JP2017044492A - センサおよび接合構造体 - Google Patents
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Abstract
【課題】 基板に接合した状態で使用しても、剥離が生じ難いセンサおよびそれを用いた接合構造体を提供する。【解決手段】 センサは、上側主面から下側主面にかけて開口した枠状体であって、下側主面が外部の基板に対向するように基板1に接合される支持部と、支持部の内側に位置する可動部と、支持部と可動部とを接続する可撓性を有する接続部と、接続部に位置する検出部とを具備している。支持部の外側面は、第1の部位および第1の部位よりも下側に位置するとともに第1の部位よりも外側に突出した第2の部位を具備している。【選択図】 図1
Description
本発明は、物理量に応じて可動する可動部を有するセンサおよびこれを用いた接合構造体に関する。
近年、MEMS技術を用いたセンサが開発されている。このようなセンサは、外部から与えられる物理量に応じて可動する可動部を有しており、この可動部の動きを静電容量の変化やピエゾ抵抗素子の抵抗変化等で検出することができる。
このようなMEMS技術を用いたセンサとしては、例えば特許文献1に示すような加速度センサや特許文献2に示すような触覚センサがある。これらのセンサは、配線基板等の他の基板に接合部材を介して接合された状態で使用される。
上記のセンサは、外部から与えられる物理量によって、センサと基板との接合部に応力が生じやすく、センサが基板から剥離する場合がある。特に、基板として比較的可撓性の高いフレキシブル基板を用いた場合には、剥離が生じやすくなる。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、基板に接合した状態で使用しても、剥離が生じ難いセンサおよびそれを用いた接合構造体を提供することを目的とする。
本発明の一態様に係るセンサは、上側主面から下側主面にかけて開口した枠状体であって、前記下側主面が外部の基板に対向するように前記基板に接合される支持部と、該支持部の内側に位置する可動部と、前記支持部と前記可動部とを接続する可撓性を有する接続部と、該接続部に位置する検出部とを具備しており、前記支持部の外側面は、第1の部位および該第1の部位よりも下側に位置するとともに前記第1の部位よりも外側に突出した第2の部位を具備している。
本発明の一態様に係る接合構造体は、基板と、該基板の上面に接合された上記のセンサと、前記第2の部位の上面に被着するように前記基板と前記センサとを接合する接合部材とを具備している。
本発明によれば、基板からのセンサの剥離をより低減することができる。
本発明の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図1〜図9には、右手系のXYZ座標系を付しており、以下では、便宜上、Z軸方向を上下方向として説明をするが、上下方向が必ずしも鉛直方向に限定されない。
図1は、本発明の一実施形態のセンサ10およびそれを用いた接合構造体100の断面図である。図2は、センサ10の上面図である。図3は、センサ10の下面図である。また、図4は、図2のI−I線における断面図である。
接合構造体100は、基板1と、センサ10と、基板1およびセンサ10を接合する接合部材3とを具備している。また、センサ10は、第1の部位15および第2の部位16を有する支持部11と、可動部12と、支持部11および可動部12を接続する接続部13と、接続部13に位置する検出部14とを具備している。
センサ10に加速度または接触による外力等の物理量が加わると、その物理量に応じて可動部12が動くことで接続部13が撓むようになっている。そして、接続部13の撓み量に応じた電気信号を検出部14により検出し、不図示の電気配線によりその電気信号を取出し演算することによりセンサ10に加わった物理量を検出することができる。
可動部12は、例えば平面形状が略正方形であり、略正方形の一辺の長さが例えば0.4mm〜0.7mmに設定される。また、可動部12の厚みは、例えば0.2mm〜0.7mmに設定される。なお、可動部12の平面形状は正方形に限られず、円や長方形など任意の形状が可能である。
支持部11は、上側主面から下側主面にかけて開口した枠状体であって、可動部12を平面視で囲むように配置されている。支持部12は、例えば平面形状が略正方形であり、中央部に可動部12より若干大きい略正方形の開口部を有している。支持部11は、その一辺の長さが例えば1.4mm〜3mmに設定され、支持部11を構成するアームの幅(アームの長手方向と直交する方向の幅)は例えば0.3mm〜1.8mmに設定される。また支持部11の厚みは、例えば0.2mm〜0.7mmに設定される。
