JP2016539455A - 真空チャンバー用軟x線除電装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (11)
- 軟X線を発生させるための高電圧を発生させる高電圧発生部と、
前記高電圧を介して前記軟X線を発生させて外部へ出射する軟X線発生部と、
前記高電圧発生部と前記軟X線発生部とを連結し、前記高電圧を前記軟X線発生部へ伝達する可撓性連結部と、
前記軟X線発生部に設置され、所定の設置対象に固定される固定部とを含んでなることを特徴とする、真空チャンバー用軟X線除電装置。 - 前記設置対象は、真空雰囲気を形成する真空チャンバーであり、
前記軟X線発生部は、前記真空チャンバーを貫通して前記真空チャンバーの内部空間に晒され、
前記固定部は、前記軟X線発生部を前記真空チャンバーの外壁に固定することを特徴とする、請求項1に記載の真空チャンバー用軟X線除電装置。 - 前記固定部は、
前記軟X線発生部の外周に、前記軟X線発生部を中心に一定の直径を持つように突設される固定部材と、
前記固定部材に所定の間隔で設けられる多数の固定孔、及び該固定孔及び前記真空チャンバーの外壁に締結されて固定される多数の締結部材を有する締結手段とを備えることを特徴とする、請求項2に記載の真空チャンバー用軟X線除電装置。 - 前記固定部材と前記真空チャンバーの外壁との間には、前記真空チャンバー内の真空を維持するためのシリコーンガスケットがさらに設置されることを特徴とする、請求項3に記載の真空チャンバー用軟X線除電装置。
- 前記軟X線発生部の端部は、前記真空チャンバーの内側壁を基準に、前記真空チャンバーの内部空間へ突出するように設置されることを特徴とする、請求項3に記載の真空チャンバー用軟X線除電装置。
- 前記軟X線発生部の端部は、前記真空チャンバーの内側壁と実質的に同一の面上に位置するように配置されることを特徴とする、請求項3に記載の真空チャンバー用軟X線除電装置。
- 前記真空チャンバーには、前記軟X線発生部が貫通して挿入される貫通孔が設けられ、
前記貫通孔の内周には、前記軟X線発生部の外周に密着し、前記真空チャンバーの真空を維持するためのシリコーン材質の気密部材がさらに設置されることを特徴とする、請求項3に記載の真空チャンバー用軟X線除電装置。 - 前記軟X線発生部は、円筒状をし、前記貫通孔に螺合されて固定されることを特徴とする、請求項7に記載の真空チャンバー用軟X線除電装置。
- 前記軟X線発生部と前記貫通孔とは少なくとも一つの段差部を形成しながら密着固定されることを特徴とする、請求項7に記載の真空チャンバー用軟X線除電装置。
- 前記軟X線発生部の端部は、前記真空チャンバーの内部空間に晒される状態で水平回転可能に設けられ、
前記軟X線発生部は、外部からの制御信号を受信して前記軟X線発生部の端部の回転位置を調節するように前記軟X線発生部の端部を回転させる回転機をさらに備えることを特徴とする、請求項2に記載の真空チャンバー用軟X線除電装置。 - 前記除電装置は除電制御ユニットをさらに備え、
前記除電制御ユニットは、前記真空チャンバーの内部空間における静電気レベルを測定する測定器と、前記測定した静電気レベルに応じて、予め設定された軟X線発生量をなすように前記高電圧発生部の駆動を制御する制御器とを備えることを特徴とする、請求項2に記載の真空チャンバー用軟X線除電装置。
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