JP2017050533A5 - - Google Patents

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第２のカメラ１５はボンディングヘッド１０に据えられる。カメラ１５の光軸は、ボンディングヘッド１０の把持軸に平行に延在する。第２のカメラ１５は、第２のカメラ１５の画像に割り当てられる画素座標系の配向がボンディングヘッド１０の把持軸に対して固定された幾何学的関係にあるように、ボンディングヘッド１０に機械的に据えられる。基板位置の少なくとも１つの画像によって、または、第２のカメラ１５によって記録される基板上のマーキングによって判断される基板位置の画素座標は、第２の幾何学的データによって、ボンディングヘッド１０の機械座標に変換される。
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