JP2016513254A5 - - Google Patents

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  1. 閉じ込めチューブを有する誘導結合プラズマ(ICP)トーチにエアロゾル試料を噴射するための噴射器であって、
    流体入力ポートと、前記流体入力ポートと流体連通する流体噴射端とを有する外側管を備え、
    前記流体入力ポートは、流体を含む第1の材料流れを受け入れるように構成され、
    前記外側管は、前記流体入力ポートから前記第1の材料流れを前記流体噴射端に移送して前記流体を前記流体噴射端から前記閉じ込めチューブに噴射できるように構成されており、
    前記外側管の内部に配置され、試料受入端と試料噴射端とを有する移送管を備え、
    前記試料受入端は、エアロゾルを含む第2の材料流れを受け入れるように構成され、
    前記移送管は、前記試料受入端から前記第2の材料流れを前記試料噴射端に移送して前記エアロゾルを前記試料噴射端から前記閉じ込めチューブに噴射できるように構成されており、
    前記移送管は、前記外側管と同軸であり、
    材料流れを移送するように構成された2つだけの同軸管を備える、
    噴射器。
  2. 前記試料噴射端は前記外側管の外側に位置している、請求項1の噴射器。
  3. 前記試料噴射端は前記外側管内に位置する、請求項1の噴射器。
  4. 前記外側管は、前記流体噴射端から噴射軸に沿って延び、前記移送管は、前記試料噴射端から前記噴射軸に沿って延びる、請求項1から3のいずれか一項の噴射器。
  5. 前記外側管及び前記移送管は同軸である、請求項2から4のいずれかの噴射器。
  6. 前記試料噴射端は、1mmよりも大きな範囲の距離だけ前記流体噴射端を超えて延びる、請求項2から5のいずれかの噴射器。
  7. 前記移送管の内部空間と流体連通し、粒子を前記移送管の前記内部空間に移送するように構成された液滴生成器をさらに備える、請求項1から6のいずれかの噴射器。
  8. 前記液滴生成器と前記移送管との間に連結される脱溶媒ユニットをさらに備える、請求項7の噴射器。
  9. 前記流体噴射端は、1.5mmから3mmの範囲の内径を有する、請求項1の噴射器。
  10. 前記試料受入端の内径は前記試料噴射端の内径と等しい、請求項1の噴射器。
  11. 前記外側管は、前記流体噴射端から噴射軸に沿って延び、
    前記移送管は、前記試料噴射端から前記噴射軸に沿って延び、
    前記噴射軸に沿って測定したときの前記流体噴射端と前記試料噴射端との間の距離は0mmから20mmの範囲にある、
    請求項1の噴射器。
  12. 前記噴射軸に沿って測定したときの前記流体噴射端と前記試料噴射端との間の前記距離は0mmから15mmの範囲にある、請求項11の噴射器。
  13. 前記噴射器は、前記外側管及び前記移送管それぞれにより移送される前記第1及び第2の材料流れを加熱するように構成されたヒータを含んでいない、請求項1の噴射器。
  14. 前記移送管は、前記試料噴射端から噴射軸に沿って延び、
    前記外側管の一部は、前記流体噴射端から前記噴射軸に沿って延び、
    前記流体入力ポートは、前記噴射軸とは異なる軸に沿って前記第2の材料流れを前記外側管の前記一部に移送するように構成されている、
    請求項1の噴射器。
  15. 前記移送管は、前記試料噴射端から噴射軸に沿って延び、
    前記外側管は、その内部で前記第1の材料流れを前記噴射軸に沿って移送可能な空間を規定する内面を含み、
    前記外側管は、さらに壁を含み、
    前記外側管の内面は、前記流体噴射端と前記壁との間で前記噴射軸に沿って延び、
    前記壁は、前記移送管が前記外側管の内部に配置されるように前記移送管を挿入できる開口を含み、
    請求項1の噴射器。
  16. 前記壁と前記移送管との間に介在する管ガイドをさらに備える、請求項15の噴射器。
  17. 前記管ガイドは、前記内面から離間している、請求項16の噴射器。
  18. 前記試料噴射端は、0.5mm以上の内径を有する、請求項1の噴射器。
  19. 前記試料噴射端は、1mm以上の内径を有する、請求項18の噴射器。
  20. その閉じ込めチューブ内にプラズマを生成するように構成されたプラズマトーチに近接して配置されるように構成された噴射器を備え、
    前記噴射器は、
    流体噴射端を有する外側管であって、流体の外側噴射器流れを前記流体噴射端に移送して前記流体を前記流体噴射端から前記閉じ込めチューブに噴射できるように構成された外側管と、
    前記流体噴射端で前記外側管の内部に配置され、試料噴射端を有する移送管であって、前記試料噴射端を介して材料を含むキャリア流れを噴射できるように構成された移送管と
    を備え、
    前記外側管は、前記閉じ込めチューブ内に、比較的激しい乱流の流体流れを含む第1のゾーンと、比較的弱い乱流の流体流れを含む第2のゾーンとを生成するように構成され、
    前記第1のゾーンは前記第2のゾーンよりも前記流体噴射端に近く、
    前記試料噴射端は、前記第2のゾーン内に位置し、
    前記移送管は、前記試料噴射端から前記材料を含むキャリア流れを前記第2のゾーンに噴射できるように構成されている、
    装置。
