JP2017038008A - レーザ発振器の真空容器 - Google Patents
レーザ発振器の真空容器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017038008A JP2017038008A JP2015159488A JP2015159488A JP2017038008A JP 2017038008 A JP2017038008 A JP 2017038008A JP 2015159488 A JP2015159488 A JP 2015159488A JP 2015159488 A JP2015159488 A JP 2015159488A JP 2017038008 A JP2017038008 A JP 2017038008A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealing member
- laser oscillator
- sealing
- deformed
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 216
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 23
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 34
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 6
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 description 4
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000012781 shape memory material Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/09705—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser with particular means for stabilising the discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
- H01S3/22—Gases
- H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
- H01S3/2232—Carbon dioxide (CO2) or monoxide [CO]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Lasers (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
Abstract
Description
2番目の発明によれば、1番目の発明において、前記変形部は前記第一封止部材をそのシール性能を高めた状態で保持する。
3番目の発明によれば、1番目または2番目の発明において、前記変形部は、前記第一封止部材の周囲の圧力が低下することにより変形する。
4番目の発明によれば、1番目または2番目の発明において、前記変形部は、前記第一封止部材に含まれる形状記憶金属または形状記憶樹脂である。
5番目の発明によれば、1番目または2番目の発明において、前記変形部は揮発成分を含んでいて前記第一封止部材の切欠に配置されており、前記変形部は前記揮発成分が揮発することにより変形する。
6番目の発明によれば、1番目から5番目のいずれかの発明において、前記第一封止部材の一部分が前記第二封止部材と前記被差込部材との間に把持される。
7番目の発明によれば、1番目から6番目のいずれかの発明において、前記第一封止部材の少なくとも一部分がフッ素樹脂からなる。
2番目の発明においては、第一封止部材をそのシール性能を高めた状態で保持できるので、周囲の状態に関わらず、第一封止部材が長期にわたってレーザガス内の腐食性ガスを遮断できる。
3番目の発明においては、第一封止部材および第二封止部材を配置した後で真空引きするときの気圧変化によって変形部が変形し、それにより、第一封止部材自体を変形させられる。
4番目の発明においては、第一封止部材および第二封止部材を配置した後で一定時間が経過することまたは温度が変化することにより、形状記憶金属または形状記憶樹脂形状記憶材料を含む変形部が変形し、それにより、第一封止部材自体を変形させられる。
5番目の発明においては、第一封止部材および第二封止部材を配置した後で真空引きすることによって、第一弾性部材の変形部に含まれる揮発成分が揮発し、それにより、第一封止部材自体を変形させられる。
6番目の発明においては、第一封止部材の一部分、例えばシート状部分を第二封止部材と被差込部材との間に把持することにより、第一封止部材を第二封止部材の近傍に固定することができる。
7番目の発明においては、第一封止部材のフッ素樹脂は、第二封止部材であるフッ素ゴム製Oリングに比べ耐食性が高く、加工も比較的容易で、一般的に流通しており材料で入手容易である。
図1は本発明に基づく真空容器を含むレーザ発振器の略図である。図1に示されるレーザ発振器30は例えば炭酸ガスレーザ発振器である。図1においては、レーザ発振器30は、直列に配置された放電管31a、31bと、これら放電管31a、31bを互いに連結する中央ブロック32と、放電管31aの一端および放電管31bの他端にそれぞれ連結する端部ブロック33a、33bとを含んでいる。
11 管材
12 被差込部材
13 フランジ
13a 蓋部
14 溝部
15 第一封止部材
15a 延長部
16 第二封止部材
17 外皮部
17a 凹部
17b 開口部
18a〜18e 変形部
19 切欠
30 レーザ発振器
31a、31b 放電管
32 中央ブロック
33a、33b 端部ブロック
34 出力鏡
35 リア鏡
36 ターボブロワ
37a〜37c 熱交換器
38 吸込管路
39a、39b 戻り管路
Claims (7)
- レーザ発振器(30)の真空容器(10)において、
円筒形状または角筒形状の配管(11)と、
該配管が差込まれる被差込部材(12)と、
前記配管と前記被差込部材との間に配置された第一封止部材(15)および第二封止部材(16)を具備し、
前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも耐食性の高い材料から形成されており、
前記第一封止部材は前記第二封止部材よりも真空側に配置されており、
前記第二封止部材は前記第一封止部材よりも封止性の高い材料から形成されており、
前記第一封止部材はその封止性能を高めるように変形する変形部(18a〜18e)を少なくとも部分的に含むレーザ発振器の真空容器。 - 前記変形部(18a〜18e)は前記第一封止部材をそのシール性能を高めた状態で保持する請求項1に記載のレーザ発振器の真空容器。
- 前記変形部(18a)は、前記第一封止部材の周囲の圧力が低下することにより変形する請求項1または2に記載のレーザ発振器の真空容器。
- 前記変形部(18b〜18d)は、前記第一封止部材に含まれる形状記憶金属または形状記憶樹脂である請求項1または2に記載のレーザ発振器の真空容器。
- 前記変形部(18e)は揮発成分を含んでいて前記第一封止部材の切欠(19)に配置されており、前記変形部は前記揮発成分が揮発することにより変形する請求項1または2に記載のレーザ発振器の真空容器。
- 前記第一封止部材の一部分(15a)が前記第二封止部材と前記被差込部材との間に把持される請求項1から5のいずれか一項に記載のレーザ発振器の真空容器。
- 前記第一封止部材の少なくとも一部分がフッ素樹脂からなる請求項1から6のいずれか一項に記載のレーザ発振器の真空容器。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015159488A JP6254981B2 (ja) | 2015-08-12 | 2015-08-12 | レーザ発振器の真空容器 |
CN201610603423.1A CN106451038B (zh) | 2015-08-12 | 2016-07-27 | 激光振荡器的真空容器 |
