JP6343454B2 - シール構造およびシール方法 - Google Patents
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Claims (7)
- 第1部材と第2部材との接続部におけるシール構造であって、
前記第1部材に形成された第1フランジと、
前記第2部材に形成され、前記第1フランジと結合された第2フランジと、
前記第1フランジと前記第2フランジとの間に間隔を置いて配置された内側ガスケットおよび外側ガスケットと、
前記内側ガスケットと前記外側ガスケットとの間の第1空間に第1流体を供給する流体供給装置と、を備え、
前記流体供給装置は、前記第1空間内の前記第1流体を、前記第1部材および前記第2部材により形成される第2空間内の第2流体より高い圧力に維持し、
前記第1流体は、不活性ガスであり、
前記内側ガスケットは、黒鉛を用いて形成され、
前記外側ガスケットは、ステンレス鋼または銅を用いて形成されることを特徴とするシール構造。 - 前記第2流体は、空気に対する耐性が低い流体であることを特徴とする請求項1に記載のシール構造。
- 前記第1空間内の前記第1流体は、前記外側ガスケットより外側の第3空間より高い圧力とされ、
前記第2空間内の前記第2流体は、真空に近い圧力とされることを特徴とする請求項1または2に記載のシール構造。 - 前記第2流体は、500℃以上の流体であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のシール構造。
- 第1部材と第2部材との接続部におけるシール方法であって、
前記第1部材に形成された第1フランジと前記第2部材に形成された第2フランジとの間に間隔を置いて内側ガスケットおよび外側ガスケットを配置するステップと、
前記内側ガスケットと前記外側ガスケットとの間の第1空間に第1流体を供給するステップと、を備え、
前記第1空間内の前記第1流体は、前記第1部材および前記第2部材により形成される第2空間内の第2流体より高い圧力に維持され、
前記第1流体は、不活性ガスであり、
前記内側ガスケットは、黒鉛を用いて形成され、
前記外側ガスケットは、ステンレス鋼または銅を用いて形成されることを特徴とするシール方法。 - 前記第2流体は、空気に対する耐性が低い流体であることを特徴とする請求項5に記載のシール方法。
- 前記第1空間内の前記第1流体は、前記外側ガスケットより外側の第3空間より高い圧力とされ、
前記第2空間内の前記第2流体は、真空に近い圧力とされることを特徴とする請求項5または6に記載のシール方法。
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