層ウェーハの加工方法。
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