DE102016009569.5A DE102016009569B4 (de) | 2015-08-12 | 2016-08-05 | Vakuumbehälter eines Laseroszillators |
US15/229,533 US9948054B2 (en) | 2015-08-12 | 2016-08-05 | Vacuum container of laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015159488A JP6254981B2 (ja) | 2015-08-12 | 2015-08-12 | レーザ発振器の真空容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017038008A true JP2017038008A (ja) | 2017-02-16 |
JP6254981B2 JP6254981B2 (ja) | 2017-12-27 |
Family
ID=57907952
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015159488A Active JP6254981B2 (ja) | 2015-08-12 | 2015-08-12 | レーザ発振器の真空容器 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9948054B2 (ja) |
JP (1) | JP6254981B2 (ja) |
CN (1) | CN106451038B (ja) |
DE (1) | DE102016009569B4 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10428950B2 (en) * | 2015-03-23 | 2019-10-01 | Atomic Energy Of Canada Limited / Énergie Atomique Du Canada Limitée | Valve packing assembly having shape-memory member |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62151669A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-06 | Toshiba Corp | シ−ル構造 |
JPS63172080A (ja) * | 1987-01-12 | 1988-07-15 | 新日本製鐵株式会社 | 金属管密封接続方法 |
JPS63226982A (ja) * | 1987-03-16 | 1988-09-21 | Daihen Corp | ガスレ−ザ装置 |
JPH01144567A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 熱電池 |
JPH1050658A (ja) * | 1996-05-15 | 1998-02-20 | Nippon Asm Kk | 半導体処理装置 |
JP2000106298A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-11 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2001305744A (ja) * | 2000-04-20 | 2001-11-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 密着露光装置 |
US20020074742A1 (en) * | 2000-12-20 | 2002-06-20 | Quoiani Roberto L. | Metallic seal components |
JPWO2004038781A1 (ja) * | 2002-10-25 | 2006-02-23 | Nok株式会社 | 耐プラズマ用シール |
JP2007092892A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 耐酸素ラジカルシール材 |
JP2007120738A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-05-17 | Tokyo Electron Ltd | シール部品及び基板処理装置 |
JP2009144735A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Nok Corp | 密封構造 |
JP2014126130A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 蓋材 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH399070A (de) * | 1963-02-05 | 1966-03-31 | Saurer Ag Adolph | Zylinderkopfdichtung für Brennkraftmaschinen |
FR2205168A5 (ja) * | 1972-10-26 | 1974-05-24 | Pont A Mousson | |
US4529211A (en) * | 1982-03-29 | 1985-07-16 | William Rodgers | Pipe joint and seal |
DD281229A5 (de) | 1989-04-04 | 1990-08-01 | Akad Wissenschaften Ddr | Verfahren zum abdichten von hochvakuumverbindungen und komponenten im anlagenbau |
AUPO076596A0 (en) * | 1996-07-02 | 1996-07-25 | Bucknell, John Wentworth | Seals for hydraulic assemblies |
US6661826B2 (en) * | 1999-08-31 | 2003-12-09 | Cymer, Inc. | Laser chamber insulator with sealed electrode feedthrough |
US6779137B2 (en) | 2000-04-08 | 2004-08-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Method of verifying defect management area information of disc and test apparatus for performing the same |
FR2823825B1 (fr) * | 2001-04-23 | 2003-07-25 | Commissariat Energie Atomique | Joint d'etancheite metallique elastique |
FR2823826B1 (fr) * | 2001-04-23 | 2003-07-25 | Commissariat Energie Atomique | Joint d'etancheite metallique elastique ferme a parties saillantes desaxees |
US20030057655A1 (en) * | 2001-09-24 | 2003-03-27 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Environmentally-reactive seal and associated method |
JP2004248770A (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-09 | Pentax Corp | 内視鏡のチャンネル基端接続部 |
CN1799133A (zh) * | 2003-04-09 | 2006-07-05 | 活性纳米技术股份有限公司 | 气密的密封产品和相关制造方法 |