接続部13は、図3および図4に示すように、支持部11と可動部12とを接続している。つまり、接続部13は、一方端が支持部11の内側面に連結され、他方端が可動部12の側面に連結されている。本実施形態におけるセンサ10では、4本の接続部13が設けられており、4本の接続部13のうち2本はX軸方向に伸びて可動部12を間に挟んだ状態で同一直線状に配され、他の2本はY軸方向に伸びて可動部12を間に挟んだ状態で同一直線状に配されている。
接続部13は可撓性を有し、センサ10に物理量が加わると可動部13が動き、可動部12の動きに伴って接続部13が撓むようになっている。接続部13は、長手方向の長さ(支持部11側端部から可動部12側端部に向かう方向の長さ)が、例えば0.3mm〜0.8mmに設定される。また、接続部13の幅(長手方向と直交する方向の長さ)は、例えば0.04mm〜0.2mmに設定される。また、接続部13の厚みは、例えば5μ
m〜20μmに設定される。このように接続部13を細長く且つ薄くすることによって可撓性が発現される。なお、接続部13は、細長いものにかぎられず、可撓性を十分発現できれば、支持部11の下側開口を塞ぐように形成されていてもよい。
m〜20μmに設定される。このように接続部13を細長く且つ薄くすることによって可撓性が発現される。なお、接続部13は、細長いものにかぎられず、可撓性を十分発現できれば、支持部11の下側開口を塞ぐように形成されていてもよい。
支持部11、可動部12および接続部13は、半導体基板を、従来周知の半導体微細加工技術、例えばフォトリソグラフィ法またはディープドライエッチング等を用いて加工することにより作製することができる。なお、上記半導体基板としては、シリコン(Si)基板またはSOI基板(Siから成る第1層と、SiO2から成る第2層と、Siから成る第3層とがこの順に積層された基板)等を用いることができる。
検出部14は、接続部13の撓み量を検出する素子であり、例えば接続部13の表面または内部に設けられたピエゾ抵抗素子である。本実施形態では、図3に示すように、ピエゾ抵抗素子から成る検出部Rax1〜Rax4,Ray1〜Ray4,Raz1〜Raz4が設けられている(以下、これらの検出部をまとめて称するときは適宜、符号14で表す)。検出部Rax1〜Rax4,Ray1〜Ray4,Raz1〜Raz4は、可動部12の3軸方向(図3に示した3次元直交座標系におけるX軸方向、Y軸方向、Z軸方向)の動きを検出できるように接続部13の所定の位置に形成された上、ブリッジ回路を構成するように結線されている。
このような検出部Rax1〜Rax4,Ray1〜Ray4,Raz1〜Raz4は、例えば、シリコン(Si)から成る接続部13の表面にボロン(B)またはヒ素(As)等の不純物元素を、イオン注入法等によって打ち込むことにより抵抗体膜を形成した後、抵抗体膜をエッチングなどにより所定の形状にパターニングすることにより形成することができる。このような抵抗体膜としては、例えば不純物濃度が、1×1018atms/cm3、深さが約0.5μmとすることができる。これによりピエゾ抵抗素子からなる検出部14を形成することができる。
ピエゾ抵抗素子からなる検出部14を用いた場合には、接続部13の撓みに起因する変形に応じて抵抗値が変化し、この抵抗値の変化に基づく出力電圧の変化を電気信号として取り出し、これを外部のICで演算処理することによって可動部12に加わった力の方向および大きさを検知することができる。なお、検出部14は、ピエゾ抵抗素子に限られず、静電容量型の検出素子であってもよい。
また、検出部14に配線導体(図示せず)を介して電気的に接続されたパッド電極17が、支持部11の表面に設けられており、これらを介して電気信号の外部への取り出しが行なわれる。なお、図3および図4では、パッド電極17が支持部11の下側主面に設けられている。
これらの配線導体およびパッド電極17は、例えば、アルミニウム、アルミニウム合金などからなり、これらの材料をスパッタリングなどにより成膜した後、所定の形状にパターニングすることによって、支持部11および接続部12の表面に形成される。
さらに、センサ10において、支持部11の外側面は、図1および図4に示すように、第1の部位15およびこの第1の部位15よりも下側に位置するとともに第1の部位15よりも外側(可動部12から遠ざかる方向)に突出した第2の部位16を具備している。このような第1の部位15および第2の部位16を有することによって、センサ10を外部の基板1に接続した状態で使用しても、センサ10を基板1から剥離し難くすることができる。
つまり、第1の部位15から突出した第2の部位16の少なくとも上面に被着するよう
にして、基板1とセンサ10とを接合部材3を用いて接合することによって、センサ10を基板1から引き剥がすような応力が加わったとしても、第2の部位16が接合部材3に引っ掛かり、アンカー効果によってセンサ10の剥離を有効に低減できる。
にして、基板1とセンサ10とを接合部材3を用いて接合することによって、センサ10を基板1から引き剥がすような応力が加わったとしても、第2の部位16が接合部材3に引っ掛かり、アンカー効果によってセンサ10の剥離を有効に低減できる。
