JP2017052050A - 凸状構造体、凹状構造体、及び凸状構造体の製造方法 - Google Patents
凸状構造体、凹状構造体、及び凸状構造体の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
まず本発明の一実施の形態に係る凸状構造体の構成について説明する。図1および図2は、本発明の一実施の形態に係る凸状構造体を示す概略図であり、図3は、突起を示す概略拡大斜視図である。なお、各図において、X方向とY方向とは互いに直交し、Y方向とZ方向とは互いに直交し、Z方向とX方向とは互いに直交している。
次に本発明の一実施の形態に係る凹状構造体の構成について説明する。図4および図5は、本発明の一実施の形態に係る凹状構造体を示す図である。
次に、上述した凹状構造体40を製造する方法について、図6(a)〜(g)を用いて説明する。
次に、このような構成からなる本実施の形態について説明する。具体的には、凸状構造体10を用いた移動制御デバイスの作用について説明する。図8は、本発明の一実施の形態に係る移動制御デバイスを示す図である。
上述の実施の形態では、凸状構造体10の各突起20のうち、X方向マイナス側(一方向側)を含む三方向側に階段部21が形成されている場合を例にとって説明したが、これに限られるものではない。例えば、図9に示すように、各突起20のうち、一方向側(X方向マイナス側)のみに階段部21が形成され、当該一方向に直交する二方向側(Y方向プラス側及びY方向マイナス側)には、デバイス本体11の表面11aに垂直な側面25が形成されていても良い。あるいは、図10に示すように、各突起20のうち、一方向側を含む二方向側(X方向マイナス側及びY方向プラス側)に階段部21が形成され、当該一方向及び当該一方向に直交する側(Y方向マイナス側)間には、デバイス本体11の表面11aに垂直な側面25が形成されていても良い。
11 デバイス本体
11a 表面
20 突起
21 階段部
22 段部
23 垂直面
24 頂面
40 凹状構造体
41 構造体本体
50 孔部
51 階段部
52 段部
60 移動制御デバイス
61 対向板
Claims (7)
- 凸状構造体であって、
平坦な表面を有するデバイス本体と、
前記デバイス本体上に突設され、平面方向に間隔を空けて配置された複数の突起とを備え、
各突起のうち少なくとも一方向側に階段部が形成されていることを特徴とする凸状構造体。 - 各突起のうち前記一方向側と反対側には、前記表面に垂直な垂直面又は前記階段部よりも急な傾斜をもつ傾斜面が形成されていることを特徴とする請求項1記載の凸状構造体。
- 各突起のうち前記一方向側を含む三方向側に前記階段部が形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の凸状構造体。
- 各突起の高さは、1μm〜10μmであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項記載の凸状構造体。
- 前記階段部の各段の高さは、10nm〜1μmであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項記載の凸状構造体。
- 凹状構造体であって、
平坦な表面を有する構造体本体と、
前記構造体本体に穿設され、平面方向に間隔を空けて配置された複数の孔部とを備え、
各孔部のうち少なくとも一方向側に階段部が形成されていることを特徴とする凹状構造体ことを特徴とする凹状構造体。 - 請求項6記載の凹状構造体を用いて、請求項1乃至5のいずれか一項記載の凸状構造体を作製する、凸状構造体の製造方法であって、
前記凹状構造体を準備する工程と、
前記凹状構造体に対向する位置に、基材保持部を配置する工程と、
前記基材保持部上に、樹脂の液滴を供給する工程と、
前記凹状構造体と前記基材保持部とを近接させることにより、前記凹状構造体と前記基材保持部との間に前記液滴を展開し、前記凸状構造体を構成する樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層を硬化させることにより、前記樹脂層に前記凹状構造体の前記孔部が転写され、前記凸状構造体の前記突起が形成される工程とを備えたことを特徴とする凸状構造体の製造方法。
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