JP2017011137A - 加圧加熱冷却装置及びフリップチップ実装装置並びにフリップチップ実装方法及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
P2 位置
10 第1位置決め移動手段
11 第1固定部
12 第1可動部
13 モーター
20 移動部
21 下死点規定部材
21a 下死点規定面
30 第2位置決め移動手段
31 第2固定部
32 第2可動部
33 ロードセル
40 ヘッド部
41 支持部
42 ツール
42 加熱部
42a 通路
43 加熱部
44 冷却手段
50 第3位置決め移動手段
51 第3固定部
52 第3可動部
53 ロードセル
60 実装部品
61 端子
70 制御部
72 端子
80 実装基板
81 端子
82 はんだバンプ
Claims (11)
- 第1固定部及び第1可動部を備える第1位置決め移動手段と、
前記第1位置決め移動手段の前記第1可動部に設けられて上下方向に位置決め移動される移動部と、
前記移動部に設けられ、第2固定部及び第2可動部を備える第2位置決め移動手段と、
前記第2位置決め移動手段の前記第2可動部に設けられ、上下方向に位置決め移動されるヘッド部と、
前記第2位置決め移動手段の前記第2固定部に設けられ、前記ヘッド部の下端位置の基準となる下死点規定部材と、
前記ヘッド部に設けられ、第3固定部及び第3可動部を備える第3位置決め移動手段と、
前記ヘッド部に設けられ、部品を下面に保持するツールと、
前記ヘッド部に設けられ、前記ツールを支持する支持部と、
前記ヘッド部に設けられ、前記ツールを冷却する冷却手段と、
前記ヘッド部に設けられ、前記ツールを加熱する加熱部と、
を具備し、
前記第3位置決め移動手段の前記第3固定部は、前記支持部に固定され、
前記加熱部は、前記第3可動部に固定され、前記第3位置決め移動手段により前記ツールに当接又は離間するように移動自在であり、
前記第2位置決め移動手段は、前記ヘッド部を前記下死点規定部材に対して所定加重で下方向に向かって当接するように設定可能である、
ことを特徴とする加圧加熱冷却装置。 - 前記第2位置決め移動手段は、ボイスコイルモーター又はアクチュエータであることを特徴とする請求項1記載の加圧加熱冷却装置。
- 前記第3位置決め移動手段は、ボイスコイルモーター又はアクチュエータであることを特徴とする請求項1又は2記載の加圧加熱冷却装置。
- 前記冷却手段は、気体噴射による冷却装置であることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項記載の加圧加熱冷却装置。
- 前記ヘッド部の下端部に前記ツールが固定され、前記ヘッド部の前記下死点規定部材との当接面は前記ツールの下面と略面一であることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項記載の加圧加熱冷却装置。
- 請求項1〜5の何れか一項記載の加圧加熱冷却装置を具備することを特徴とするフリップチップ実装装置。
- 第1固定部及び第1可動部を備える第1位置決め移動手段と、
前記第1位置決め移動手段の前記第1可動部に設けられて上下方向に位置決め移動される移動部と、
前記移動部に設けられ、第2固定部及び第2可動部を備える第2位置決め移動手段と、
前記第2位置決め移動手段の前記第2可動部に設けられ、上下方向に位置決め移動されるヘッド部と、
前記第2位置決め移動手段の前記第2固定部に設けられ、前記ヘッド部の下端位置の基準となる下死点規定部材と、
前記ヘッド部に設けられ、第3固定部及び第3可動部を備える第3位置決め移動手段と、
前記ヘッド部に設けられ、部品を下面に保持するツールと、
前記ヘッド部に設けられ、前記ツールを支持する支持部と、
前記ヘッド部に設けられ、前記ツールを冷却する冷却手段と、
前記ヘッド部に設けられ、前記ツールを加熱する加熱部と、
を具備し、
前記第3位置決め移動手段の前記第3固定部は、前記支持部に固定され、
前記加熱部は、前記第3可動部に固定され、前記第3位置決め移動手段により前記ツールに当接又は離間するように移動自在であり、
前記第2位置決め移動手段は、前記ヘッド部を前記下死点規定部材に対して所定加重で下方向に向かって当接するように設定可能である、フリップチップ実装装置を用い、
実装基板に実装する実装部品を前記ツールに保持する保持工程と、
前記第2位置決め移動手段により前記ヘッド部を前記下死点規定部材に所定荷重で下方に向かって当接された状態に設定する当接工程と、
前記第1位置決め移動手段で前記移動部を前記下死点規定部材が所定の位置となるまで下降させ、前記実装基板の端子と前記実装部品の端子とをバンプを介して当接させ且つ前記ヘッド部が前記下死点規定部材から上方に所定距離だけ離間して状態とする下降工程と、
前記下降工程の後、前記第3位置決め移動手段により前記ツールに当接させた状態の前記加熱部により前記実装部品を加熱する加熱工程と、
前記加熱工程により前記実装基板の端子と前記実装部品の端子とをバンプが溶融して前記ヘッド部が前記下死点規定部材に当接した状態となる溶融工程と、
前記溶融工程の後、前記第3位置決め移動手段により前記加熱部を前記ツールから離間すると共に前記冷却手段により前記実装部品を冷却する冷却工程と、
前記冷却工程の後、前記ツールによる前記実装部品の保持を解除すると共に前記第1位置決め移動手段により前記移動部を上昇させて前記ヘッド部を前記実装部品を実装した実装基板から離間させる上昇工程と、
を実施することを特徴とするフリップチップ実装方法。 - 前記下降工程が、
前記実装基板の端子と前記実装部品の端子とが前記バンプを介して当接するまで前記移動部を下降させる第1下降工程と、
前記第1下降工程の後、前記ヘッド部が前記下死点規定部材に当接した状態において、前記実装基板の端子と前記実装部品の端子とのギャップが所定の大きさになるように前記下死点規定部材の位置が所定位置になるまで前記移動部を下降させる第2下降工程と、
からなることを特徴とする請求項7記載のフリップチップ実装方法。 - 前記加熱工程より前に、前記第3位置決め移動手段により前記加熱部を前記ツールに当接させて予備加熱する予備加熱工程を実施する、
ことを特徴とする請求項7又は8記載のフリップチップ実装方法。 - 前記バンプは、前記実装基板の端子に設けられたはんだバンプであることを特徴とする請求項7〜9の何れか一項記載のフリップチップ実装方法。
- 請求項7〜10の何れか一項記載のフリップチップ実装方法により製造されたことを特徴とする半導体装置。
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---|---|---|---|
JP2015126047A JP6577764B2 (ja) | 2015-06-23 | 2015-06-23 | 加圧加熱冷却装置及びフリップチップ実装装置並びにフリップチップ実装方法及び半導体装置の製造方法 |
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06326156A (ja) * | 1993-05-11 | 1994-11-25 | Seiko Epson Corp | ボンディングツールの構造 |
JPH11297749A (ja) * | 1998-04-07 | 1999-10-29 | Mitsubishi Electric Corp | フリップチップボンディング装置及びフリップチップボンディング方法 |
-
2015
- 2015-06-23 JP JP2015126047A patent/JP6577764B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH06326156A (ja) * | 1993-05-11 | 1994-11-25 | Seiko Epson Corp | ボンディングツールの構造 |
JPH11297749A (ja) * | 1998-04-07 | 1999-10-29 | Mitsubishi Electric Corp | フリップチップボンディング装置及びフリップチップボンディング方法 |
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