  21. 前記プラズマトーチをさらに含む、請求項20の装置。
  22. 前記プラズマトーチは、前記閉じ込めチューブを有する誘導結合プラズマ(ICP)トーチである、請求項21の装置。
  23. 第1の管と該第1の管の内部に配置された第2の管とを有する噴射器をプラズマトーチに挿入し、
    内部にプラズマを生成可能な前記プラズマトーチにより規定される空間に前記第1の管の噴射端から第1の材料流れを噴射し、
    前記空間に前記第2の管の噴射端からエアロゾルを含む第2の材料流れを噴射する、
    方法。
  24. 前記第2の管は、前記第1の管と同軸である、請求項23の方法。
  25. 前記第1の材料流れはガスを含む、請求項23の方法。
  26. 前記ガスはアルゴン(Ar)を含む、請求項25の方法。
  27. さらに、ターゲット材料のレーザアブレーションにより前記エアロゾルを生成する、請求項23の方法。
  28. さらに、
    前記第2の管の外側で前記生成されたエアロゾルを捕捉し、
    前記捕捉されたエアロゾルを前記第2の管に移送する、
    請求項27の方法。
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Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3240014A1 (en) 2016-04-29 2017-11-01 ETH Zurich Laser ablation cell
CN109791868A (zh) * 2016-08-02 2019-05-21 富鲁达加拿大公司 激光烧蚀系统
WO2018026910A1 (en) 2016-08-02 2018-02-08 Fluidigm Canada Inc. Sample imaging apparatus and method
AT519146B1 (de) 2016-10-05 2020-03-15 Univ Wien Tech Vorrichtung zur Analyse eines Feststoff-Probenmaterials
KR20190133056A (ko) * 2017-04-20 2019-11-29 엘레멘탈 사이언티픽 레이저스 엘엘씨 초고속 신호 워시아웃을 위한 조정가능한 샘플 플로어
CN109444248B (zh) * 2018-11-20 2020-10-30 中国地质大学(武汉) 一种基于激光的溶液剥蚀进样分析方法
GB2582751B (en) * 2019-03-29 2021-07-07 Thermo Fisher Scient Ecublens Sarl Improved spark stand for optical emission spectrometry
JP6652212B2 (ja) * 2019-04-15 2020-02-19 株式会社島津製作所 サンプルプレート移動機構及びそれを備えたレーザ脱離イオン化質量分析装置
JP7349632B2 (ja) * 2019-06-28 2023-09-25 株式会社エス・テイ・ジャパン レーザーアブレーション用のセルおよび分析装置
KR102229252B1 (ko) * 2019-08-19 2021-03-18 한국과학기술연구원 에어로졸 발생 장치

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1574812A (en) * 1976-05-06 1980-09-10 Barringer Research Ltd Spectrochemical analysis
JPS6070960A (ja) * 1983-09-26 1985-04-22 Nec Corp フイ−ドスル−
JPH0622719B2 (ja) * 1985-05-13 1994-03-30 小野田セメント株式会社 複ト−チ型プラズマ溶射方法及びその装置
JPS62281755A (ja) * 1986-05-29 1987-12-07 Anelva Corp 動力導入機
JP2643031B2 (ja) * 1991-04-10 1997-08-20 動力炉・核燃料開発事業団 固体発光分光分析装置
EP0560537A1 (en) * 1992-03-10 1993-09-15 Mds Health Group Limited Apparatus and method for liquid sample introduction
US5850089A (en) * 1992-03-13 1998-12-15 American Research Corporation Of Virginia Modulated-structure of PZT/PT ferroelectric thin films for non-volatile random access memories
JP2804873B2 (ja) * 1992-12-17 1998-09-30 三菱電機株式会社 微粒子分析装置および微粒子分析方法
FR2700852B1 (fr) * 1993-01-27 1995-03-03 Commissariat Energie Atomique Cellule d'ablation d'un échantillon au laser.
