JP2017031442A - 低誘電性樹脂基材用処理銅箔及び該処理銅箔を用いた銅張積層板並びにプリント配線板 - Google Patents
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Abstract
Description
しかし、高速・高周波対応のプリント配線板には、これまでのプリント配線板に要求される特性に加えて、伝送損失に代表される「伝送特性」も要求される。
表皮効果とは、導電体を流れる電流は周波数が高くなるにしたがって導電体の表面近くを流れる効果のことである。そして導電体表面の電流に対して1/e倍の電流となる点までの距離と定義される表皮深さδは、式(1)で表される。
δ=(2/(ωσμ))1/2 (式1)
ωは角周波数、σは導電率、μは透磁率である。
δ=0.066/f1/2 (式2)
fは周波数である。
一般的に低誘電性樹脂基材と呼ばれる樹脂基材は、液晶ポリマー、ポリフッ化エチレン、イソシアネート化合物等を含み、極性の高い官能基を減少又は消失させている。
a.クロメート層
b.シランカップリング剤層
本発明に使用する各処理前の銅箔(以下「未処理銅箔」という)は特に限定されるものではなく、表裏の区別のない銅箔、表裏の区別のある銅箔いずれも使用することができる。
なお、圧延銅箔を用いる際は、炭化水素系有機溶剤に浸漬し、圧延油を除去してから粗化処理を行うことが好ましい。
樹脂誘導浸透層を構成する銅粒子の粒子径は300〜600nmが好ましく、より好ましくは380〜530nmである。
本発明においては、下限値を300nmとするが、300nm以下の粒子が含まれることを排除するものではない。しかし、300nmに満たない粒子が多いと低誘電性樹脂基材に張り合わせた場合に、フレキシブルプリント配線板に使用できるだけの十分な引き剥がし強さが得られない虞があり、また、600nmを超えると表面粗さが増加して伝送損失が大きくなるためいずれの場合も好ましくない。
好適に添加できる添加物としては澱粉分解物及び金属硫酸塩、金属酸化物を挙げることができる。
平均分子量は100〜100,000が好ましく、より好ましくは、100〜10,000である。
本発明における処理銅箔は樹脂誘導浸透層上に酸化防止処理層を備える。
下限値の各濃度に満たないと酸化防止性能が十分でなく、また、上限値の各濃度を超えると伝送損失が増加する虞があるからである。
本発明おける処理銅箔は、必要に応じて酸化防止処理層上にクロメート層及びシランカップリング剤層から選択される層を1つ以上設けることができる。
本発明における処理銅箔を張り合わせる低誘電性樹脂基材は、銅箔と樹脂基材との接着に寄与する極性の大きな官能基を低減させた若しくは消失させた樹脂基材であって、1GHz以上の周波数で誘電正接が0.005以下の樹脂基材である。
未処理銅箔の処理前の面と処理銅箔処理面のJIS Z8781に定義される表色系L*a*b*を測定した後、( [ΔL*]2+[Δa*]2+[Δb*]2)1/2に表される式によって算出することができる。
実施例及び比較例の未処理銅箔として、厚さ12μmの圧延銅箔又は電解銅箔を用いた。
なお、圧延銅箔は、炭化水素系有機溶剤に60秒間浸漬して圧延油の除去を行ったのちに各処理を行った。
<樹脂誘導浸透層の形成>
表1記載の電解液を調整した。陽極には白金族酸化物にて表面を被覆したチタンを使用し、陰極には未処理銅箔を使用し、両極を各電解液に浸し、表1記載の各電解条件で電解を行って各未処理銅箔の一方の面にそれぞれ樹脂誘導浸透層を形成した。
なお、澱粉分解物としては、分子量が100〜10,000の分解物の混合物を用いた。
硫酸コバルト七水和物38g/L、モリブデン酸ニナトリウム二水和物23g/L、クエン酸三ナトリウム二水和物45g/L、硫酸ナトリウム80g/Lを含有するpH5.6、液温30℃の水溶液に、陽極として白金属酸化物にて表面を被覆したチタン、陰極に樹脂誘導浸透層を備えた処理銅箔を使用して、両極に対して電流密度7.0A/dm2、電気量14C/dm2の電解条件で樹脂誘導浸透層上にコバルト-モリブデン含有酸化防止処理層を設けた。
液温30℃の二クロム酸ナトリウム二水和物40g/L水溶液を水酸化ナトリウムにてpH12.0に調製したクロメート水溶液に、陽極に白金族酸化物にて表面を被覆したチタンを使用するとともに、陰極に樹脂誘導浸透層及びコバルト−モリブデン含有酸化防止処理層を備えた処理銅箔を使用して、両極に対して電流密度2.0A/dm2、電気量10C/dm2の電解条件でコバルト-モリブデン含有酸化防止処理層上にクロメート層を設けた。