第2の部位16は、第1の部位15からの突出高さが、例えば0.1um〜300umである。よりアンカー効果を高めるという観点からは、第2の部位16の上面とセンサ10の下側主面の全体を通る平面とのなす角度の絶対値が、0°〜60°であるのがよい。つまり、第2の部位16の上面はセンサ10の下側主面の全体を通る平面(図1ではXY平面)と平行に近い方がよい。より好ましくは、第2の部位16の上面はセンサ10の下側主面の全体を通る平面と平行であるのがよい。
第2の部位16は、図2および図3に示すように、センサ10を平面視したときに、支持部11の全周にわたって連続して配置されている。このような構成であれば、接合部材3に対するアンカー効果をより高めることができる。
また、接続部13および第2の部位16は、支持部11の高さ方向(Z軸方向)のいずれの位置に配置されていてもよいが、図1および図4に示すように、接続部13は支持部11の下側端部に接続されているとともに、第2の部位16は支持部11の下側端部に位置していてもよい。このような構成であれば、接続部13を支持部11の下側端部に接続することによって、可動部12の動きを大きくして感度を高めることができるとともに、撓みが生じる接続部13の近傍に第2の部位16を位置させることによって、接続部13の根元をしっかりと固定してセンサ10の歪みを低減することができる。
以上のようなセンサ10を、基板1の上面に接合部材3を用いて接合させることによって、接合構造体100となる。このとき、接合部材3は、センサ10の第2の部位16の上面に被着するようにする。これによって、センサ10を基板1から引き剥がすような応力が加わったとしても、第2の部位16が接合部材3に引っ掛かり、アンカー効果によってセンサ10の剥離を有効に低減できる。
基板1は、配線導体を有する配線基板を用いることができる。配線基板としては、樹脂またはセラミック等を用いた公知の配線基板が用いられる。特に基板1として、可撓性の高い樹脂を用いたフレキシブル配線基板を用いた場合でも、上記センサ10を用いることによって、センサ10の剥離を有効に低減できる。
また、センサ10の検出部14からの電気信号を取り出すため、図1に示すように、基板1の上面に接続電極2が設けられている。そして、センサ10のパッド電極17が、半田等の導電性接続部材4を介して基板1に設けられた接続電極2に電気的に接続されることによって、センサ10と基板1とが電気的に接続される。
接合部材3は、センサ10を基板1に接合して固定させるためのものである。接合部材3としては、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂、ガラスまたは半田等、公知の種々の接合材が用いられる。センサ10に対する応力を低減するという観点からは、樹脂が用いられてよい。
接合部材3は、図1に示すように、少なくともセンサ10の第2の部位16の上面に被着するように設けられる。よりアンカー効果を高めるという観点からは、接合部材3は第2の部位16の上面全体に被着していてもよい。特に、図1に示すように、第2の部位16の下面が基板1と離間しており、接合部材3がこの第2の部位16の下面に被着している場合、接合部材3が第2の部位16をより安定に固定でき、センサ10をより安定して基板1に接合することができる。
本発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。例えば、以下に示すような各種変形例を用いてもよい。
<変形例1>
図5は、変形例としての接合構造体200の断面図である。接合構造体200は、図1の接合構造体100において、センサ10の上面に保護部材18が設けられている点で異なっている。なお、図5において、図1のセンサ10および接合構造体100と同じ構成のものには同じ符号を付しており、詳細な説明は省略する。
図5は、変形例としての接合構造体200の断面図である。接合構造体200は、図1の接合構造体100において、センサ10の上面に保護部材18が設けられている点で異なっている。なお、図5において、図1のセンサ10および接合構造体100と同じ構成のものには同じ符号を付しており、詳細な説明は省略する。
保護部材18は、可動部12を保護するためのものである。保護部材18はセンサ10の用途に適するように、種々の材料および種々の構成が適宜採用され得る。図5の接合構造体200は、センサ10が触覚センサのような接触型のセンサである例を示している。この場合、保護部材18を介して可動部11を外部の物体に接触させることによって、この外部の物体からの物理量を検出することができる。このような接触型のセンサにおいて、保護部材18は、可撓性を有するフィルム状のものが用いられ得る。そのような保護部材18としては、樹脂フィルムやガラス板等が用いられ得る。
このような接触型のセンサ10を用いる場合、センサ10に接触による応力が大きく加わることになるが、上記第1の部位15および第2の部位16を有するセンサ10を用いることによって、接触型であっても有効にセンサ10の基板1からの剥離を低減できる。
