JP2017001218A5 - 吐出口面の撥水処理方法 - Google Patents

Description

上記課題は、以下の本発明によって解決される。即ち本発明は、供給口を有する基板と、前記基板上に吐出口を有する液体吐出ヘッドの、前記吐出口が開口する吐出口面の撥水処理方法であって、基板上の感光性樹脂層の表面にフッ素原子を有する化合物を含有する材料を付与し、前記感光性樹脂層の表面側に前記材料を含有する材料層を有する部材を形成する工程と、前記部材を露光装置で露光して前記部材に潜像を形成する第１の露光工程と、前記潜像を形成した部材を現像して前記吐出口を形成する現像工程と、前記現像工程の後に前記部材を露光装置で露光する第２の露光工程と、前記第２の露光工程の後に前記基板に前記供給口を形成する工程と、を有することを特徴とする吐出口面の撥水処理方法である。

Claims (14)

1. 供給口を有する基板と、前記基板上に吐出口を有する液体吐出ヘッドの、前記吐出口が開口する吐出口面の撥水処理方法であって、
   基板上の感光性樹脂層の表面にフッ素原子を有する化合物を含有する材料を付与し、前記感光性樹脂層の表面側に前記材料を含有する材料層を有する部材を形成する工程と、
   前記部材を露光装置で露光して前記部材に潜像を形成する第１の露光工程と、
   前記潜像を形成した部材を現像して前記吐出口を形成する現像工程と、
   前記現像工程の後に前記部材を露光装置で露光する第２の露光工程と、
   前記第２の露光工程の後に前記基板に前記供給口を形成する工程と、
   を有することを特徴とする吐出口面の撥水処理方法。
2. 前記第１の露光工程における前記部材の表面の露光量は１．０Ｊ／ｃｍ^２以下である請求項１に記載の吐出口面の撥水処理方法。
3. 前記第１の露光工程と前記第２の露光工程とによる前記部材の表面の合計の露光量は１．５Ｊ／ｃｍ^２以上である請求項１または２に記載の吐出口面の撥水処理方法。
4. 前記第２の露光工程を行うことで、純水の前記部材の表面に対する接触角が、前記第２の露光工程を行わない場合と比較して３°以上高くなる請求項１乃至３のいずれか１項に記載の吐出口面の撥水処理方法。
5. 前記第２の露光工程では、前記部材の表面に対して１時間以内に１．０Ｊ／ｃｍ^２以上の露光量で露光を行う請求項１乃至４のいずれか１項に記載の吐出口面の撥水処理方法。
6. 前記部材には、１２０℃以上１６０℃以下で２分以上２０分以下の加熱を行う仮硬化と、１７０℃以上２２０℃以下で３０分以上１２０分以下の加熱を行う本硬化とを行う請求項１乃至５のいずれか１項に記載の吐出口面の撥水処理方法。
7. 前記第２の露光工程の後に仮硬化を行う請求項１乃至６のいずれか１項に記載の吐出口面の撥水処理方法。
8. 前記第２の露光工程の前に仮硬化を行う請求項１乃至６のいずれか１項に記載の吐出口面の撥水処理方法。
9. 前記第２の露光工程の後に本硬化を行う請求項１乃至８のいずれか１項に記載の吐出口面の撥水処理方法。
10. 前記第２の露光工程の前に本硬化を行う請求項１乃至８のいずれか１項に記載の吐出口面の撥水処理方法。
11. 前記感光性樹脂層はネガ型感光性樹脂層である請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の吐出口面の撥水処理方法。
12. 前記フッ素原子を有する化合物は加水分解性シラン化合物の縮合物である請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の吐出口面の撥水処理方法。
13. 前記加水分解性シラン化合物はエポキシ基を有する加水分解性シラン化合物を含む加水分解性シラン化合物の縮合物である請求項１２に記載の吐出口面の撥水処理方法。
14. 前記供給口を形成する工程の後に前記部材に紫外光を照射し、前記紫外光が照射された前記部材の一部を除去する工程を有する請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の吐出口面の撥水処理方法。