JP2017020828A - 赤外線サーモグラフの評価用部材、赤外線サーモグラフの性能評価方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】赤外線サーモグラフの温度検出に係る性能を評価するための評価用部材であって、前記評価用部材は、第1領域と、前記第1領域に隣接して形成された第2領域とを備え、前記第2領域は、前記第1領域よりも広く、前記評価用部材を加熱したときに放射される赤外線の量が、前記第1領域と前記第2領域とで異なるように構成されている評価用部材。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施の形態による赤外線サーモグラフの評価用部材の一構成例を示す図であり、上図が平面図、下図が対応するA−A線に沿う断面図である。
1) y1=w・x1
2) y2=w・x2
3) z=v・x2
4) x2>x1
5)上辺Kと、上辺Kに最も近い露出部(図2では露出部31a)との距離は、露出部31aと側辺Jとの距離(図2ではy1)以上とする。
6)側辺Lと、側辺Lに最も近い露出部(図2では露出部31b)との距離は、露出部31bと側辺Jとの距離(図2ではy2)以上とする。
7)ネガ領域31yのパターン31e、31fの配置は、露出部31a、露出部31bの、側辺Jに関する線対称となる位置に設けられている。
また、v,wは、金属膜の形状によって干渉を避け、赤外線サーモグラフの分解能を測定するのに適した値を設定するのが好ましい。尚、干渉とは、赤外線サーモグラフで温度測定した場合に、y1が十分確保されないことにより、露出部31aと側辺Jとの間における金属膜部分の検出温度ディップが実際の温度よりも高く検出されたり、パターン部31eと側辺Jとの間のアルミナ部分の検出温度ピークが実際の温度よりも低く検出されたりすることを指す。上辺Kや側辺Lとの関係においても同様に、ある程度の間隔をとることが好ましい。
図3に示すように、アルミナからなる基板31に所定のパターンの金属膜41を形成する。図3において斜線の部分に金属膜が形成されている。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明を行う。図4は、本発明の実施の形態による赤外線サーモグラフの評価用部材の製造方法の一例を示す図である。
次に、本発明の第3の実施の形態による赤外線サーモグラフについて説明する。
図5A及び図5Bは、本発明の実施の形態による赤外線サーモグラフ測定システムの構成例を示す図である。図5Aは、システムの一構成例を示す機能ブロック図であり、図5Bは、装置の構成図である。
以上の構成により、評価用部材17の温度分布を測定することができる。
以下に、具体的な評価用部材による赤外線サーモグラフの検出能力評価処理の実施例について説明する。図6は、評価用部材におけるパターンと、測定結果として得られる温度プロファイルの対応関係を示す図である。図に示されている寸法は、例示である。
Claims (8)
- 赤外線サーモグラフの温度検出に係る性能を評価するための評価用部材であって、
前記評価用部材は、
第1領域と、前記第1領域に隣接して形成された第2領域とを備え、
前記第2領域は、前記第1領域よりも広く、
前記評価用部材を加熱したときに放射される赤外線の量が、前記第1領域と前記第2領域とで異なるように構成されている評価用部材。 - 赤外線サーモグラフの温度検出に係る性能を評価するための評価用部材であって、
前記評価用部材は、
第1領域と、前記第1領域に隣接して形成された第2領域と、前記第2領域に隣接して形成された第3領域とを備え、
前記第3領域は、前記第1領域よりも広く、
前記評価用部材を加熱したときに放射される赤外線の量が、前記第1領域と前記第3領域とでは略同一であり、前記第2領域はこれらと異なるように構成されている
赤外線サーモグラフの評価用部材。 - 前記第1領域の幅をxとした場合、その幅方向において前記第2領域または前記第3領域はxの3〜6倍の広さを有する請求項1または2に記載の赤外線サーモグラフの評価用部材。
- 前記第1領域は、大きさを異ならせて複数形成される請求項1から3までのいずれか1項に記載の赤外線サーモグラフの評価用部材。
- 前記第1領域および前記第2領域からなる形状と線対称であり、且つ、これらと赤外線の放射が反転するように形成された反転領域を有する請求項1から4までのいずれか1項に記載の赤外線サーモグラフの評価用部材。
- 基板と、前記基板に形成された金属膜からなり、
前記第1領域は前記基板が露出し、前記金属膜により第2領域が形成されている請求項1から5までのいずれか1項に記載の赤外線サーモグラフの評価用部材。 - 基板と、前記基板に形成された金属膜からなり、
前記第1領域と前記第3領域は前記基板が露出し、前記金属膜により前記第2領域が形成されている請求項2に記載の赤外線サーモグラフの評価用部材。 - 赤外線サーモグラフの温度検出に係る性能評価方法であって、
評価用部材は、
第1領域と、前記第1領域に隣接して形成された第2領域と、前記第2領域に隣接して形成された第3領域を備え、
前記第3領域は、第1領域よりも広く、
前記評価用部材を加熱したときに放射される赤外線の量が、前記第1領域と前記第3領域とでは略同一であり、前記第2領域はこれらと異なるように構成され、
赤外線サーモグラフにより評価用部材を撮像し、前記第1領域に対応する温度のピークまたはディップと、前記第3領域に対応する温度のピークまたはディップとを比較する
赤外線サーモグラフの性能評価方法。
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---|---|---|---|---|
US20200408600A1 (en) * | 2018-01-11 | 2020-12-31 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Inspection method, inspection apparatus, production method, and production system for heatsink |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6079129U (ja) * | 1983-11-07 | 1985-06-01 | 富士通株式会社 | 赤外線装置の性能測定用治具 |
JPH03500838A (ja) * | 1988-08-12 | 1991-02-21 | ヒユーズ・エアクラフト・カンパニー | 画像センサを試験する自動システム |
JPH05500268A (ja) * | 1989-09-12 | 1993-01-21 | イギリス国、ロンドン・エス・ダブリユ・1 | サーマルイメージャのための試験装置 |
JP2008202971A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Ihi Corp | 赤外線カメラ調整装置及び赤外線カメラ調整方法 |
JP2010239411A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Aisin Seiki Co Ltd | 車載カメラの校正に用いられる校正指標と、当該校正指標を用いた車載カメラの校正方法と、当該校正指標を用いた車載カメラの校正装置のためのプログラム |
JP2012189437A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Fujifilm Corp | 遠赤外線レンズ用テストチャート |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6079129U (ja) * | 1983-11-07 | 1985-06-01 | 富士通株式会社 | 赤外線装置の性能測定用治具 |
JPH03500838A (ja) * | 1988-08-12 | 1991-02-21 | ヒユーズ・エアクラフト・カンパニー | 画像センサを試験する自動システム |
JPH05500268A (ja) * | 1989-09-12 | 1993-01-21 | イギリス国、ロンドン・エス・ダブリユ・1 | サーマルイメージャのための試験装置 |
JP2008202971A (ja) * | 2007-02-16 | 2008-09-04 | Ihi Corp | 赤外線カメラ調整装置及び赤外線カメラ調整方法 |
JP2010239411A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Aisin Seiki Co Ltd | 車載カメラの校正に用いられる校正指標と、当該校正指標を用いた車載カメラの校正方法と、当該校正指標を用いた車載カメラの校正装置のためのプログラム |
JP2012189437A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Fujifilm Corp | 遠赤外線レンズ用テストチャート |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20200408600A1 (en) * | 2018-01-11 | 2020-12-31 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Inspection method, inspection apparatus, production method, and production system for heatsink |
US11802797B2 (en) * | 2018-01-11 | 2023-10-31 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Inspection method, inspection apparatus, production method, and production system for heatsink |
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