液温30℃のγ−アミノプロピルトリエトキシシラン5ml/Lを含有する水溶液に各処理層を備えた処理銅箔を10秒間浸漬して、クロメート層上にシランカップリング剤層を形成させた。
樹脂誘導浸透層を設けなかった以外は実施例1と同一の条件で作成した。
硫酸銅五水和物47g/L、硫酸100g/Lからなる電解液に未処理銅箔を浸し、電流密度50A/dm2、電気量130C/dm2、液温30℃の電解条件にて電解して微細粒子層を形成させた後、硫酸銅五水和物200g/L、硫酸100g/Lからなる電解液に浸して電流密度5A/dm2、電気量400C/dm2、液温40℃の電解条件にて電解することで樹脂誘導浸透層を形成させた以外は実施例1と同一の条件で作製した。
硫酸銅五水和物55g/L、ジエチレントリアミン五酢酸五ナトリウム100g/Lからなる電解液を硫酸にてpH4.5に調製した後、未処理銅箔を浸して電流密度1.4A/dm2、電気量85C/dm2、液温32℃の電解条件にて電解して樹脂誘導浸透層を形成させた以外は実施例1と同一の条件で作製した。
硫酸銅五水和物45g/L、硫酸80g/L、硫酸チタニル2g/L、タングステン酸ナトリウム二水和物0.045 g/Lからなる電解液に未処理銅箔を浸し、電流密度10A/dm2、電気量50C/dm2、液温35℃の電解条件にて電解して微細粒子層を形成した後、硫酸銅五水和物200g/L、硫酸100g/Lからなる電解液に浸して電流密度10A/dm2、電気量250C/dm2、液温40℃の電解条件にて樹脂誘導浸透層を形成させた以外は実施例1と同一の条件で作製した。
硫酸銅五水和物61g/L、硫酸コバルト七水和物29g/L、硫酸ニッケル六水和物49 g/L、硫酸ナトリウム80 g/Lからなる電解液を硫酸にてpH2.5に調製した後未処理銅箔を浸し、電流密度5A/dm2、電気量45C/dm2、液温30℃の電解条件にて電解して樹脂誘導浸透層を形成させた以外は実施例1と同一の条件で作製した。
比較例5の電解液に未処理銅箔を浸し、電流密度5A/dm2、電気量105C/dm2、液温30℃の電解条件にて電解して樹脂誘導浸透層を形成させた以外は実施例1と同一の条件で作製した。
硫酸ニッケル六水和物30g/L、次亜リン酸ナトリウム一水和物2.0g/L、酢酸ナトリウム三水和物10g/Lからなる電解液を硫酸にてpH4.5に調製した後、電流密度5.0A/dm2、電気量10C/dm2、液温30℃の電解条件で電解させて酸化防止処理層を形成させた以外は実施例1と同一の条件にて作製した。
硫酸ニッケル六水和物55g/L、硫酸コバルト七水和物22g/Lからなる電解液を硫酸にてpH3.0に調製した電解液を、電流密度5.0A/dm2、電気量10C/dm2、液温40℃の電解条件で電解させて酸化防止処理層を形成させた以外は実施例1と同一の条件にて作製した。
比較例3の処理銅箔を低誘電性ではないポリイミド樹脂と張り合わせたものである。
実施例1〜6の処理銅箔を低誘電性ではないポリイミド樹脂と張り合わせたものである。
実施例1〜6及び比較例1〜8の各処理銅箔の各処理面を被接着面としてトリプレート線路共振機による25GHzの誘電正接が0.002である液晶ポリマー樹脂基材(株式会社クラレ製、品名:CT-Z、厚さ50μm)に合わせた後、真空熱プレス機(北川精機製KVHC-II)を使用して、真空下(7torr)、温度260℃で15分間予熱した後、真空下(7torr)、温度300℃、圧力4MPaで10分間、加熱・加圧成型を行い、銅張積層板Aを得た。
銅張積層板Aは引き剥がし強さの測定に使用した。
実施例1〜6及び比較例1〜8の各処理銅箔の各処理面と液晶ポリマー樹脂基材(株式会社クラレ製、品名:CT-Z、厚さ50μm)とを合わせ、前記各処理銅箔のもう一方の面にグランド用銅箔(70μm)を合わせた後、真空熱プレス機を使用して、真空下(7torr)、温度260℃で15分間予熱した後、真空下(7torr)、温度260℃、圧力4MPaで10分間、加熱、加圧成型を行い、銅張積層板Bを得た。
銅張積層板Bは伝送損失の測定に使用した。
比較例9及び参考例1〜6の各処理銅箔の各処理面を被接着面として、ポリイミド樹脂基材(株式会社カネカ製、品名:FRS‐142、厚さ25μm)に合わせた後、真空熱プレス機を使用して、真空下(7torr)、温度260℃で15分間予熱した後、真空下(7torr)、温度300℃、圧力4MPaで10分間、加熱、加圧成型を行い、銅張積層板Cを得た。
未処理銅箔又は、処理銅箔の処理層が設けられた各面について、JIS B0651-2001に規定される触針式表面粗さ計に適合するサーフコーダーSE1700α(株式会社小坂研究所製)にて触針として触針先端半径2μmのものを使用し、粗さ曲線用カットオフ値0.8mm、測定距離4.0mmとしてJISB0601-1994に定義される十点平均粗さRzを測定した。
走査顕微鏡SEM(日本電子製JSM-6010LA)を使用し、試料台を40°傾斜させながら倍率10,000〜30,000倍で観察し、観察された樹脂誘導浸透層を構成する銅粒子群の粒子の長さを10点計測した平均値を粒子径の値とした。
分光測色計(コニカミノルタ製CM-600d)を使用し、各処理銅箔のJIS Z8781に定義される表色系L*a*b*を測定し、未処理銅箔のL*a*b*との色差ΔE*ab(=([ΔL*]2+[Δa*]2+[Δb*]2)1/2)を求めた。
エッチングマシン(株式会社二宮システム製SPE-40)を使用し、エッチングにより幅1mmの銅回路サンプルを作製した。JIS C6481に準拠し、万能試験機を用いて引き剥がし強さを測定した。
エッチングマシンを使用し、エッチングによりシングルエンドのマイクロストリップラインを形成した。なお、本基板の回路幅は特性インピーダンスが50Ωになるように、銅張積層板Bの場合は幅110μm、銅張積層板Cの場合は幅50μmとした。作製した回路基板をネットワークアナライザー(アジレント・テクノロジー株式会社製N5247A)を使用して周波数160MHz〜40GHzのSパラメータ(S21)を測定した。
したがって、本発明の処理銅箔は産業上の利用可能性の高い発明である。
2 樹脂誘導浸透層
3 酸化防止処理層
<樹脂誘導浸透層の形成>
表1記載の電解液を調製した。陽極には白金族酸化物にて表面を被覆したチタンを使用し、陰極には未処理銅箔を使用し、両極を各電解液に浸し、表1記載の各電解条件で電解を行って各未処理銅箔の一方の面にそれぞれ樹脂誘導浸透層を形成した。
なお、澱粉分解物としては、分子量が100〜10,000の分解物の混合物を用いた。
硫酸コバルト七水和物38g/L、モリブデン酸ニナトリウム二水和物23g/L、クエン酸三ナトリウム二水和物45g/L、硫酸ナトリウム80g/Lを含有するpH5.6、液温30℃の水溶液に、陽極として白金族酸化物にて表面を被覆したチタン、陰極に樹脂誘導浸透層を備えた処理銅箔を使用して、両極に対して電流密度7.0A/dm2、電気量14C/dm2の電解条件で樹脂誘導浸透層上にコバルト-モリブデン含有酸化防止処理層を設けた。
実施例1〜6及び比較例1〜8の各処理銅箔の各処理面と液晶ポリマー樹脂基材(株式会社クラレ製、品名:CT-Z、厚さ50μm)とを合わせ、前記各処理銅箔のもう一方の面にグラ
ンド用銅箔(70μm)を合わせた後、真空熱プレス機を使用して、真空下(7torr)、温度260℃で15分間予熱した後、真空下(7torr)、温度300℃、圧力4MPaで10分間、加熱、加圧成型を行い、銅張積層板Bを得た。
銅張積層板Bは伝送損失の測定に使用した。
Claims (8)
- 未処理銅箔の少なくとも一方の面に粗化処理層と前記粗化処理層上に酸化防止処理層を備える1GHz以上の周波数の誘電正接が0.005以下の低誘電性樹脂基材用の処理銅箔であって、前記粗化処理層は粒子径が300〜600nmの銅粒子で形成され前記酸化防止処理層はモリブデンとコバルトを含有し樹脂基材と接着させる処理面の十点平均粗さRzは0.6〜2.0μmで、かつ、前記未処理銅箔と前記処理面との色差ΔE*abが35〜55である低誘電性樹脂基材用処理銅箔。
- 前記酸化防止処理層上に次のa、bの層を1つ以上備えた請求項1記載の低誘電性樹脂基材用処理銅箔。
a.クロメート層
b.シランカップリング剤層 - 請求項1又は2記載の処理銅箔を1GHz以上の周波数の誘電正接が0.005以下の低誘電性樹脂基材に張り合わせた銅張積層板。
- 液晶ポリマーを含む1GHz以上の周波数の誘電正接が0.005以下の低誘電性樹脂基材との引き剥がし強さが0.6kN/m以上である請求項3記載の銅張積層板。
- 電解液に澱粉分解物を添加することを特徴とする請求項1又は2記載の処理銅箔の処理方法。
- 処理銅箔と1GHz以上の周波数の誘電正接が0.005以下の低誘電性樹脂基材とを加熱しながら加圧して張り合わせることを特徴とする請求項3又は4記載の銅張積層板の製造方法。
- 請求項3又は4記載の銅張積層板を用いて形成されたプリント配線板。
- 請求項7記載のプリント配線板の製造方法。
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