JP2016524650A - 棒状基材の表面処理用汎用ホルダ - Google Patents
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Abstract
Description
−孔の配列が設けられた、少なくとも一つの孔あき外壁であって、その孔には、前述の領域がホルダから突き出すようにドリルがセットされている外壁、
−セットされたシャフト付ドリルをほぼ平行に配置するために、ホルダの中空の内側空間内に、外壁に対して平行に、また外壁から離間して設けられ、また、対応する孔の配列を有している、特定の又はそれぞれの外壁のための孔あき支持壁、
−ホルダの中空の内側空間内にある止め手段であって、特定の又はそれぞれの支持壁から内側に向かって離間しており、それにより、同じ直径を持つドリルの先端が位置決めされ、それらの先端はほぼ同じ程度に外壁から突き出しており、その際、ホルダの中空の内側空間及びドリルの位置決めにより、それぞれのドリルの、外壁の内側にある部分が、外側の周囲からは遮蔽されるが、ホルダの内側空間の大気にはさらされるようになっている。
−前壁3のそれぞれの孔5には、孔平面から上に向かって斜めに立てられた支持要素9(例えばU字形又は長方形の断面を持つ成形物)が、望ましくは水平線に対して2°より大きい傾斜角度α(図3参照)で配置されており、基材は少なくとも部分的にその支持要素9内に配置することができ、また、
−前壁3のそれぞれの孔5には、少なくとも一つの止め要素11が設けられており、それにより、断面積の小さいほうの領域BQ1と、少なくとも一つのその他の領域BQ2との間において、基材を少なくとも一か所でとどめることができる。
5、5'、5'" 孔
9 支持要素
10 基材本体
11 止め要素
13 支持壁
15 接合要素
16 前カバーマスク
18 接続要素
20 仕切り付きカセット
30 切り抜き部
40 コーティング保護カバー
50 輸送保護カバー
a 傾斜角度
BQ2 基材本体領域
BQ1 基材本体領域
Q1 断面積
Q2 断面積
Claims (15)
- 基材本体に沿って異なる断面積を持ち、また、処理すべき表面を有している少なくとも一つの棒状基材本体(10)であって、該表面は前記基材本体(10)の領域BQ1にあり、該領域BQ1には前記基材本体(10)の端部があって該領域BQ1の断面は前記基材本体(10)の残りの部分より小さい、棒状基材本体(10)を固定するためのホルダであって、該ホルダは前壁(3)として少なくとも一つの孔あき壁を有しており、該壁には少なくとも一つの孔(5)、望ましくは孔(5)の配列が設けられているホルダにおいて、前記ホルダが、孔(5)に配置された少なくとも一つの支持要素(9)及び止め要素(11)を有しており、
−前記基材本体が水平線に対して傾斜角度αで斜めに、縦方向において少なくとも部分的に前記支持要素(9)内に配置可能となるように、前記支持要素(9)が構成されており、及び/又は、前記孔(5)に固定されており、望ましくは溶接されており、
−前記領域BQ1が前記孔(5)を通って前記ホルダから突き出すように、前記止め要素(11)が前記領域BQ1と前記基材本体の残りの部分との間で前記基材本体をとどめられるように、前記止め要素(11)が構成されており、及び/又は、望ましくは接続要素を用いて前記孔(5)に固定されている、
ことを特徴とするホルダ。 - 水平線に対する前記傾斜角度αが2°より大きく、望ましくは5°≦α≦20°であることを特徴とする、請求項1に記載のホルダ。
- 前記支持要素(9)が縦長であって2つの端部を有しており、前記支持要素(9)の一方の端部は前壁(3)の近くに又は前壁(3)に接して位置しており、また、もう一方の端部は前壁(3)から離れて位置しており、前記支持要素(9)は望ましくはU字形断面の成形物又は長方形断面の成形物又は五角形断面の成形物であることを特徴とする、請求項1から2のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記ホルダが、垂直面において平行に、及び/又は、水平面において交差するように配置された少なくとも2つの基材本体(10)を固定するための少なくとも2つの支持要素(9)を有しており、水平面内における前記支持要素(9)間の距離は、前記前壁(3)に近い領域については前記前壁(3)から離れた領域におけるより大きく、そのため、水平面内における前記基材本体(10)間の距離も、前記前壁(3)に近い領域については、前記前壁(3)から離れた領域におけるより大きいことを特徴とする、請求項3に記載のホルダ。
- 前記ホルダが少なくとも一つの、前記前壁(3)から離間した第2の孔あき壁を有しており、その壁には少なくとも一つの孔(5')、望ましくは孔(5')の配列が設けられており、また、前記支持要素(9)のための支持壁(13)として前記ホルダ内に配置されていて、その際、前記支持要素(9)のうちの一つの支持要素の少なくとも一部分が孔(5')に支えられ、望ましくは、支持要素(9)の、前記孔(5')に支えられる部分が、前記孔(5')に固定されること、望ましくは溶接されることを特徴とする、請求項3から4のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記支持壁(13)の孔(5')の配列内の孔の数が、前記前壁(3)の孔(5)の配列内の孔の数に対応しており、前記支持壁(13)は、各支持要素(9)が同時に、孔(5)及び孔(5')に支えられるように前記ホルダ内に配置されることを特徴とする、請求項5に記載のホルダ。
- 請求項6に記載のホルダにおいて、前記支持壁(13)が前記ホルダ内において前記前壁(3)に関して平行に配置され、及び/又は、孔(5')の配列は、
−垂直面内において、孔(5')の配列の各孔が、孔(5)の配列の、対応する孔より上に位置し、及び/又は、
−水平面内において前記支持壁(13)内の孔(5')の配列の孔間の距離が、前記前壁(13)内の孔(5)の配列の孔間の距離より小さくなるように、
設計されていることを特徴とするホルダ。 - 前記止め要素(11)が前カバーマスク(17)の形で作られており、該前カバーマスク(17)には、望ましくは前記前カバー(3)の孔(5)の配列に対応した、孔(5"')の配列が設けられており、また、前記前カバーマスク(17)は、望ましくはボルトである接続要素(18)を用いて前記前壁(3)に固定されていることを特徴とする、請求項1から7のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記ホルダが接合要素(15)を有しており、これを用いて前記前壁(3)の位置が、前記支持壁(13)の位置に関して固定されることを特徴とする、請求項5から8のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記接合要素(15)が壁であり、前記ホルダの残りの部分と共に仕切り付きカセット(20)を形成していることを特徴とする、請求項9に記載のホルダ。