US7946592B2 (en) * | 2004-11-02 | 2011-05-24 | Komatsu Corporation | Bearing seal |
JP5243089B2 (ja) * | 2008-04-09 | 2013-07-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置のシール構造、シール方法およびプラズマ処理装置 |
JP6005991B2 (ja) * | 2012-05-18 | 2016-10-12 | 株式会社ヴァレオジャパン | 密閉型スイッチ及び密閉型スイッチの内圧減圧方法 |
JP2015102132A (ja) * | 2013-11-22 | 2015-06-04 | 日本トレルボルグ シーリング ソリューションズ株式会社 | シール構造 |
-
2015
- 2015-08-12 JP JP2015159488A patent/JP6254981B2/ja active Active
-
2016
- 2016-07-27 CN CN201610603423.1A patent/CN106451038B/zh active Active
- 2016-08-05 DE DE102016009569.5A patent/DE102016009569B4/de active Active
- 2016-08-05 US US15/229,533 patent/US9948054B2/en active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62151669A (ja) * | 1985-12-25 | 1987-07-06 | Toshiba Corp | シ−ル構造 |
JPS63172080A (ja) * | 1987-01-12 | 1988-07-15 | 新日本製鐵株式会社 | 金属管密封接続方法 |
JPS63226982A (ja) * | 1987-03-16 | 1988-09-21 | Daihen Corp | ガスレ−ザ装置 |
JPH01144567A (ja) * | 1987-11-30 | 1989-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 熱電池 |
JPH1050658A (ja) * | 1996-05-15 | 1998-02-20 | Nippon Asm Kk | 半導体処理装置 |
JP2000106298A (ja) * | 1998-09-28 | 2000-04-11 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2001305744A (ja) * | 2000-04-20 | 2001-11-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 密着露光装置 |
US20020074742A1 (en) * | 2000-12-20 | 2002-06-20 | Quoiani Roberto L. | Metallic seal components |
JPWO2004038781A1 (ja) * | 2002-10-25 | 2006-02-23 | Nok株式会社 | 耐プラズマ用シール |
JP2007092892A (ja) * | 2005-09-29 | 2007-04-12 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 耐酸素ラジカルシール材 |
JP2007120738A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-05-17 | Tokyo Electron Ltd | シール部品及び基板処理装置 |
JP2009144735A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Nok Corp | 密封構造 |
JP2014126130A (ja) * | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Dainippon Printing Co Ltd | 蓋材 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102016009569A1 (de) | 2017-02-16 |
CN106451038A (zh) | 2017-02-22 |
CN106451038B (zh) | 2020-08-14 |
DE102016009569B4 (de) | 2019-04-25 |
JP6254981B2 (ja) | 2017-12-27 |
US9948054B2 (en) | 2018-04-17 |
US20170047702A1 (en) | 2017-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11204127B2 (en) | Vacuum insulated structure with end fitting and method of making same | |
JP6254981B2 (ja) | レーザ発振器の真空容器 | |
JP4967770B2 (ja) | 二重シース型熱電対及びその製造方法 | |
JP4182900B2 (ja) | 高圧放電ランプ | |
JP5080327B2 (ja) | 封止構造を備えた放電ランプ | |
KR101980457B1 (ko) | 진공 단열 용기 | |
JP2015149294A (ja) | 固体酸化物形燃料電池 | |
JP6343454B2 (ja) | シール構造およびシール方法 | |
JP5801009B1 (ja) | 二重封止型ターミナルヘッダ | |
US9873099B2 (en) | Heating reaction container | |
JP2016008663A (ja) | 断熱多重管及びその製造方法 | |
JP6694799B2 (ja) | ヒートパイプ及びその製造方法 | |
CN111266809A (zh) | 一种高真空扁状腔体及其生产方法 | |
US12007171B1 (en) | Heat pipe wick formation | |
JP6674815B2 (ja) | 二重封止型ターミナルヘッダの製造方法 | |
JP6539860B2 (ja) | ステーブクーラー | |
JP2007066673A (ja) | 電子レンジ用マグネトロン | |
US20220349513A1 (en) | Shape-resilient and insulating components | |
JP2016167399A (ja) | 放電ランプ | |
JP2005180723A (ja) | ヒートパイプの端部封止方法 | |
US3543070A (en) | Liquid cooled high-pressure discharge lamp | |
JP2001007423A (ja) | フッ素ガスの供給方法および供給装置 | |
JP2019085116A (ja) | 二重断熱容器 | |
JP2023124326A (ja) | 継手及び構造物並びに構造物の組立方法 | |
Tower et al. | High temperature heat pipe research at NASA Lewis Research Center |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170818 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170829 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171003 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171201 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6254981 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |