JP2017034255A - 半導体デバイスの形成方法および半導体デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
グラファイトを含む支持ウェハと、ワイドバンドギャップ半導体材料を含む素子ウェハとを備えたウェハ積層体を設けるステップ
を有し、
前記素子ウェハは、第1面と、前記支持ウェハに取り付けられる、当該第1面とは反対側の第2面とを有し、
前記方法はさらに、
前記ウェハ積層体の素子領域を画定するステップと、
前記支持ウェハに、各素子領域に位置する開口を形成するように、かつ、前記素子ウェハを当該支持ウェハの残留部によって支持するように、前記支持ウェハの一部を除去するステップと、
前記素子ウェハを、前記支持ウェハの残留部によって支持したままの状態で更に処理するステップと
を有する。
グラファイトを含む支持ウェハと、ワイドバンドギャップ半導体材料を含む素子ウェハとを備えたウェハ積層体を設けるステップ
を有し、
前記素子ウェハは、第1面と、前記支持ウェハにボンディングされる、当該第1面とは反対側の第2面とを有し、
前記方法はさらに、
前記ウェハ積層体の素子領域を画定するステップと、
前記第2面の前記素子領域内の区域を覆わず、かつ前記支持ウェハの残留部によって包囲するように、前記支持ウェハに開口を形成するステップと、
前記第2面の区域に電気的にコンタクトする各導電領域を形成するため、前記支持ウェハの開口に導電性材料を充填するステップと
を有する。
第1面と、当該第1面とは反対側の第2面とを有し、かつワイドバンドギャップ半導体材料を含有する半導体ボディと、
前記半導体ボディの第2面にボンディングされたグラファイト基板であって、当該半導体ボディの第2面の、当該グラファイト基板によって覆われていない区域を残す開口を有するグラファイト基板と、
前記グラファイト基板の開口内に配置され、当該グラファイト基板によって包囲されており、かつ前記第2面の前記区域に電気的にコンタクトする裏側メタライゼーションと
を備えている。
グラファイト支持ウェハ20と、当該グラファイト支持ウェハ20に接着材ボンディングされた裏側面22を有する素子ウェハとを備えたウェハ積層体40を設けるステップと、
前記ウェハ積層体40の素子領域Dを画定するステップと、
前記支持ウェハ20に、各素子領域D内に位置する開口25を形成するように、かつ、前記素子ウェハ1,2を当該グラファイト支持ウェハ20の残留部20’によって支持するように、前記支持ウェハ20の一部を除去するステップと、
前記素子ウェハ1,2を、前記支持ウェハ20の残留部20’によって支持したままの状態で更に処理するステップと、
を有する。
・素子ウェハ1,2を膜36に取り付ける前または後、構造化されたグラファイト支持体20’をスクライブ線Sに沿ってプラズマエッチングするプロセス。
・第1面21から、構造化されたグラファイト支持体20’の少なくとも付近においてエッチングするプロセス。
・第1面21または広幅トレンチ50から、構造化されたグラファイト支持体20’の少なくとも付近においてソーイングまたはカットするプロセス。
・上方から見たとき、次の割断時において、構造化されたグラファイト支持体20’内に位置する予め規定されたスクライブ線Sに沿って、素子ウェハ1,2をスクライビングするプロセス。
・上方から見たとき、構造化されたグラファイト支持体20’と重なり合う素子領域Dにおいて、素子ウェハ1,2を除去するプロセス。
・レーザカットプロセス。
・構造化されたグラファイト支持体20’を貫通するようにカットまたはエッチングするプロセス。
Claims (20)
- 半導体デバイスの形成方法であって、
・グラファイトを含む支持ウェハ(20)と、ワイドバンドギャップ半導体材料を含む素子ウェハ(1,2)と、を備えたウェハ積層体(40)を設けるステップを有し、前記素子ウェハ(1,2)は、第1面(21)と、前記支持ウェハ(20)に取り付けられる、前記第1面(21)とは反対側の第2面(22)と、を有し、
前記形成方法はさらに、
・前記ウェハ積層体(40)の素子領域(D)を画定するステップと、
・前記支持ウェハ(20)に、各素子領域(D)に位置する開口(25)を形成するように、かつ、前記素子ウェハ(1,2)を前記支持ウェハ(20)の残留部(20’)によって支持するように、前記支持ウェハ(20)の一部を除去するステップと、
・前記素子ウェハ(1,2)を、前記支持ウェハ(20)の残留部(20’)によって支持したままの状態で更に処理するステップと、
を有することを特徴とする形成方法。 - 前記形成方法はさらに、
・複数の表側メタライゼーション(3)が互いに分離するように、前記素子領域(D)において前記第1面(21)上に前記複数の表側メタライゼーション(3)を形成するステップと、
・前記支持ウェハ(20)の開口(25)に導電性材料を充填することも含めて、前記素子領域(D)の少なくとも1つにおいて裏側メタライゼーション(6,8)を形成するステップと、
・前記裏側メタライゼーション(6,8)を形成した後、前記支持ウェハ(20)の前記残留部(20’)を除去するステップと、
のうち少なくとも1つを有する、
請求項1記載の形成方法。 - 前記更に処理するステップは、
・前記少なくとも1つの素子領域(D)において前記表側メタライゼーション(3)の一時的なコンタクトを行うステップと、
・前記裏側メタライゼーション(6,8)の一時的なコンタクトを行うステップと、
・前記少なくとも1つの素子領域(D)の機能性のテストを行うステップと、
のうち少なくとも1つを有する、
請求項2記載の形成方法。 - 前記更に処理するステップは、熱アニールを含む、
請求項1から3までのいずれか1記載の形成方法。 - 前記形成方法は、前記複数の表側メタライゼーション(3)を形成するステップの前にさらに、
・前記第1面(21)から前記素子ウェハ(1,2)にトレンチをエッチングにより形成するステップと、
・前記トレンチの側壁を絶縁するステップと、
・前記素子領域(D)外において前記素子ウェハ(1,2)に広幅のトレンチをエッチングにより形成するステップと、
のうち少なくとも1つを有する、
請求項2から4までのいずれか1項記載の形成方法。 - 前記開口(25)を前記支持ウェハ(20)の前記残留部(20’)によって包囲するように、前記支持ウェハ(20)の一部を除去するステップを行う、
請求項1から5までのいずれか1項記載の形成方法。 - 前記ワイドバンドギャップ半導体材料は、炭化シリコンまたは窒化ガリウムである、
請求項1から6までのいずれか1項記載の形成方法。 - 前記ウェハ積層体(40)を設けるステップは、
・グラファイトを含む支持ウェハ(20)に、炭化シリコンを含むドナーウェハ(10)を取り付けるステップと、
・炭化シリコンを含みかつ前記支持ウェハ(20)に取り付けられた分割層(1)を形成するように、内側の剥離層(13)に沿って前記ドナーウェハ(10)を分割するステップと、
・前記分割層(1)上に他の炭化シリコン層(2)を形成するように、炭化シリコンをエピタキシャル成膜するステップと、
・前記素子領域(D)外におけるエピタキシャル成膜を阻害するステップと、
のうち少なくとも1つを含む、
請求項1から7までのいずれか1項記載の形成方法。 - 前記ドナーウェハ(10)を取り付けるステップは、
・前記ドナーウェハ(10)のボンディング表面(101,102)上にセラミック形成ポリマー前駆体を堆積させるステップと、
・前記セラミック形成ポリマー前駆体を前記支持ウェハ(20)上に堆積させるステップと、
・前記支持ウェハ(20)と、前記ドナーウェハ(10)と、前記セラミック形成ポリマー前駆体を含み、かつ前記支持ウェハ(20)と前記ドナーウェハ(10)との間に配置されるボンディング層(42)とを有する積層体(40)を形成するステップと、
・前記ウェハ積層体を成すように前記積層体(40)をテンパリングするステップと、
のうち少なくとも1つを有する、
請求項8記載の形成方法。 - 前記セラミック形成ポリマー前駆体は、ポリカルボシランを含む、
請求項9記載の形成方法。 - 前記テンパリングするステップは、窒素、アルゴンおよび/または水素を含む雰囲気中にて行われる、
請求項9または10記載の形成方法。 - 前記形成方法はさらに、個別の半導体チップ(100)に前記ウェハ積層体(40)を個片化するステップを有する、
請求項1から11までのいずれか1項記載の形成方法。 - 前記ウェハ積層体(40)を個片化するステップは、
・前記残留部(20’)によって支持されている前記素子ウェハ(1,2)を膜(36)に取り付けるステップと、
・前記素子ウェハ(1,2)を前記膜(36)に取り付ける前に、前記残留部(20’)をスクライブ線(S)に沿ってプラズマエッチングするステップと、
・前記第1面(21)から前記残留部(20’)の少なくとも付近においてエッチングするステップと、
・前記第1面(21)から前記残留部(20’)の少なくとも付近においてソーイングするステップと、
・上方から見たとき、次の割断時において、前記残留部(20’)内に完全に収まっているスクライブ線(S)に沿って、前記素子ウェハ(1,2)をスクライビングするステップと、
・上方から見たとき、前記支持ウェハ(20)の前記残留部(20’)と重なり合う素子領域(D)において、前記素子ウェハ(1,2)を除去するステップと、
・レーザカットするステップと、
・前記残留部(20’)を貫通するようにカットするステップと、
のうち少なくとも1つを有する、
請求項12記載の形成方法。 - 半導体デバイスの形成方法であって、
・グラファイトの支持ウェハ(20)と、ワイドバンドギャップ半導体材料を含む素子ウェハ(1,2)と、を備えたウェハ積層体(40)を設けるステップを有し、前記素子ウェハ(1,2)は、第1面(21)と、前記支持ウェハ(20)にボンディングされる、前記第1面(21)とは反対側の第2面(22)と、を有し、
前記形成方法はさらに、
・前記ウェハ積層体(40)の素子領域(D)を画定するステップと、
・前記素子領域(D)内の前記第2面(22)の領域が覆われずに前記支持ウェハ(20)の残留部(20’)によって包囲されるように、前記支持ウェハ(20)に開口(25)を形成するステップと、
・前記第2面(22)の前記領域と電気的にコンタクトする導電性領域(6,8)をそれぞれ形成するように、前記支持ウェハ(20)の前記開口(25)に導電性材料を充填するステップと、
を有することを特徴とする形成方法。 - 前記ワイドバンドギャップ半導体材料は、炭化シリコンまたは窒化ガリウムである、
請求項14記載の形成方法。 - 前記形成方法はさらに、個別の半導体チップ(100)に前記ウェハ積層体(40)を個片化するステップを有する、
請求項14または15記載の形成方法。 - 前記形成方法は、前記ウェハ積層体(40)を個片化するステップの前にさらに、
・熱アニールを行うステップと、
・前記第1面(21)から前記素子ウェハ(1,2)にトレンチおよび/または広幅のトレンチをエッチングにより形成するステップと、
・前記トレンチの側壁を絶縁するステップと、
・前記導電性領域(6,8)の一時的なコンタクトを行うステップと、
・1つまたは複数の素子領域(D)の機能性のテストを行うステップと、
のうち少なくとも1つを有する、
請求項16記載の形成方法。 - 半導体デバイス(200)であって、
・第1面(21)と、前記第1面(21)とは反対側の第2面(22)と、を有し、かつワイドバンドギャップ半導体材料を含有する半導体ボディ(10’)と、
・前記半導体ボディ(10’)の前記第2面(22)にボンディングされたグラファイト基板(20’)であって、前記半導体ボディ(10’)の前記第2面(22)の、前記グラファイト基板(20’)によって覆われていない領域を残す開口(25)を有するグラファイト基板(20’)と、
・前記グラファイト基板(20’)の開口(25)内に配置され、前記グラファイト基板(20’)によって包囲されており、かつ前記第2面(22)の前記領域に電気的にコンタクトする裏側メタライゼーション(6,8)と、
を備えていることを特徴とする半導体デバイス(200)。 - 前記ワイドバンドギャップ半導体材料は、炭化シリコンまたは窒化ガリウムである、
請求項18記載の半導体デバイス。 - 上方から見たとき、前記グラファイト基板(20’)は前記半導体ボディ(10’)を包囲し、
および/または、
上方から見たとき、前記半導体ボディ(10’)は前記グラファイト基板(20’)内に完全に収まる、
請求項18または19記載の半導体デバイス。
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