- 前記基材本体(10)の領域BQ1が、それにより前記基材本体の処理すべき表面も、前記前壁(3)の前記孔(5)の一つを通って前記ホルダから突き出すように、前記ホルダ内に少なくとも一つの基材本体(10)がおさめられることを特徴とする、請求項1から10のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記ホルダがコーティング保護カバー(40)としてのカバーを備えており、このカバーにより、前記基材本体(10)の、前記前壁(3)の前記孔(5)を通って突き出さない領域が遮蔽されることを特徴とする、請求項11に記載のホルダ。
- 前記ホルダが、輸送保護カバー(50)としてのカバーを備えており、このカバーにより、前記基材本体(10)の、前記前壁(3)の孔(5)から突き出す領域が覆われることを特徴とする、請求項11から12のいずれか一項に記載のホルダ。
- 少なくとも一つの基材本体(10)の表面処理を行う方法において、該方法には少なくとも一つの表面処理プロセスの実行が含まれており、その表面処理プロセスにおいて前記基材本体(10)は請求項11から13のいずれか一項に記載のホルダ内にあることを特徴とする方法。
- 請求項14に記載の方法であって、前記方法が以下のプロセスステップaからdの少なくとも一つ:
a.例えば洗浄槽内において基材本体を洗浄するステップ、
b.例えばグリットブラストプロセスなどにより、基材本体の処理すべき表面を前処理するステップ、
c.コーティングプロセス、望ましくはPVDプロセスにおいて基材本体の処理すべき表面をコーティングするステップ、
d.例えばグリットブラストプロセスなどにより基材本体の処理すべき表面を後処理するステップ、
を備え、前記基材本体はまず分類され、請求項1から11のいずれか一項に記載のホルダ内に装入され、望ましくは、
−基材本体は、プロセスステップとプロセスステップとの間にホルダから取り出して再び装入する必要がないよう、常に同じホルダ内にあり、
−基材本体は同じホルダ内にあって、一つのプロセスステップから他のプロセスステップへと輸送され、前記前壁(3)を通って前記ホルダから突き出す、基材本体の処理すべき表面は、望ましくは、請求項13に記載の輸送保護カバー(50)により、処理すべき表面の損傷が回避されるように覆われ、
−場合によっては、コーティングプロセスの実行のために、前記前壁(3)を通って前記ホルダから突き出していない、基材本体の処理すべきではない表面を、該処理すべきではない表面がコーティングされることを回避するように、請求項12に記載のコーティング保護カバー(40)で遮蔽する、
ことを特徴とする、請求項14に記載の方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190118605A (ko) * | 2017-02-16 | 2019-10-18 | 오를리콘 서피스 솔루션스 아크티엔게젤샤프트, 페피콘 | 복수 공정 단계용 공구 유지 장치 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013007454A1 (de) * | 2013-05-02 | 2014-11-06 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Vielseitige Haltevorrichtung zur Oberflächenbehandlung von stangenförmigen Substraten |
AR101884A1 (es) * | 2014-09-17 | 2017-01-18 | Oerlikon Surface Solutions Ag Trubbach | Soporte para tratar cuchillas |
DE102015105169A1 (de) * | 2015-04-02 | 2016-10-06 | Cemecon Ag | Chargierung von Werkstücken in einer Beschichtungsanlage |
USD881242S1 (en) * | 2018-01-29 | 2020-04-14 | Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfaffikon | Tool holder |
DE102019135182A1 (de) * | 2019-12-19 | 2021-06-24 | Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon | Haltevorrichtung zum Halten eines Substrats |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0217552A (ja) * | 1988-07-06 | 1990-01-22 | Nec Corp | 性能データ計測方式 |
JP2003504219A (ja) * | 1999-07-14 | 2003-02-04 | ドーマー ツールズ (シェフィールド) リミテッド | ドリルの製造方法と製造手段 |
WO2012089306A1 (de) * | 2010-12-28 | 2012-07-05 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Halterung für bohrkopfbeschichtung |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4528208A (en) | 1983-10-13 | 1985-07-09 | Zymet, Inc. | Method and apparatus for controlling article temperature during treatment in vacuum |
US4711353A (en) * | 1986-05-01 | 1987-12-08 | Rozmestor Raymond L | Socket organizer |
US5031974A (en) * | 1990-04-04 | 1991-07-16 | Liberty Diversified Industries, Inc. | Organizer cabinet |
