JP2016534409A - 極端紫外光源用搬送システム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (22)
- 極端紫外(EUV)光源内の素子を清浄化する方法であって、
導管がフリーラジカルを通過させる材料を備え、前記導管が第1の開口から遠ざかって延伸し少なくとも1つの他の開口を定義する側壁を含み、前記少なくとも1つの他の開口が、前記側壁を貫通し、表面上にデブリを堆積する素子に向かって前記フリーラジカルを放出するように位置決めされているところ、前記導管の第1の端部により定義される前記第1の開口において、ターゲット混合物をEUV光を放出するプラズマに変換することにより創出された前記デブリと結合する前記フリーラジカルを受け取ることと、
前記導管内の前記フリーラジカルを前記少なくとも1つの他の開口に向かって誘導することと、
前記素子を前記EUV光源から取り外すことなく前記素子の前記表面から前記デブリを除去するために、前記フリーラジカルを前記少なくとも1つの他の開口を通過させて前記素子の前記表面に移すことと、
を備える、方法。 - 前記フリーラジカルは、エッチングにより前記素子の前記表面から前記デブリを除去する、請求項1に記載の方法。
- 前記側壁により定義される前記少なくとも1つの他の開口は、各々が前記側壁を貫通する異なる寸法の複数の開口を備え、前記フリーラジカルに前記少なくとも1つの他の開口を通過させることは前記フリーラジカルに前記複数の開口を通過させることを備える、請求項1に記載の方法。
- 前記側壁を貫通する前記複数の開口のうち最小のものは、前記第1の開口に最も近い開口であり、
前記側壁を貫通する前記複数の開口のうち最大のものは、前記第1の開口から最も遠い開口である、請求項3に記載の方法。 - 前記複数の開口の前記寸法は、前記複数の開口のうち前記最小のものと前記複数の開口のうち前記最大のものとの間で拡大する、請求項4に記載の方法。
- 前記デブリは、前記素子の前記表面から均一な速さで除去される、請求項1に記載の方法。
- 前記導管により定義される前記少なくとも1つの他の開口を前記素子に対して位置決めすることをさらに備える、請求項1に記載の方法。
- 前記導管により定義される前記少なくとも1つの他の開口を前記素子に対して位置決めすることは、前記少なくとも1つの他の開口を前記素子に対して移動させることを備える、請求項7に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの他の開口は、前記素子の外周に平行な平面内で移動される、請求項7に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの他の開口は、前記素子の外周を含む平面に対して回転される、請求項7に記載の方法。
- 前記導管内の前記フリーラジカルを前記少なくとも1つの他の開口に向かって誘導することは、フリーラジカル源と前記少なくとも1つの他の開口との間に圧力差を作り出すことを備え、
前記少なくとも1つの他の開口は、前記フリーラジカル源よりも低い圧力及び前記導管の外側の領域よりも高い圧力にある、請求項1に記載の方法。 - 増幅光ビームを生成する源と、
真空チャンバと、
プラズマに変換されたときに極端紫外光を放出する材料を備えたターゲット材を、前記真空チャンバ内の、前記増幅光ビームを受光するターゲット位置に向かって誘導する、ターゲット材送達システムと、
前記放出された極端紫外光を集光及び反射するコレクタと、
を有する、極端紫外光源と、
フリーラジカルを通過させる材料を備える導管であって、前記導管は、前記導管の第1の端部により定義される第1の開口と、前記導管の側壁により定義される少なくとも1つの他の開口と、を定義し、前記導管の前記側壁は、前記真空チャンバの壁を貫通し、前記第1の開口が前記真空チャンバの外部にあり、前記少なくとも1つの他の開口が前記真空チャンバの内側にあって前記コレクタに向かって配向されている状態で位置決めされている、導管
を有する、ラジカル搬送システムと、
を備える、システム。 - 前記ラジカル搬送システムは、フリーラジカル源をさらに備える、請求項12に記載のシステム。
- 前記少なくとも1つの他の開口は、前記側壁により定義され前記側壁を貫通する複数の開口を備える、請求項12に記載のシステム。
- 前記開口は、前記導管により定義される長手軸に平行な経路に沿って互いに間隔をあけられる、請求項14に記載のシステム。
- 前記開口は、異なる寸法を有し、
前記複数の開口のうち最小のものは、前記導管の前記第1の端部に最も近く、
前記複数の開口のうち最大のものは、前記導管の前記第1の端部から最も遠い、請求項14に記載のシステム。 - 前記導管は、前記複数の開口の各々が前記真空チャンバの内側にあり前記コレクタに向かって配向されるように位置決めされる、請求項14に記載のシステム。
- 前記導管は、前記増幅光ビームの伝播経路の外側に位置決めされる、請求項12に記載のシステム。
- 前記導管は、前記コレクタに対して移動する、請求項12に記載のシステム。
- 前記ラジカル搬送システムは、複数の導管を備える、請求項12に記載のシステム。
- 増幅光ビームを生成する源と、
真空チャンバと、
プラズマに変換されたときに極端紫外光を放出する材料を備えたターゲット材を、前記真空チャンバ内の、前記増幅光ビームを受光するターゲット位置に向かって誘導する、ターゲット材送達システムと、
前記真空チャンバの内側の、前記プラズマの経路中にあるコレクタであって、前記放出された極端紫外光及びデブリを受け取り反射する、コレクタと、
を有する、極端紫外光源と、
フリーラジカルを通過させる材料を備える導管であって、前記導管は前記導管の第1の端部により定義される第1の開口と、前記導管の側壁により定義される少なくとも1つの他の開口と、を定義し、前記導管の前記側壁は、前記真空チャンバから前記コレクタを取り外すことなく前記デブリを前記コレクタから一定の速さで除去するために、前記真空チャンバの壁を貫通し、前記フリーラジカルを前記コレクタへと誘導する、導管
を有する、ラジカル搬送システムと、
を備える、システム。 - 前記導管の前記側壁は、少なくとも0.8メートルの長手方向の大きさを有する、請求項21に記載のシステム。
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