JP2006145410A - 物理量センサの実装構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】物理量を検知するセンサチップ3と、これに電気的に接続された半導体素子6とをパッケージ2内に備えた物理量センサの実装構造において、センサチップ3をパッケージ2内の凹部8に配置し、半導体素子6を凹部8に隣接する支持台10に配置すると共に、過大な加速度によるセンサチップ3の可動部41の過大変位を抑制できるように、センサチップ3の上方に、センサチップ3との間に空隙9をおいて半導体素子6を配置し小型化を得る。
【選択図】図1
Description
するものである。
2 パッケージ
3 センサチップ(センサ素子)
3a コーナ部
4 センサ基板
5 ガラス基板
6 ASIC(半導体素子)
8 凹部
9 空隙(空間)
10 支持台
12e、12f、14e、14f ボンディングワイヤパッド(ワイヤパッド)
20、21 ボンディングワイヤ(ワイヤ)
41 可動部
Claims (3)
- 物理量を検知するセンサ素子と、このセンサ素子と電気的に接続された半導体素子とをパッケージ内に備えた物理量センサの実装構造において、
前記センサ素子は、前記パッケージ内凹部に配置され、
前記半導体素子は、前記パッケージ内凹部に隣接する支持台に配置されると共に、過大な加速度による前記センサ素子の可動部の過大変位を抑制できるように、前記センサ素子の上方に、前記センサ素子との間に空間をおいて配置されたことを特徴とする物理量センサの実装構造。 - 前記センサ素子の1つのコーナ部を、前記半導体素子にオーバーラップさせて配置したことを特徴とする請求項1に記載の物理量センサの実装構造。
- 前記センサ素子と前記半導体素子との間で、ワイヤをダイレクトにボンディングできるように前記センサ素子と前記半導体素子にワイヤパッドを配置したことを特徴とする請求項1に記載の物理量センサの実装構造。
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