US5560480A (en) * | 1994-11-04 | 1996-10-01 | Singleton; Robert P. | Socket holder apparatus |
US5823361A (en) * | 1996-02-06 | 1998-10-20 | Progressive System Technologies, Inc. | Substrate support apparatus for a substrate housing |
US5775513A (en) * | 1996-09-19 | 1998-07-07 | Anthony; Larry L. | Golf club holder |
US5996818A (en) * | 1998-11-24 | 1999-12-07 | Lab-Interlink, Inc. | Specimen tube rack |
DE10012575A1 (de) * | 2000-03-15 | 2001-09-27 | Schott Glas | Transportvorrichtung für medizinische Behälter |
US6474481B1 (en) * | 2001-06-08 | 2002-11-05 | Yung-Yuan Liu | Flexible tool storage device |
US7442285B2 (en) * | 2004-06-17 | 2008-10-28 | Vapor Technologies, Inc. | Common rack for electroplating and PVD coating operations |
DE102005003047A1 (de) | 2005-01-22 | 2006-07-27 | Identif Gmbh | Vorrichtung zum Bewegen von Werkstücken |
CN100529171C (zh) | 2005-07-21 | 2009-08-19 | 林泓庆 | 物理气相沉积蒸镀机的被镀物固持装置 |
US8703240B2 (en) * | 2005-10-18 | 2014-04-22 | American Axle & Manufacturing, Inc. | Apparatus and method for masking and coating tool blades |
JP2008260973A (ja) | 2007-04-10 | 2008-10-30 | Shinko Seiki Co Ltd | 成膜装置用の被処理物の支持具 |
ES2541466T3 (es) * | 2008-06-11 | 2015-07-20 | Oerlikon Surface Solutions Ag, Trübbach | Portapiezas de trabajo |
USD598566S1 (en) * | 2008-08-12 | 2009-08-18 | Diagenode Societe Anonyme | Medical instrument for laboratory use |
USD608013S1 (en) * | 2009-01-29 | 2010-01-12 | ABgene Limited | PCR multi-well plate |
US8016118B2 (en) * | 2009-01-31 | 2011-09-13 | Charles Arthur Boll | Digger sifter with ergonomic handle |
DE102011050451A1 (de) | 2011-05-18 | 2012-11-22 | Renate Richardt | Stabmesserkopf, Beschichtungsabdeckvorrichtung und Verfahren zum Schleifen und Beschichten von austauschbaren Stabmessern eines Stabmesserkopfes |
DE102013007454A1 (de) * | 2013-05-02 | 2014-11-06 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Vielseitige Haltevorrichtung zur Oberflächenbehandlung von stangenförmigen Substraten |
-
2013
- 2013-05-02 DE DE102013007454.1A patent/DE102013007454A1/de not_active Withdrawn
-
2014
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-
2015
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0217552A (ja) * | 1988-07-06 | 1990-01-22 | Nec Corp | 性能データ計測方式 |
JP2003504219A (ja) * | 1999-07-14 | 2003-02-04 | ドーマー ツールズ (シェフィールド) リミテッド | ドリルの製造方法と製造手段 |
WO2012089306A1 (de) * | 2010-12-28 | 2012-07-05 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Halterung für bohrkopfbeschichtung |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190118605A (ko) * | 2017-02-16 | 2019-10-18 | 오를리콘 서피스 솔루션스 아크티엔게젤샤프트, 페피콘 | 복수 공정 단계용 공구 유지 장치 |
JP2020509221A (ja) * | 2017-02-16 | 2020-03-26 | エリコン サーフェス ソリューションズ アーゲー、 プフェフィコン | 複数工程ステップ用のツール固定具 |
JP7190184B2 (ja) | 2017-02-16 | 2022-12-15 | エリコン サーフェス ソリューションズ アーゲー、 プフェフィコン | 複数工程ステップ用のツール固定具 |
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