US5537206A (en) * 1993-11-02 1996-07-16 Nkk Corporation Method for analyzing steel and apparatus therefor
US5504327A (en) * 1993-11-04 1996-04-02 Hv Ops, Inc. (H-Nu) Electrospray ionization source and method for mass spectrometric analysis
FR2714464B1 (fr) 1993-12-23 1996-02-09 Cogema Procédé de contrôle de la contamination surfacique d'un solide et dispositif de mise en Óoeuvre.
JPH085555A (ja) * 1994-06-17 1996-01-12 Hitachi Ltd 元素分析用プラズマトーチ及びこれを用いた元素分析方法
JP4095646B2 (ja) * 1995-12-27 2008-06-04 日本電信電話株式会社 元素分析装置
JPH1151904A (ja) * 1997-08-05 1999-02-26 Jeol Ltd Icp−msのレーザーアブレーション方法及び装置
JP2001272349A (ja) * 2000-03-24 2001-10-05 Shimadzu Corp Icp発光分光分析用プラズマトーチ
CN1270587C (zh) * 2001-07-03 2006-08-16 瓦里安澳大利亚有限公司 等离子体喷灯
JP3800621B2 (ja) * 2002-01-18 2006-07-26 株式会社島津製作所 Icp分析装置
JP4232951B2 (ja) * 2002-11-07 2009-03-04 独立行政法人産業技術総合研究所 誘導結合プラズマトーチ
US7460225B2 (en) * 2004-03-05 2008-12-02 Vassili Karanassios Miniaturized source devices for optical and mass spectrometry
JP2006038729A (ja) * 2004-07-29 2006-02-09 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 誘導結合プラズマトーチ
US7649170B2 (en) * 2006-10-03 2010-01-19 Academia Sinica Dual-polarity mass spectrometer
KR100801708B1 (ko) * 2006-12-22 2008-02-11 삼성전자주식회사 웨이퍼 오염물질 분석장비 및 방법
US8174691B1 (en) * 2007-03-15 2012-05-08 Arkansas State University—Jonesboro Detection of a component of interest with an ultraviolet laser and method of using the same
JP4982891B2 (ja) * 2007-04-12 2012-07-25 独立行政法人産業技術総合研究所 反応性プラズマ中におけるラジカル及びダスト濃度測定方法
US8207472B2 (en) * 2008-06-18 2012-06-26 Electro Scientific Industries, Inc. Debris capture and removal for laser micromachining
US20100207038A1 (en) 2009-02-13 2010-08-19 Loughborough University Apparatus and method for laser irradiation
US20110089320A1 (en) * 2009-10-19 2011-04-21 Wiederin Daniel R Direct injection nebulizer
JP5265811B2 (ja) * 2010-06-03 2013-08-14 株式会社アルバック スパッタ成膜装置
JP5482599B2 (ja) * 2010-09-17 2014-05-07 トヨタ自動車株式会社 レーザーアブレーション質量分析装置
JP2013024806A (ja) * 2011-07-25 2013-02-04 Toyota Motor Corp レーザーアブレーション質量分析装置

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