<変形例2>
図6は、変形例としてのセンサ20の上面図である。なお、図6において、図2〜図4のセンサ10と同じ構成のものには同じ符号を付しており、詳細な説明は省略する。
図6は、変形例としてのセンサ20の上面図である。なお、図6において、図2〜図4のセンサ10と同じ構成のものには同じ符号を付しており、詳細な説明は省略する。
センサ20は、図2〜図4のセンサ10において、第2の部位26が支持部11の全周にわたって断続的に設けられている点で異なっている。つまり、第2の部位26は、連続しておらず、数か所で途切れている。このような構成であれば、センサ20の基板1からの剥離を有効に低減できるとともに、突出した構造によって応力が生じやすい第2の部位26において、途切れた部位で応力を緩和することができ、センサ20に歪が生じるのを低減することもできる。
<変形例3>
図7は、変形例としてのセンサ30の断面図である。なお、図7において、図2〜図4のセンサ10と同じ構成のものには同じ符号を付しており、詳細な説明は省略する。
図7は、変形例としてのセンサ30の断面図である。なお、図7において、図2〜図4のセンサ10と同じ構成のものには同じ符号を付しており、詳細な説明は省略する。
センサ30は、図4のセンサ10において、支持部31の外側面の第1の部位35の形状が異なっている。つまり、センサ30では、支持部31の外側面が、下側ほど内側(可動部12側)に近づくように傾斜した第1の部位35を有しているとともに、この第1の部位35の下側端部から突出した第2の部位36を有している。このような構成であっても、センサ30の基板1からの剥離を有効に低減できる。
<変形例4>
図8は、変形例としてのセンサ40の上面図であり、図9はセンサ40を用いた変形例としての接合構造体400の断面図である。なお、図8および図9において、図1〜図4のセンサ10および接合構造体100と同じ構成のものには同じ符号を付しており、詳細な説明は省略する。
図8は、変形例としてのセンサ40の上面図であり、図9はセンサ40を用いた変形例としての接合構造体400の断面図である。なお、図8および図9において、図1〜図4のセンサ10および接合構造体100と同じ構成のものには同じ符号を付しており、詳細な説明は省略する。
センサ40は、図1および図4のセンサ10において、支持部41の外側面の第1の部位45の形状が異なっている。つまり、センサ40では、支持部41の外側面に溝が形成されており、この溝の底面が第1の部位45であり、この第1の部位45の下側に第1の部位45から突出した第2の部位46を有している。また、接合構造体400において、接合部材3が上記溝に入り込むことによって第2の部位46の上面に被着している。
このような構成であれば、センサ40の基板1からの剥離を有効に低減できるとともに、支持部41の外側面にレーザ等で溝を形成するだけで第1の部位45および第2の部位46を容易に形成でき、製造工程が簡略化できる。
1:基板
3:接合部材
10、20、30、40:センサ
11、31、41:支持部
12:可動部
13:接続部
14:検出部
15、35、46:第1の部位
16、26、36、46:第2の部位
100、200、400:接合構造体
3:接合部材
10、20、30、40:センサ
11、31、41:支持部
12:可動部
13:接続部
14:検出部
15、35、46:第1の部位
16、26、36、46:第2の部位
100、200、400:接合構造体
Claims (7)
- 上側主面から下側主面にかけて開口した枠状体であって、前記下側主面が外部の基板に対向するように前記基板に接合される支持部と、
該支持部の内側に位置する可動部と、
前記支持部と前記可動部とを接続する可撓性を有する接続部と、
該接続部に位置する検出部とを具備しており、
前記支持部の外側面は、第1の部位および該第1の部位よりも下側に位置するとともに前記第1の部位よりも外側に突出した第2の部位を具備しているセンサ。 - 前記第2の部位は前記支持部の全周にわたって連続して配されている、請求項1に記載のセンサ。
- 前記第2の部位は前記支持部の全周にわたって断続的に配されている、請求項1に記載のセンサ。
- 前記第2の部位の上面は前記支持部の下側主面の全体を通る平面にとのなす角度の絶対値が0°〜60°である、請求項1乃至3のいずれかに記載のセンサ。
- 前記接続部は前記支持部の下側端部に接続されているとともに前記第2の部位は前記支持部の下側端部に位置している、請求項1乃至4のいずれかに記載のセンサ。
- 基板と、
該基板の上面に接合された請求項1乃至5のいずれかに記載のセンサと、
前記第2の部位の上面に被着するように前記基板と前記センサとを接合する接合部材と
を具備する接合構造体。 - 前記第2の部位の下面が前記基板と離間しており、前記接合部材が前記第2の部位の下面に被着している、請求項6に記載の接合構造体。
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